【課題】ナノメートルオーダーの超微細な構造の顕微鏡観察を行うことができるようにする。
【解決手段】光源としてコヒーレントな軟Ｘ線を用い、軟Ｘ線の進路上に光学レンズは一切用いず、反射ミラー１１〜１３やハーフミラー１５等の反射光学系を用いて軟Ｘ線の進路を形成するとともに、軟Ｘ線の波面収差を除去する波面補償手段としてデフォーマブルミラー１４を備えることにより、反射光学系によって形成された進路上を超短波の軟Ｘ線が途中で吸収されることなく伝播し、ＣＣＤ検出器１７に対して試料２００の像を結像させることができるようにするとともに、デフォーマブルミラー１４により軟Ｘ線の波面収差を除去して、短波長の限界にせまる集光性を実現して空間分解能を上げることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】１台の走査型顕微鏡において、特性の異なった複数のスキャナを使用可能とする。
【解決手段】顕微鏡は、照明光の光源と、対物レンズの瞳Ｐと、試料ＰＲを照明するためのビームスプリッタＳＴと、照明光をビームスプリッタの方に走査する第１スキャン装置と、ビームスプリッタを介して結合された少なくとも一つの追加のスキャン装置と、リターン手段とを備え、ビームスプリッタは対物レンズの瞳に配置されており、少なくとも１つの反射する第１の部分と少なくとも１つの通過させる第２の部分とを含み、第１及び第２の部分のうちの一方は照明光を結合し、第１及び第２の部分のうちの他方は検出する方向へ検出光を通過させ、第１スキャン装置は少なくとも一つのスキャンミラーを有し、スキャンミラーは鏡面である裏面を有し、リターン手段は、試料光の一部を、スキャンミラーの鏡面である裏面へ向かわせて、検出する方向へ戻す。 （もっと読む）

【課題】小型で迷光の発生を良好に防止することが可能な高性能なノイズターミネータ、このノイズターミネータを有する照明光学系、及び、この照明光学系を備えた光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置に用いる照明光学系２０は、照明光を物体に照射する光源２１と、光源２１からの照明光を物体方向に反射し、この物体からの観察光を透過するハーフミラー（光路分割部材）２３と、ハーフミラー２３方向に頂点を向け、反射部材で形成された略円錐面形状の反射面を有する反射部材２４ａ、及び、この反射部材２４ａの反射面を囲うように配置された内壁２４ｃが低反射部材で形成されたメカ部材２４ｂから構成されたノイズターミネータ２４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 両側のテレセントリック性が良く、広い波長域に渡って諸収差を良好に補正した広い撮像領域に渡って高い解像力を持つ反射屈折光学系を得ること。
【解決手段】 物体の中間像を形成する第１結像光学系と、中間像を像面に結像させる第２結像光学系を有し、第１結像光学系は光軸周辺が光透過部、周辺部のうち物体側の面に反射膜を施し、裏面反射部とした第１の光学素子と、光軸周辺が光透過部、周辺部のうち像側の面に反射膜を施し、裏面反射部とした第２の光学素子を有し、物体からの光束は順に第１の光学素子の光透過部、第２の光学素子の裏面反射部、第１の光学素子の裏面反射部、第２の光学素子の光透過部を通過した後に第２結像光学系側に出射しており、第２結像光学系は物体側より順に正の屈折力の前群、開口絞り、後群を有し、開口絞りと像側の間に配置された複数のレンズ面のうち連続する４つのレンズ面における合成屈折力が負であること。 （もっと読む）

【課題】 構成の簡素化を図りつつ、高ＮＡで、長作動距離を有する干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 干渉対物レンズ１０は、参照ミラー１２と、光源３１からの照明光を試料３４へ向かう光と参照ミラー１２へ向かう光とに分割する光路分割プリズム１１と、光路分割プリズム１１を内部に備え、この光路分割プリズム１１と試料３４との間に配置された第１のレンズ群２１と、光路分割プリズム１１と参照ミラー１２との間に配置された第２のレンズ群２２とを含む、複数のレンズからなる対物レンズ系２０とを有し、対物レンズ系２０を構成するレンズを介して光路分割プリズム１１に入射した照明光を、第１のレンズ群２１を介して試料３４へ向かう光と、第２のレンズ群２２を介して参照ミラー１２へ向かう光とに分割し、試料３４から第１のレンズ群２１を通して得られる反射光と、参照ミラー１２から第２のレンズ群２２を通して得られる反射光とを光路分割プリズム１１で重ね合わせて干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズと第２対物レンズとの間をオートフォーカス光学装置が占有することなく、かつ標本に対する俊敏な合焦動作を可能にするオートフォーカス光学装置と、これを有する倒立顕微鏡を提供すること。
【解決手段】対物レンズを介して、ＡＦ光を標本に照射するＡＦ照明光学系と標本からの前記ＡＦ光を検出するオートフォーカス検出光学系と、前記ＡＦ照明光学系と前記ＡＦ検出光学系とで共用されるミラーと、前記ＡＦ光の光軸は、前記対物レンズの光軸に沿い、かつ略平行な光軸を含み、前記ＡＦ照明光学系の一部と前記ＡＦ検出光学系の一部の光学部材は、前記レボルバ部とは分離された場所に配置されていることを特徴とするＡＦ光学装置と、これを有する顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】反射光学系を併用した場合に撮像光学系のみを用いた場合と同じ像を得ることが可能なビデオマイクロスコープを提供する。
【解決手段】複数のレンズ２１Ａ〜２１Ｅよりなる撮像光学系２０の光軸ＯＡを、載置面の上方斜めから載置面上の被写体に向ける。撮像光学系２０の下端には、第１ミラー３１および第２ミラー３２よりなる反射光学系３０を、反射光学系支持機構４０により支持させると共に、撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転可能とする。撮像光学系２０の上端には、ＣＣＤなどの撮像素子５０を配置する。第１ミラー３１の回転方向位置に応じて撮像素子５０を撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転させることにより、反射光学系３０の回転によって生じた被写体２の像の傾きを低減ないし解消させる。 （もっと読む）

【課題】媒質に対するレーザ照射位置が深くても、レーザ光の集光度合を高めることが可能な収差補正方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る収差補正方法では、光透過性を有する媒質６１内部にレーザ光を集光するレーザ照射装置１の収差補正方法において、レーザ照射装置１は、雰囲気媒質６０の屈折率が媒質６１の屈折率より大きい集光手段５０を備え、媒質６１の屈折率をｎ、媒質６１の屈折率ｎが雰囲気媒質６０の屈折率に等しいと仮定した場合における媒質６１の入射面から集光手段５０の焦点までの深さをｄ、媒質６１によって発生する縦収差の最大値をΔｓと定義すると、レーザ光の集光点が、媒質６１の入射面からｎ×ｄ−Δｓより大きく、ｎ×ｄより小さい範囲に位置するように、すなわち、収差を補正しないときに媒質６１内部で縦収差が存在する範囲の間に位置するように、レーザ光の収差を補正する。 （もっと読む）

本明細書の諸実施形態は、可変３次元立体顕微鏡アセンブリを提示する。このアセンブリは、ハウジングと、対象物を左眼および右眼それぞれで見るための左接眼部および右接眼部を備える接眼部光学ユニットとを含む。一対の可動伸縮アームが、対象物から反射された光を集束するための対物レンズユニットに、可動スリーブに沿って着脱可能に結合される。各光学部品は、左接眼部と右接眼部を同時に通す対象物の所望の双眼視を可能にするように用意される。一対の可動伸縮アームは、対象物に焦点を合わせるために独立して動かされ回転される。立体顕微鏡アセンブリは、左光路と右光路との間の距離を変えるための機械的および光学的デバイスと可動アームとを含み、対象物に焦点を合わせるための可動伸縮アームを収束の様々な角度位置に置くことによって、３次元視覚／奥行き感覚の度合いを増大または変更する。
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【課題】複数種類の色素で染色した試料について、各色素から発生する蛍光を検出して画像化する際に、各画像が互いにずれないようにする。
【解決手段】レーザ光源１１_１ないし１１_３から射出される３種類の超短パルス光Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３は、ダイクロイックミラー１３及び１４により混合され、遅延回路１２_１及び１２_２により超短パルス光Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３が順番に等間隔に並ぶように調整される。レーザ走査部１７により超短パルス光Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３が、３種類の色素で染色された試料Ｓ上に集光されて走査され、それにより励起された色素から発生する３種類の異なるスペクトルを有する蛍光の強度が、ダイクロイックミラー２１及び２４により分離され、光検出部２３_１ないし２３_３により同時に検出されることで、１回の励起光焦点走査で、同時に各色素から発生する蛍光に対応する蛍光画像を取得できる。本発明は、２光子励起蛍光顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーを用いた走査型顕微鏡で、より高画質の画像をより高速に得る。
【解決手段】ポリゴンミラー１５により、対物レンズ１８の焦点面において、試料２に照射する一方向に長いレーザ光を長手方向と垂直な方向にスキャンする。試料２からの観察光を、ポリゴンミラー１５の照明光のスキャンに用いた面を用いてデスキャンし、集光レンズ１４により集光し、スリット１９を通過させた後、同じ面を用いて、CCDイメージセンサ２５の受光面においてスキャンする。観察光をデスキャンするときのポリゴンミラー１５の面に対する反射角と、スキャンするときのポリゴンミラー１５の面に対する入射角との回転軸Ａ１方向の角度が等しく、デスキャンするときのポリゴンミラー１５の面における像と、スキャンするときのポリゴンミラー１５の面における像の大きさが等しい。本発明は、例えば、共焦点レーザスキャン顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微鏡システムが開示される。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

検出光路と、少なくとも１つの第１の結像光学系（２、５）とを備えるレーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器であって、第１の結像光学系が、スペクトル分散されたプローブ光をフーリエ面に結像し、それにより、フーリエ面で、プローブ光の個々のスペクトル成分が空間的に互いに分離され、フーリエ面にはマイクロミラーアレイ（４）が設けられ、マイクロミラーの制御により、検出光線のスペクトル選択性偏向が行われ、検出器光線の有用光成分が検出器に達する、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器において、スペクトル選択を向上するために、少なくとも１つの第２のマイクロミラーアレイ（１５）が提供され、第２のマイクロミラーアレイへの第１のマイクロミラーアレイの１対１結像が提供されるか、または同じマイクロミラーアレイを光が少なくとも２回通過し、光学手段を通る第１の通過と第２の通過の間の光路内で、少なくともマイクロミラーアレイ上での第１の通過時と第２の通過時の光線の空間的なずれが生成される、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器。
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【課題】細胞のような透明で微細な被写体を高い分解能で簡易に観察する。
【解決手段】試料Ａを載置する載置面６ａを有する光学結晶６と、該光学結晶６に向けて第１の電磁波Ｌ_２を載置面６ａとは反対側から照射する第１の照射系４および第２の電磁波Ｌ_１を照射する第２の照射系５と、該第２の照射系５から照射され試料Ａの載置面６ａにおいて反射した第２の電磁波Ｌ_１を検出する検出系７とを備え、第１の電磁波Ｌ_２は、パルス状のテラヘルツ波であり、第２の電磁波Ｌ_１は、テラヘルツ波Ｌ_２よりも波長が短いパルス状の電磁波であり、第１の電磁波Ｌ_２の照射領域と第２の電磁波Ｌ_１の照射領域の少なくとも一部が光学結晶６内の載置面６ａ近傍で重なるように、第１の照射系４と第２の照射系５が配置され、検出系７は、その合焦位置が光学結晶６の載置面６ａ近傍と一致するように配置されている観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの試料についての望まれない粒子や、パターンきず等の検査するためのデザインを提供する。
【解決手段】このシステムは、開口（絞り）およびフーリエフィルタリングのための外部瞳がなく、比較的緩い製造公差を提供し、ブロードバンド明視野やおよびレーザ暗視野イメージングおよび波長３６５ｎｍ以下における検査に適する。使用されるレンズは単一の材料を用いて形成または構成される。少なくとも１つの小さな折り返しミラー（３０４）およびマンジャンミラー（３０６）を含んでいる。第２の戻りイメージが第１のイメージから横方向にずれるように軸をはずして構成される。これによって、受光を許容する横方向分離および各イメージを別々に操作することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】長作動距離で広視野を実現する良好な光学性能を有するコンパクトな顕微鏡用対物光学系、及び、その対物光学系と変倍光学系とを備えた顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】顕微鏡用の対物光学系４は、標本面５側から順に、負の屈折力を有する少なくとも２つのレンズを含み、全体で負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、を含む。その上で、対物光学系４は、標本面５側を非テレセントリックに構成する。また、顕微鏡１００は、そのように構成された対物光学系４と、少なくとも１つの可動レンズを含み、可動レンズが光軸方向に移動することにより変倍する変倍光学系６と、変倍光学系６から射出された光を結像させる結像光学系７と、を含む。 （もっと読む）

【課題】検出器装置の感度を向上させることを目的として、落下光を検出器の受光領域上で焦点を結ばせるために、球状の素子を備えたレンズアレイの形態の光偏向素子を用いることが知られている。このようなレンズアレイの製造は、特に製造数が少ない場合、製造コストが高い。新規の光偏向素子を用いることによって、検出器装置の感度の向上を容易に、かつ費用対効果が高い状態で実現する。
【解決手段】本検出器装置は、落下光が検出器の受光領域３０４上で偏向して角度を変える光入射面３０５ｂを有する光偏向素子３０５を備える。光偏向素子の光入射面３０５ｂは互いに傾斜しており、平坦な面として形成されている。本検出器装置は、顕微鏡、特にレーザ走査型顕微鏡において、特に、試料から放出される光を検出するのに適している。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで且つアフォーカル部の伸縮量の大きな観察光学系及びそれを備えた顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】観察光学系１００を標本面１側から順に、無限遠補正型の対物レンズ２と、正のパワーを有する第１レンズ群３と、正のパワーを有する第２レンズ群４と、正のパワーを有する結像レンズ５とを含み、第２レンズ群４の前側焦点位置に中間像６を形成させ、対物レンズ２と第１レンズ群３の間隔及び第２レンズ群４と結像レンズ５の間隔を光軸方向に沿って伸縮可能に構成する。その上で、ｆ１を第１レンズ群３の焦点距離とし、ｆ３を結像レンズ５の焦点距離とするとき、以下の条件式
０．４５＜ｆ１／ｆ３＜０．８０ ・・・（１）
を満たすように、観察光学系１００を構成する。 （もっと読む）

光学系の後瞳がセグメント化され、該セグメントが波面変調デバイスによって個々に制御され、光学系内の励起または放射ビームの個々のビームレットの方向および位相を制御して、サンプルおよびシステムによって誘導される収差に対する適応光学系補正を提供する顕微鏡検査技術。 （もっと読む）