【課題】照明が単一の方向だけから捕らえられる場合に起こる可能性がある反射された強度変化の結果としての基体表面の態様の不正確なまたは不完全な特徴付けを克服する。
【解決手段】基板１２の表面から複数の方向において反射される照明を同時に捕らえるように構成される。一組の照明器５２ａ５２ｂと、表面を離れて反射された照明の少なくとも２つのビームを同時に捕らえるように構成される画像捕獲装置である３Ｄ輪郭カメラ５６とを含む。画像捕獲装置によって同時に捕らえられる照明の少なくとも２つのビームは、反射されたそれらの移動通路間で異なる角度の分離を有する。一連の照明器は、表面に入射する細線照明の一以上のビームを供給するために配置され、構成される一組の細線照明器を含むことができる。例えば、細線照明の２つのビームは、表面の垂直軸に異なる入射角で表面に導くことができる。 （もっと読む）

【課題】明暗の違和感を低減した、光学画像と電子顕微鏡画像を合成したカラー合成画像を作成する。
【解決手段】光学系撮像手段１２で取得された光学画像から、色情報を分離するための色分離手段２５５と、電子線撮像手段１１で取得された電子顕微鏡画像及び色分離手段２５５で色情報を分離された光学画像から、それぞれ輝度情報を抽出するための抽出手段２５６と、抽出手段２５６で抽出された電子顕微鏡画像の輝度情報と、光学画像の輝度情報との、合成比率を調整するための比率調整手段２５０と、比率調整手段２５０で調整された合成比率に基づいて、電子顕微鏡画像の輝度情報と、光学画像の輝度情報とを合成するための輝度合成手段２５７と、輝度合成手段２５７により合成された合成輝度情報に対して、色分離手段２５５で分離された色情報を付加することにより、カラー合成画像を生成するためのカラー画像合成手段１１６Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】同一の観察対象を電子顕微鏡画像と光学画像を用いて観察する際の、視野ずれを補正し易くする。
【解決手段】第一観察手段と略同一の視野方向で、試料台３３に載置された観察対象を該視野方向で観察する際の観察位置にて、第二観察手段を用いて試料の観察像を観察するように胴部２４又は試料台３３を回動させる回動手段３０と、第二観察手段を用いて観察位置の試料における相対位置を視認するための視認倍率で観察される第二観察像を、第二表示領域に表示させた際に、該表示と連動して、広域画像取得手３２０により取得された広域画像に基づいて、第一観察手段によって当該視認倍率と同じ倍率で取得されるべき視認倍率画像を取得し、第一表示領域に表示させるための視認倍率画像生成手段３２２と、第一表示領域に視認倍率画像が表示された状態で、第二表示領域に表示された第二観察像の視野位置を補正するための視野ずれ補正手段３２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の異なる単一波長の超短パルスレーザ光を、時間幅の拡がりを最小限に抑えつつ同時に光伝送して顕微鏡による観察等を高速に行えるようにすること。
【解決手段】中空コアフォトニック結晶ファイバ（８、ＨＣ−ＰＣＦ）のゼロ分散波長付近で動作する超短パルスレーザ光源（２Ａ）と、異なる波長の超短パルスレーザ光源（２Ｂ）のプリチャーパ（３Ａ、３Ｂ）出力をダイクロイックミラー（５）で合波し、光変調器（６）で透過波長と平均強度を制御した後に、ＨＣ−ＰＣＦ（８）に入射して光伝送し、この出力光を顕微鏡本体（１Ｃ）に入力する。 （もっと読む）

【課題】観察対象物の画像の歪みを防止しつつ、光源の光量のロスを低減する。
【解決手段】共焦点顕微鏡１は、光源１０と、光源１０と観察対象物Ａの間の光路上に配置され、光路に対する角度を変更して観察対象物Ａへの光の照射位置を変更可能なスキャナミラー１１と、観察対象物Ａ側からのスキャナミラー１１で反射した反射光のうち観察対象物Ａで焦点が合った反射光が通過する光選択部１２と、光選択部１２を通過した反射光をスキャナミラー１１に再度入射させ反射させる光学系１３と、スキャナミラー１１で再度反射した反射光から観察対象物Ａの像を形成する像形成部１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】広い波長域で高い光の利用効率を有する、分光検出機能を備えた共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】標本を走査するガルバノミラー５を備えた共焦点走査型顕微鏡１００は、ＶＰＨグレーティング１を利用して標本からの光を分光し、光検出器１３で検出する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な構成となる像及び瞳の共役関係を保ったズーム系とすることなく、ズーミングによる瞳面の移動に対処する手段を設けた照明装置、及び、この照明装置を備えたズーム顕微鏡を提供する。
【解決手段】 標本面から順に、対物レンズ１１と、アフォーカルズーム光学系１３とを有し、アフォーカルズーム光学系１３の標本面側に対物レンズ１１の瞳が位置するズーム顕微鏡３０において、アフォーカルズーム光学系１３及び対物レンズ１１を介して標本面１０ａに照明光を照射する照明装置２０であって、アフォーカルズーム光学系１３から光源側に向かって順に、結像レンズ１５と、結像レンズ１５によってできる標本共役面近傍に挿脱可能に配置されるフィールドレンズ１６と、コレクタレンズＧ５と、光源１８とを有し、アフォーカルズーム光学系１３のズーミングに起因して生じる、照明光学系の光源側に形成される射出瞳と光源１８との位置ずれを補正するフィールドレンズ１６が挿脱可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】ズームレンズの変倍動作により移動する入射瞳の位置に対物レンズの射出瞳の位置を略一致させるように構成された結像光学系、及び、この結像光学系を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００に用いられる結像光学系３０は、測定物体の像を結像する対物レンズ２５と、この像を変倍するズームレンズ３２と、変倍動作により光軸に沿って移動するズームレンズ３２の入射瞳の位置に、対物レンズ２５の射出瞳の位置を略一致させる瞳移動光学系としてのリレーレンズ３１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 適切に試料を映し出すことができるデジタル顕微鏡を提供する。
【解決手段】 デジタル顕微鏡１は、明視野照明光を供給するハーフミラー１３と、暗視野照明光を供給するリングレンズ１６と、操作部２６での操作に応じて明視野照明光と暗視野照明光の混合割合を変える機構を備える。混合割合を変える機構は、ハーフミラー１３に光を供給する光ファイバ束１７と、リングレンズ１６に光を供給する光ファイバ束１８と、光源からの光を光ファイバ束１７および光ファイバ束１８に入光させる光ファイバ束１９とを有する。光ファイバ束１７の入光端と光ファイバ束１８の入光端が同方向を向けて隣接して配置されており、かつ、光ファイバ束１９の出光端が両入光端に対向して配置されている。そして、出光端と両入光端とを対向した状態を保持しつつ、操作部２６での操作量に応じて光ファイバ束１９の出光端を移動させる。 （もっと読む）

【課題】広帯域波での画像形成が可能である空間搬送周波数をインターフェロメトリックシステムであり、散乱媒質中の物体のホログラフィック画像を得る。
【解決手段】時間的、空間的に拡大されたインコヒーレント光源１からの光線は、ウエーブスプリッタ２によって、オブジェクトブランチ2.1とレファレンスブランチ2.2に分割され、前者の光は、第1画像機構3.1、第1スキャニング機構8.1を進行して反射器の第１伝達システム6.1に入射し、Ｚ1〜Ｚ4の平面鏡で反射され、画像出力機構4を経由し出力面7に到達する。後者の光も、第1画像機構3.1第2スキャニング機構8.2を進行し回折格子5を介して反射器の第2伝達システム6.2に入射し、Ｚ6、Ｚ5の平面鏡で反射されて画像出力機構4を経由し出力面7に到達する。βとαとの間の関係は、sin(β) ＝ sin(α)／ｍである（ｍは画像出力機構4の倍率）。第1画像機構3.1と第2画像機構3.2との両画像は、光学的に共役である。 （もっと読む）

【課題】光量の損失が抑制された顕微鏡アダプタユニットを提供する。
【解決手段】光源ＬＳを含む光源ユニット２から標本面ＳＰに至る照明光の光路中に配置される顕微鏡アダプタユニット４を、第１のレンズ群（レンズＬ４及びレンズＬ３）と第２のレンズ群（レンズＬ２及びレンズＬ１）で構成する。照明光は、第１のレンズ群により略平行光束に変換されて第２のレンズ群に入射する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化、複雑化およびコストアップを招くことなく、観察対象から発生する蛍光を高いＳＮ比で検出できる蛍光検出装置を提供する。
【解決手段】励起光源102から射出される励起光を観察対象115に照射し、該観察対象115から発生する蛍光を光増幅器110により光増幅して検出する蛍光検出装置１において、励起光源102から射出される励起光を光増幅器110に入射させて、観察対象115から発生する蛍光を光増幅する。 （もっと読む）

【課題】より確実かつ容易に観察対象物の像を立体視できるようにする。
【解決手段】画像生成部３１１は、撮像素子１６１Ｌおよび撮像素子１６１Ｒにより撮影された左眼用および右眼用の観察画像の画像信号に基づいて、左眼用観察画像データおよび右眼用観察画像データを生成する。輝度分析部３１２は、左眼用観察画像データおよび右眼用観察画像データの輝度分布を分析する。光量調整部３１３は、左眼用観察画像データと右眼用観察画像データの輝度分布の差が小さくなるように、光源装置２０１Ｌおよび光源装置２０１Ｒの光量を個別に調整する。本発明は、例えば、実体顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】２つのパルスレーザ光の周波数差の調整幅を広げることができ、強度の高いコヒーレントアンチストークスラマン散乱光を得ることができるレーザ顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザ光を発生する波長可変レーザ光源４と、波長可変レーザ光源４から発せられたパルスレーザ光を２つの光路６，７に分岐するビームスプリッタ５と、２つの光路６，７を導光されてきたパルスレーザ光Ｌ１’，Ｌ２’を合波するレーザコンバイナ８と、レーザコンバイナ８により合波されたパルスレーザ光Ｌ１’，Ｌ２’を標本Ａに照射する顕微鏡本体３と、２つの光路６，７を導光されるパルスレーザ光Ｌ１’，Ｌ２’に標本Ａ中の分子の特定の振動周波数に略等しい周波数差を与えるフォトニッククリスタルファイバ１０と、第１の光路６を導光されるパルスレーザ光Ｌ１’の波長を調節可能な波長指示装置２１とを備えるレーザ顕微鏡装置１を採用する。 （もっと読む）

走査顕微鏡の形態の装置、顕微鏡の構造ユニットの形態の装置、並びに１つ又は複数の試料を光学的に走査する方法及び装置。走査顕微鏡の形態の装置は、照明光線（３２）を発する光源（４２）を有する。集束レンズ系（３４）は、照明光線（３２）を試料（３６）の検査すべき領域に集束させる。アクチュエータ装置は、照明光線（３２）の中心軸及び／又は集束レンズ系（３４）を含む構造ユニット（２０）の筐体を横切って規定の走査パターンに従って集束レンズ系（３４）を移動させる。
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本発明は対象物を走査する装置に関し、この装置は、照明光ビーム（２４）を解析対象となる対象物の領域に集束させる集束レンズ系（３０）を備える。アクチュエータアセンブリが集束レンズ系（３０）に連結され、所定の走査パターンにしたがって、前記集束レンズ系（３０）を照明光ビーム（２４）の基準位置における照明光ビーム（２４）の中心軸に関して横方向に移動させる。前面ガラス（３８）が、照明光ビーム（２４）の方向に見た場合に集束レンズ系（３０）の下流に配置される。内側浸漬剤（４０）が集束レンズ系（３０）と前面ガラス（３８）との間に配される。外側浸漬剤（４８）は、前面ガラス（３８）と対象物との間に注入することができる。
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【課題】顕微鏡を含む複数の光学装置に対して光源からの光を同時に供給、かつ瞬時にその光量を変更することができる光源装置と、これを有する光学装置を提供すること。
【解決手段】光源１１〜１４と、複数の光出力部４１〜４３と、それぞれの傾きが変更可能な複数の反射部材を有する反射光学部材３０と、前記複数の反射部材それぞれの傾きを制御する制御部３２とを有し、前記反射光学部材は、前記反射光学部材に入射した前記光源からの光束を、前記制御部により前記複数の反射部材それぞれの傾きを調整して前記光束を複数に分割して同時に前記複数の光出力部にそれぞれ射出することを特徴とする光源装置１と、これを有する光学装置。 （もっと読む）

【課題】精緻な光量調整を可能にすることで干渉光の検出の好適化を図った光画像計測装置を提供する。
【解決手段】カム３０３のカム面３０３ａは参照光ＬＲの断面における光量分布に応じた形状を有する。ステッピングモータ３０２によりカム３０３が回転されると、当接部３１２はカム３０３の回転に伴うカム面３０２ａの変位に追従して移動する。遮光リンク３１０は、当接部３１２の移動とともに回転軸３１１を中心に回転する。遮蔽部３１３は、遮光リンク３１０の回転とともに第１の方向に移動して参照光ＬＲの遮蔽領域を変更する。遮光板４００は、アッテネータ３００による遮蔽方向（第１の方向）とは異なる第２の方向から参照光ＬＲを遮蔽可能である。遮光板４００は駆動機構４１０により移動されて遮蔽領域を変更する。 （もっと読む）

【課題】観察者が煩わしい確認作業を行うことなく、全反射照明観察と透過光観察とを容易に切り替える。
【解決手段】標本Ａに対向して配置される対物レンズ３５と、その入射瞳位置に、略平行光からなる照明光を入射させかつ対物レンズ３５によって標本Ａ上に集光して走査させる走査照明光学系６と、標本Ａにエバネッセント光を入射させる全反射照明光学系５と、いずれかの光学系５，６を介した照明光の対物レンズ３５への入射を切り替える入射切替手段７と、走査照明光学系６により走査され標本Ａを透過した照明光を検出する透過用検出光学系３７と、標本Ａを挟んで対物レンズ３５とは反対側に配置された開閉可能なカバー部材４３と、その開閉を検出する開閉センサ４４，４５と、カバー部材４３の開状態が検出されたときに、全反射照明光学系５を介した照明光の対物レンズ３５への入射を遮断するシャッタ８とを備える顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】光刺激をしてから、光刺激をした領域をイメージングするまでのタイムラグを短縮する。
【解決手段】レーザユニット１とは、低強度のレーザ光と高強度のレーザ光とを切り替えて射出可能であり、光路切替ユニット１０および１３により、レーザユニット１と標本１６との間の光路が、光路Ｒ１と光路Ｒ２とで切り替えられる。また、共振型ガルバノスキャナ１２は、光路Ｒ２に配置され、全観察領域で低強度のレーザ光を走査し、制御型ガルバノスキャナ１１は、光路Ｒ１に配置され、部分領域に高強度のレーザ光を照射させる。そして、部分領域の直前で共振型ガルバノスキャナ１２による走査が一時的に停止され、制御型ガルバノスキャナ１１により部分領域に高強度のレーザ光が照射された後、その停止の続きから、共振型ガルバノスキャナ１２による走査が再開される。本発明は、例えば、レーザ走査型顕微鏡システムに適用できる。 （もっと読む）