【課題】照明系の全長を短くしコンパクトに構成することが可能な顕微鏡用照明装置を提供する。
【解決手段】照明光を射出する光源１と、照明光の光束を調節する開口絞りと、照明光の照明領域を設定する視野絞りと、前側焦点位置が視野絞りの位置に重なるように設けられ、視野絞りを通過した光を通過させ標本へ導くフィールドレンズ群とを備えた顕微鏡用照明装置において、光源１は、発光するＬＥＤ光源２０と、ＬＥＤ光源２０の光を入射させて入射の方向と異なる方向に伝播させて射出させるライトガイド２２及び散乱シート２３と、ライトガイド２２及び散乱シート２３から射出された光を入射させて角度方向に所定の強度分布を持たせて拡散及び射出させるプリズムシート２４，２５とを備えて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 テレセントリックレンズのような特殊なレンズを使用することなく、低倍率でケラレを生じることなく、広範囲に亘る観察を行うことができる光学観察装置および光学観察方法を提供する。
【解決手段】
照明光７を発する点光源１６を有する光源装置６と、照明光７を平行光にする第１の凸レンズ４と、第１の凸レンズ４からの平行光を集光して、細胞培養を行うディッシュ等の観察対象物１３に照射する第２の凸レンズ５とを設け、更に観察対象物１３の像を形成するための結像用レンズ１４と、形成される像を撮像するＣＣＤ等からなる撮像素子１５を設ける。この装置では、点光源１６から発せられた照明光７は、第２の凸レンズ５によって結像光学系の開口絞り面の中心位置Ｃ（結像用レンズ１４の中心）に集光する。即ち、照明光の直接光９は、結像光学系の主光線８と一致しているので、結像領域Ｌの全てにおいて明るい画像が得られる。 （もっと読む）

【課題】蛍光観察を行う場合に、蛍光の経時変化を短時間で容易に測定することができる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明の共焦点顕微鏡１は、蛍光観察するための共焦点顕微鏡１であって、励起光を出射するレーザー発光器２と、レーザー発光器２からのレーザー光の試料４への照射位置を所定方向に移動可能なポリゴンミラー１６と、ポリゴンミラー１６によるレーザー光の移動方向に対応した方向に沿って長手方向が配置されたスリット２８と、試料４に照射されたレーザー光の反射光をカットして蛍光を選択する蛍光フィルタ２４と、蛍光フィルタ２４によって選択されスリット２８を通った蛍光を受光する光電子増倍管６と、を備える。 （もっと読む）

マスク検査中に、ウェーハ露光中に同じく発生する欠陥を識別する必要がある。従って、レジスト内に生成される空間像と検出器上に生成される空間像とは、できる限り同じでなければならない。同等の像生成を提供するために、マスク検査中に照明及び物体側の開口数は、使用されるスキャナに適合される。本発明は、照明を可変的に設定するためのマスク検査顕微鏡に関する。マスク検査顕微鏡は、物体平面に配置されたレチクル（１４５）の構造（１５０）の像をマスク検査顕微鏡の視野平面に生成するように機能する。マスク検査顕微鏡は、投影光を放出する光源（５）と、少なくとも１つの照明ビーム経路（３，８７，８８）と、物体平面に対して光学的に共役な照明ビーム経路（３，８７，８８）の瞳平面（１３５）内に投影光の結果的強度分布を生成するための絞りとを含む。本発明により、絞りは、投影光の結果的強度分布が、最小強度値と最大強度値の間に少なくとも１つの更に別の強度値を有するような方法で具現化される。 （もっと読む）

【課題】白内障外科で使用するためにも網膜外科で使用するためにも同様に良く適した手術用顕微鏡を提案する。
【解決手段】第１立体部分光路（５）および第２立体部分光路（７）によって貫通され、物体領域（９）で物体平面（４５）を可視化する顕微鏡主対物レンズ（１２）と、この対物レンズにおける物体領域に向いていない側に配置したビーム偏向手段（１９）を有する照明光学系を含み、顕微鏡主対物レンズを通って照明光を物体領域に偏向する調節可能な照明手段（１５）とを備え、照明光が照明手段の初期設定で第１立体部分光路および／または第２立体部分光路の光軸を部分的に取り囲む面部分（９１，９２）で顕微鏡主対物レンズの横断面（８９）を貫通する手術用顕微鏡（１）において、照明手段の別の設定で、面の重心が立体部分光路の光軸から両立体部分光路の立体基準よりも大きい間隔を有する面部分で照明光が顕微鏡主対物レンズの横断面を貫通する。 （もっと読む）

【課題】検出器装置の感度を向上させることを目的として、落下光を検出器の受光領域上で焦点を結ばせるために、球状の素子を備えたレンズアレイの形態の光偏向素子を用いることが知られている。このようなレンズアレイの製造は、特に製造数が少ない場合、製造コストが高い。新規の光偏向素子を用いることによって、検出器装置の感度の向上を容易に、かつ費用対効果が高い状態で実現する。
【解決手段】本検出器装置は、落下光が検出器の受光領域３０４上で偏向して角度を変える光入射面３０５ｂを有する光偏向素子３０５を備える。光偏向素子の光入射面３０５ｂは互いに傾斜しており、平坦な面として形成されている。本検出器装置は、顕微鏡、特にレーザ走査型顕微鏡において、特に、試料から放出される光を検出するのに適している。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの外径が明視野観察用対物レンズと同等で、明視野照明光学系を用いて暗視野観察が可能な対物レンズ及び該対物レンズを有する顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物レンズにおける照明光の入射側に配置され、偏光板を有し前記対物レンズの光軸に直交する面上に配置される第１光学素子と、前記第１光学素子の近傍で対物レンズにおける照明光の射出側に配置され、四分の一波長板を有し前記対物レンズの光軸に直交する面上に配置される第２光学素子とを有し、前記偏光板と前記四分の一波長板のいずれか一方は、前記照明光の光路の一部に配置され、前記直交する面上で対物レンズの光軸と交わる点に対して対称な形状に形成されており、前記偏光板と前記四分の一波長板のいずれか他方は、前記対称な形状を覆う形状に形成されていることを特徴とする対物レンズ。 （もっと読む）

【課題】標本の形状に対応させて、標本と偏斜照明を標本の垂直軸に対して相対的に回転させることにより、標本によって偏斜照明が遮断されることなく照射され、適切な偏斜照明により観察することができる光学顕微鏡を提供すること。
【解決手段】標本３を保持するステージ２と、前記標本３を照明する透過照明光学系４を備えた光学顕微鏡であって、前記透過照明光学系４は、光源１からの光束を非対称に遮光して照明する遮光手段４３を備えているとともに、前記遮光手段４３が前記ステージ２に対し光軸を中心に相対的に回転するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】深さ方向に増殖や変位する標本を長時間にわたって安定して観察する。
【解決手段】励起光を発生する励起光源７と、該励起光源７からの励起光を標本Ａに照射し、標本Ａにおいて発生した蛍光を集光する対物レンズ８と、対物レンズ８と励起光源７との間において蛍光を分岐する光路分岐部９と、該光路分岐部９において分岐された蛍光を撮影して標本Ａの蛍光像を取得する撮像素子１５と、該撮像素子１５と光路分岐部９との間の対物レンズ８の瞳位置と光学的に共役な位置に配置された可変絞り１６とを備える蛍光観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】合焦作業の負担が小さく、且つ、確実に合焦が行われる共焦点レーザ顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】共焦点レーザ顕微鏡システム１００は、レーザ光を射出するレーザ光源８と、レーザ光を標本５に照射する対物レンズ９と、標本５と焦点位置の間の距離を変更する焦準手段１０と、対物レンズ９の焦点位置と共役な位置に配置される共焦点絞り１４と、共焦点絞り１４を通過した標本５からの観察光を検出し、画像情報６を出力する光検出手段１５と、を含んで構成される。そして、共焦点レーザ顕微鏡システム１００は、標本５と焦点位置の間の距離を変更する動作指示７の入力に連動して、画像情報６を増幅する。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡はニポウディスクを回転することによって、光が撮像面をスキャンするが、得られる画像はニポウディスクの回転速度とカメラのフレームレート（シャッタースピードはフレームレートと同じと仮定）により、異なるものとなる。例えば、ニポウディスク１回転で４枚の画像か得られる場合に、ニポウディスクなどの光学素子の特性が、回転している位置によって異なると、輝度が不定期に変化するフリッカとして現れる。
【解決手段】高さ測定部に１垂直同期信号毎に時間差を持ったフレームバッファを複数段設け、それぞれの画像の画素毎に平均を行い、その平均画像を用いて、高さ測定を行う。なお、好ましくは、フレームバッファの段数はニポウデイスクが１回転分の映像枚数である。 （もっと読む）

本発明は、走査顕微鏡、特に共焦点顕微鏡における少なくとも１つのテストランの中央コンピュータ制御された実行のための方法およびシステムであって、アプリケーションソフトウェアの少なくとも１つの第１ソフトウェアモジュールがテストされる方法およびシステムに関する。本発明は、個別走査顕微鏡クライアントおよび中央サーバから作られるネットワークによって目的を達成する。クライアントは、ネットワークインターフェースを介して接触することができ、サーバの中央ディレクトリにおいて管理される。走査顕微鏡の個別コンポーネント用のアプリケーションソフトウェアは、個別ソフトウェアモジュールから作られ、各モジュールは、潜在的なテストに関連付けられる。様々なテストを実行できるように、走査顕微鏡クライアントは、様々な動作パラメータを決定できるようにする追加センサおよびコンポーネントを、ハードウェア側に搭載されている。
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【課題】観察方式を切り替える際に抜き差しする光学部品の数を低減し、切替操作が容易な光学顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源７から出射された光を反射させるハーフミラーを有する照明光学系ＯIと、ハーフミラーによって反射した光束を対物レンズ１０によって標本６に照射し、標本から反射した光束を対物レンズ、ハーフミラー及び結像レンズ９ａを介して結像させて標本を観察する観察光学系ＯOとを備えた光学顕微鏡１。ハーフミラーを偏光ビームスプリッタ１８とすると共に、観察光学系ＯOは、偏光ビームスプリッタと対物レンズ１０との間の光軸ＡO上に切替自在に配置される微分干渉プリズム１２ｂと四分の一波長板とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便な機構で、光束の軸ズレを補正する機構を備えた走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明の走査顕微鏡は、レーザー光源からの光を試料で走査する走査手段と、前記走査手段と前記試料との間に配置される対物レンズと、前記レーザー光源と前記走査手段との間に配置され、前記レーザー光源からの光の波長変更に伴って発生する、前記光の基準光路に対するズレを補正する補正手段とを備えた走査型顕微鏡であって、前記補正手段は、シフト補正機構のみであり、前記レーザー光源から前記対物レンズの瞳までの光学系の倍率、又は前記補正手段から前記対物レンズの瞳までの光学系の倍率が６倍以上である。 （もっと読む）

【課題】複数の光源、および光源の切り替え機構を設けることなく、単一の白色光源によるカラー観察と単色光観察とを行なうことができる顕微鏡観察装置を提供する。
【解決手段】白色光源６から射出された光を試料２に照射し、試料２を透過または反射した光を結像して試料２の観察像を取得する照射光学系１８および観察光学系１９と、観察光学系１９により結像した観察像を観察するために、光を異なる複数の波長成分毎に分離して受光し、受光した各波長成分の光を電気信号として取り出す機能を有する３ＣＣＤカメラ１７と、を備え、３ＣＣＤカメラ１７が受光する全波長成分の電気信号に基づき形成された画像を観察するカラー観察と、各波長成分単独の電気信号に基づき形成された画像を観察する単色光観察とを、スイッチ２１の切り替えにより行なう。 （もっと読む）

【課題】多チャネル光検出器により検出した輝度データを合算して表示する顕微鏡において、標本から発せられた蛍光を正確な強度で観察することのできる顕微鏡を提供する。
【解決手段】標本Ａにおいて発生した蛍光を集光する対物レンズ１１４と、集光された蛍光をスペクトル成分に分光する分光素子１１８と、分光されたスペクトル成分をそれぞれ検出する複数のチャネルを有する多チャネル光検出器１１９と、複数のチャネルにより検出されたスペクトル成分を合算して蛍光強度を算出するとともに、各チャネルにより検出されたスペクトル成分の輝度値が所定の閾値を超えたか否かを判定するＣＰＵ１２２と、少なくとも１つのチャネルの輝度値が所定の閾値を超えたと判定された場合に、その判定結果を表示するディスプレイ３０２とを備える顕微鏡１を採用する。 （もっと読む）

【課題】共焦点変位計による合焦点の周辺においてもピントが合った画像を撮像する。
【解決手段】計測装置において、共焦点変位計システムＯＰＴ−Ａは、レーザダイオード１と、コリメートレンズ４と、対物レンズ６と、ハーフミラー３と、絞り板３１と、フォトダイオード２とを含む。観察画像撮像系ＯＰＴ−Ｂは、テレセントリック受光光学系であり、白色光源９４と、対物レンズ６と、ダイクロイックミラー５と、絞り板８１と、結像レンズ８２と、イメージセンサ９とを含む。コリメートレンズ４は、振動子７により、両矢印方向に掃引される。絞り板８１の絞り孔の径は、対物レンズ６の被写界深度がコリメートレンズ４の掃引の振幅以上となるように設定される。 （もっと読む）

【課題】走査盤を交換することなく、異なる複数条件での撮像を可能とする共焦点スキャナ装置を提供する。
【解決手段】ピンホール円盤１１は、小ピンホール領域ＳＣ１に存在するピンホールと、大ピンホール領域ＳＣ２に存在するピンホールとではピンホール径が異なっていることを特徴としている。小ピンホール領域ＳＣ１には直径２５μｍのピンホールが、大ピンホール領域ＳＣ２には直径５０μｍのピンホールが、それぞれ形成されている。例えば、ピンホール列ＰＬ６は１つの螺旋状の曲線に沿って配置されたピンホール列であるが、小ピンホール領域ＳＣ１と大ピンホール領域３１ｂの境界線を境にしてピンホール径が異なっている。両方の領域ＳＣ１，ＳＣ２に跨る他のピンホール列についても同様である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光源（１２）からの光が試料（６）中の測定光焦点（５２）において合焦され、そこから反射され、反射された光は、２つの光経路（４８、５０）において光学系（２２）を通して、少なくとも２つの検出器要素（７２、７４）上に導かれる自動合焦方法に基づく。試料への迅速かつ正確な自動合焦を達成するために、測定光焦点（５２）が、光を異なる程度に反射する試料（６）の複数層において移動され、検出器要素（７２、７４）は、検出器要素（７２、７４）により示される放射特性のプロファイルが異なるように配置され、焦点位置は、プロファイルに基づいて設定される。
【解決手段】 （もっと読む）

【課題】非電動顕微鏡にも適用可能な視野絞りの調節方法を提供する。
【解決手段】顕微鏡１０のカメラポート１９に配置した撮影装置２１を介して標本面に投影される視野絞りの像を表示する表示装置３０と、前記視野絞りの状態を前記撮影装置２１からの信号を解析して判別する制御装置２２とを有し、前記制御装置２２は、前記判別結果に基づいて、前記視野絞りの状態調節を指示するメッセージを前記視野絞りの像に重畳して表示する。 （もっと読む）