構造化照明顕微鏡法で構造化の様々な位相位置で個別画像を度々撮像するには一連の計測中光学構成及び試料の高安定性が要求され、構造化も試料内で高均質に結像されることを要する。非線形蛍光励起では試料及びその色素は退色の負荷を受け、非線形性は照明条件に加え試料内の局部的周囲条件に依存する。従って局部的に異なる非線形性が生じ得、解像度を低下させる。本発明は高解像度の実現を目的とし、問題のある試料でも最終画像でなるべく高い解像度を達成するため個別画像の撮像が最適化される。最適化は様々な方法、例えば少なくとも１つの照明または撮像パラメータの最適調整を決定することにより、蛍光色素のある三重項状態からより高い三重項状態への励起を低減するようなパルス化照明により、または蛍光色素の三重項状態を空乏化するため抑制光で試料を照明して退色を回避することにより実施される。本発明は高解像度蛍光顕微鏡法で使用される。
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【課題】照明光の偏光状態を良好にして、微分干渉観察など偏光を用いた観察時の観察画像の質を向上させた走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡１は、直線偏光状態の照明光を射出する光源６と、照明光により試料Ｓの面を走査する走査機構２２と、光源６から射出された照明光を走査機構２２に導く光ファイバー７と、照明光を光ファイバー７、走査機構２２及び対物光学系３を介して試料Ｓに照射する機能を有した照明光学系と、光ファイバー７の射出端と走査機構２２との間に配置され、光ファイバー７から射出された照明光の偏光方向を光源６から射出されたときの照明光の偏光方向に揃える偏光方向補正部材８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡からの出力される各種画像情報と電子顕微鏡の出力画像情報とが合成された特有の画像情報を出力でき、試料分析に有用な複合型顕微鏡装置を実現する。
【解決手段】観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、試料の共焦点画像を撮像する共焦点顕微鏡と、電子顕微鏡及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り種々の画像信号を出力する信号処理装置を具える。共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡のビーム軸は、互いに平行に設定する。試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する２次元平面内の位置を規定する２次元座標系を有し、共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡は座標系を共有する。この結果、電子顕微鏡画像と共焦点顕微鏡により取得された２次元カラー情報や表面高さ情報とを合成して、カラー電子顕微鏡画像又は３次元電子顕微鏡画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】小型・簡易な構成で、騒音や振動の発生もなく異なる波長の光を選択的または同時に射出させることができるようにする。
【解決手段】分離された光路Ｌ１，Ｌ２毎に設けられて、前後の光軸をずらすように各光路Ｌ１，Ｌ２に対して斜め配置されて電気的制御により焦点距離が変化する液体レンズ４，９を備えることで、各々の液体レンズ４，９の焦点距離を電気的制御によって変化させるだけで異なる波長λ１，λ２の各々の光路Ｌ１，Ｌ２毎の光の遮断・通過の制御が可能となるようにした。 （もっと読む）

【課題】コヒーレントアンチストークスラマン散乱光および多光子励起の蛍光の観察を同一の装置において同時に行うことを可能とし、種々の観察方法により標本を観察する。
【解決手段】極短パルスレーザ光を射出するレーザ光源４と、極短パルスレーザ光を第１の光路６、第２の光路７、および第３の光路３７に分岐する分波装置５と、第１の光路６を導光されるパルスレーザ光Ｌ１の周波数分散量を調節する第１の周波数分散装置９と、第２の光路７を導光されるパルスレーザ光Ｌ２の周波数を変換するフォトニッククリスタルファイバ１０、第３の光路３７を導光されるパルスレーザ光Ｌ３の周波数分散量を調節する第２の周波数分散装置３０と、各光路を導光されてきたパルスレーザ光を合波する合波装置８と、合波されたパルスレーザ光を標本Ａに照射する集光レンズ１３とを備えるレーザ顕微鏡装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】ズームシステムと照明システムを備え、ズームシステムと照明システムは簡単な方式で互いに同調させられ、その構成において、特に、可能な限り簡潔な設計がなされ、上述の欠点を回避した、光イメージングシステム、特に顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも１つのレンズアセンブリ（３１、３２、３３、３４、３７、３８）及び／又は少なくとも１つのＳＬＭ光学ユニット（４０、４１、４２、３５、３６）を有し、イメージング（結像）の可変倍率を設定するズームシステム（３０）と、物体面（２）に結像させる対象物を照らす照明システム（２０）とを備えている光イメージングシステム（１０）、特に顕微鏡システムであって、照明システム（２０）が、照明システム（２０）内における焦点距離を設定するＳＬＭ光学ユニット（４０’、４１’、４２’）を有する光イメージングシステム（１０）に関する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、光学的な遮断周波数を高めずとも実効的な遮断周波数を高めることのできる共焦点顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】本発明を例示する共焦点顕微鏡の一態様は、光源から供給される照明光を被検物に向けて集光する照射光学系（１−１）と、前記照明光に応じて前記被検物で生じる射出光を、前記照明光の集光点と共役な位置に配置された共焦点絞りを介して検出する検出光学系（１−２）と、前記照射光学系と前記検出光学系との何れか一方の単独光路における対物レンズ瞳面又はその共役面には、瞳周辺部及び瞳中心部の透過率が他の部分の透過率より高い空間周波数フィルタ（３０）が配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】共焦点画像を得る際の調整作業を容易にし、かつ装置を小型化すること
【解決手段】この共焦点顕微鏡装置１は、照明光Ｌ１を照射するファイバ光源２と、試料Ａからの蛍光のうち照明光の入射方向に沿って戻る第１の成分Ｌ２、及び照明光Ｌ１を透過する第１の透過部１５ａと、蛍光のうち第１の成分Ｌ２以外の第２の成分Ｌ３を、第１の成分Ｌ２とは異なる方向に透過及び屈折させる第２の透過部１５ｂとが交互に配列されたプリズムアレイマスク６と、第１の透過部１５ａを透過した第１の成分Ｌ２を受光する撮像素子１１Ａと、第２の透過部１５ｂを透過した第２の成分Ｌ３を受光する撮像素子１１Ｂとを備え、撮像素子１１Ａ，１１Ｂによって得られた画像データに基づいて、対象物の共焦点画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】径方向の寸法を抑える構造の共焦点光学装置を提供する。
【解決手段】共焦点光学装置１は、端面が共焦点ピンホールとして使用される光ファイバケーブル３を備える。光ファイバケーブル３から出射された光を反射する第１反射部（接触面）と、光ファイバケーブルから出射された光の光路に平行な第１方向ｘに平行な軸周りと、第１方向ｘに垂直な第２方向ｙに平行な軸周りに回転する走査ミラーを有し、回転により走査ミラーにおける第１反射部からの光の反射方向を変える偏向面駆動部１３と、走査ミラーからの反射光を対物光学系５に向けて反射する第２反射部（接触面）とを有する光走査装置８を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザービームを整形し、カメラで捕らえる蛍光イメージのシェーディングを低減し、レーザーの光量利用効率を向を実現する
【解決手段】一端からレーザ光を入力し他端から前記レーザの拡散光を放射状に放出する光ファイバと、該光ファイバの他端から所定の距離離れた位置でかつ、前記拡散光の光軸に配置され前記拡散光を所定のビーム径に制御するビーム制御光学系と、該ビーム制御光学系の後段に配置され前記所定のビーム径に制御されたビームの中央部の径を拡大し、周辺部の径を縮小する球面レンズ系と、該球面レンズ系の後段に配置され前記球面レンズ系から出射したビーム径を並行光とするコリメートレンズを配置した。 （もっと読む）

【課題】液浸対物レンズの光学性能を低下させることなく、長時間の観察を行えるようにする。
【解決手段】光ファイバ８１と受光センサ８２からなる検知部は、液浸用の対物レンズ２２Ａと底部透明部材２Ａとの間に満たされている液浸水７１の残量を検知し、リザーバ８３は、液浸水７１の残量が不足している場合、補充用に溜められた水７２を、液浸用の対物レンズ２２Ａと底部透明部材２Ａとの間に供給する。これにより、液浸用の対物レンズ２２Ａの先端の液浸部は、常に十分な量の液浸水７１で満たされることになるので、長時間の観察を行う場合でも液浸用の対物レンズ２２Ａの光学性能が低下することはない。本発明は、液浸対物レンズ有する顕微鏡で用いられる液体供給装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】より簡単かつ確実に被検光路のずれを検出できるようにする。
【解決手段】光源１４からの照明光は、走査ユニット２１により偏向されて試料１３上を走査する。ハーフミラー１９は、光源１４から走査ユニット２１に入射する照明光の一部を抽出してハーフミラー３４に入射させる。また、ハーフミラー３４は、ハーフミラー１９からの照明光の一部を反射させて光電検出素子３５に受光させるとともに、照明光の一部を透過させて光電検出素子３６に受光させる。コンピュータ２９は、光電検出素子３５における照明光の受光位置および光電検出素子３６における照明光の受光位置に基づいて、照明光の光路のずれを検出する。本発明は、レーザ走査顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】イレース光の光量ロスを生じることなく位相変調でき、必要最小限のイレース光パワーで、顕著な超解像機能を誘導できる超解像顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料63中の物質を安定状態から第１量子状態に励起して発光させる第１照明光および該物質を更に他の量子状態に遷移させて発光を抑制する第２照明光を、一部空間的に重ね合わせて出射する光源部20と、光源部20からの第１照明光および第２照明光を試料63に集光して照射する顕微鏡対物レンズ62を含む照明光学系と、第１照明光および第２照明光の照射により試料63から発光する光応答信号を検出する検出部50と、顕微鏡対物レンズ62を含む光学系の光路中に配置され、第２照明光の一部を空間変調する変調領域3を有し、顕微鏡対物レンズ62により、第１照明光が極大値を持ち、第２照明光が極小値を持つように試料63に集光させるための空間変調光学素子1と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する測定方法及び装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、任意のタイミングで精細な画像を得ることができる生体観察装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、励起光ビームを射出するための光源部と、前記励起光ビームを走査するための走査光学系と、前記励起光ビームを生体試料に照射するための対物レンズと、前記生体試料に接触する生体接触面を有し、かつ前記走査光学系による第１の走査線におけるマーカ断片の距離と、第２の走査線におけるマーカ断片の距離との違いに基づいて復元可能なマーカが前記生体接触面上に配置された、マーカ付与手段と、前記生体試料からの検出光を検出する検出光学系と、前記検出光学系から出力された電気信号を画像データとして表示する画像表示手段と、前記画像表示手段によって表示された画像データを前記マーカの位置情報に基づいて再構成する画像再構成手段と、を具備する、生体観察装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】光源部のダイクロイックミラーを不要として装置の小型化をはかり、ポインティングスタビリティの影響を除去し、簡単にレーザを光ファイバに入射させることが可能な共焦点スキャナ顕微鏡を提供する。
【解決手段】サンプルを励起する励起光を発する光源部と、前記励起光を用いてサンプルを走査するスキャナ部と、前記サンプルから発光した蛍光を受けてサンプルの画像を撮像する撮像カメラを含む光検出部を備えた共焦点スキャナ顕微鏡において、
前記光源部は波長の異なるレーザを発振する複数の光源と、これら複数の光源からのそれぞれの光を波長選択性光ファイバカプラを介して前記スキャナ部に入力するように構成した。 （もっと読む）

【課題】ＯＣＴ装置によって、特に被検眼の眼底における網膜の断層像を撮像するに際し、測定光が虹彩にけられた場合の影響を抑制し、取得される断層像の信頼性を確保することが可能となる光断層画像撮像装置等を提供する。
【解決手段】光断層画像撮像装置であって、
測定光が被検査物に照射する状態を観察し、前記測定光が前記被検査物に入射する状態を観察画像として画像化する観察手段と、
前記観察画像を前記光断層画像撮像装置による断層画像と関連付けて記録する記録手段と、
前記観察手段において画像化された前記観察画像をもとにして、前記観察画像と関連付けられた断層画像の信頼性の評価を行う評価手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】紫外光が外部へ漏れるのを防止することができる照明装置及び顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】観察対象物を観察する顕微鏡本体に接続可能であり、光源の照明光を顕微鏡本体に導くライトガイドＯＦと顕微鏡本体との接続状態が解除されたとき、ライトガイドＯＦの光路を遮断する樹脂製で弾性を有する遮光部材２６をライトガイドＯＦの一端部に設けた。 （もっと読む）

【課題】紫外光が外部へ漏れるのを防止することができる照明装置及び顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】観察対象物を観察する顕微鏡本体に接続可能であり、光源の照明光を顕微鏡本体に導くライトガイドＯＦと顕微鏡本体との接続状態が解除されたとき、ライトガイドＯＦの光路を遮断する弾性を有する樹脂製遮光部材２６をライトガイドＯＦの一端部に設けた。遮光部材２６は弾性を有する樹脂製基材の表面に配向性グラファイトシートを接合して構成した。 （もっと読む）

【課題】紫外光が外部へ漏れるのを防止することができる照明装置及び顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】観察対象物を観察する顕微鏡本体に接続可能であり、光源の照明光を顕微鏡本体に導くライトガイドＯＦと顕微鏡本体との接続状態が解除されたとき、ライトガイドＯＦの光路を遮断する遮光部材２６をライトガイドＯＦの一端部に設けた。遮光部材２６は金属製基材の表面に配向性グラファイトシートを接合して構成した。 （もっと読む）