【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置１〜４及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ６を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面７にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡の状態の変更に同期させて行う必要のあるカメラの設定の変更を適切に行えるようにする。
【解決手段】顕微鏡用デジタルカメラ３は、カメラヘッド部２と操作表示部６とを備えて構成される。操作表示部６の表示部位５は、顕微鏡本体１により取得される観察画像を表示する。操作表示部６の操作部位４内のＣＰＵは、当該観察画像の変化を検知する。操作部位４に設けられている対物警告ＬＥＤが点灯することで、当該ＣＰＵによる当該観察画像の変化の検知結果を示す報知情報の出力がなされる。 （もっと読む）

【課題】細胞内で起こる高速現象を測定する装置を提供する。
【解決手段】ヒルベルト位相顕微鏡を使用し、透光性物体に関連した高解像度位相情報から、一フレーム毎の形状、体積のようなパラメータを得、ミリ秒の時間スケールで取得した多数の画像をもとに、ダイナミックな変動をナノメートルオーダーの分解能で定量化する。 （もっと読む）

【課題】 複数のワークについて、相対的な位置関係を把握し易く、測定結果を容易に識別することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 特徴量情報、測定対象箇所情報及び設定値情報を保持する測定設定データ記憶部２１と、ワークの位置及び姿勢をそれぞれ検出する配置状態検出部２４と、ワーク画像Ａ１から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出部２４と、抽出されたエッジに基づいて測定対象箇所の寸法値を算出し、測定対象箇所及びワークの良否判定を行う良否判定部２５と、ワークの良否判定の結果をワーク画像Ａ１上に表示する測定結果表示手段と、ワークのいずれかを選択するためのワーク選択部２７により構成される。測定結果表示部２６は、選択されたワークについて、測定対象箇所の良否判定の結果を表示する。 （もっと読む）

【課題】 適切に試料を映し出すことができるデジタル顕微鏡を提供する。
【解決手段】 デジタル顕微鏡１は、明視野照明光を供給するハーフミラー１３と、暗視野照明光を供給するリングレンズ１６と、操作部２６での操作に応じて明視野照明光と暗視野照明光の混合割合を変える機構を備える。混合割合を変える機構は、ハーフミラー１３に光を供給する光ファイバ束１７と、リングレンズ１６に光を供給する光ファイバ束１８と、光源からの光を光ファイバ束１７および光ファイバ束１８に入光させる光ファイバ束１９とを有する。光ファイバ束１７の入光端と光ファイバ束１８の入光端が同方向を向けて隣接して配置されており、かつ、光ファイバ束１９の出光端が両入光端に対向して配置されている。そして、出光端と両入光端とを対向した状態を保持しつつ、操作部２６での操作量に応じて光ファイバ束１９の出光端を移動させる。 （もっと読む）

【課題】円形標本の観察位置を高精度に再現する。
【解決手段】顕微鏡装置は、円形標本１０３の撮像画像に基づいて当該円形標本１０３の中心位置の座標を算出する中心位置算出部２０１と、円形標本１０３の撮像画像から、当該円形標本１０３の中心位置の座標に基づいて所定領域のパターン画像を認識するパターン認識部２０２と、第１の期間に得られた円形標本１０３の撮像画像からパターン認識部２０２により認識された第１のパターン画像と第１の期間よりも後の第２の期間に得られた円形標本１０３の撮像画像からパターン認識部２０２により認識された第２のパターン画像との間の回転ずれ角を算出する回転ずれ角算出部２０４と、回転ずれ角に基づいて円形標本１０３の回転ずれを補正し、第１の期間における円形標本１０３の位置を再現する位置再現部２０５とを備える。 （もっと読む）

２次元または３次元の物体位置調整のための高解像度顕微鏡および方法は、以下の方法ステップａ）からｏ）の少なくとも１つを含む。ａ）アナモルフィックレンズ、好ましくは結像中の円柱レンズを使用して、オリエンテーションおよび形状により、結像された粒子または分子の垂直（Ｚ）ポジションが検出されること、ｂ）検出ビーム経路内で、異なった光学的経路長を備えた少なくとも２つの検出部分ビーム経路が分割され、検出器上でずらして検出されること、ｃ）活性化または切り替えを、多光子励起プロセス、好ましくは２光子励起によって行うこと、ｄ）点スキャンニングの活性化または切り替えを行うこと、ｅ）ラインスキャニングの活性化または切り替えを行うこと、ｆ）試料の励起および試料光の検出を広視野モードで行うこと、ｇ）手動または自動であらかじめ定められた試料範囲が活性化されるまたは切り替えられること、ｈ）活性化または切り替えをＡＯＴＦまたはＳＬＭまたはＤＭＤによって行うこと、ｉ）スペクトル分割要素、好ましくは格子によってレーザパルスが活性化または切り替えのためにスペクトル分割されること、ｊ）ＳＬＭまたはＤＭＤがビーム路内の格子の後ろで、分割されたレーザパルス部分の制御された選択を行うこと、ｋ）レーザ広視野励起は、ＳＬＭまたはＤＭＤによってもたらされること、ｌ）ＲＯＩがＳＬＭまたはＤＭＤによって選択されること、ｍ）多光子切り替えまたは活性化をマイクロレンズアレイ、好ましくは円柱レンズアレイによって行うこと、ｎ）切り替えおよび／または励起をラインスキャナによって行うこと、ｏ）ライン検出を、空間分解センサによって行い、その際それぞれ複数のセンサから成る、少なくとも２つのセンサ列を備えたスリット絞りの調整によって、試料光に照らされること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的安価で狭視野なテレセントリックレンズなどの光学系レンズを使用して高精度、かつ全体を見渡した測定を行うことが可能となる測定顕微鏡に関するものである。
【解決手段】本発明は、ステージ１上に載置された被検物Ｂを撮影するために光学系レンズ５を装着した被検物撮影カメラ２と、前記被検物Ｂ周辺を含んで撮影する周辺撮影カメラ４とを設置し、前記周辺撮影カメラ４で撮影した映像内に前記被検物撮影カメラ２で撮影した映像を出力した測定顕微鏡Ａである。 （もっと読む）

共焦点パターン投影技術を使用して、対象物の表面の少なくとも一部の３Ｄ幾何学的形状を取得および／または測定するための手持ち式スキャナを開示する。口腔内走査およびヒトの耳の内部の走査の具体的な実施形態を与える。本発明に記載される方法および装置は、非接触型探査媒介物として光を使用して、対象物の３Ｄ表面登録を提供するためのものである。光は、光振動を提供する照射パターンの形態で、対象物上に提供される。パターンの変動／振動は、空間的、例えば、静的な市松模様パターンであってもよく、および／または、例えば、走査されている対象物にわたってパターンを移動させることによって、時変であってもよい。 （もっと読む）

【課題】外乱（例えば温度変化や振動）が測定精度に与える影響を抑制でき、測定レンジに依存しない高精度の測定が可能な低コヒーレンス干渉計を提供する。
【解決手段】本発明に係る低コヒーレンス干渉計１は、測定対象２の三次元形状又は膜厚測定に供される低コヒーレンス干渉計であって、白色光を射出する光源１１と、白色光を測定対象に集光させ光軸方向に移動可能な対物レンズ１４と、白色光を測定対象２に照射する物体光３と参照鏡１７に照射する参照光４とに分波し、測定対象で反射された物体光３と参照鏡１７で反射された参照光４を合波して白色干渉光を出力させる光分波合波器１６と、光分波合波器１６から出力された白色干渉光を検出する白色光検出器２０と、対物レンズの光軸方向の移動量を測定するための移動量測定器３０を備え、移動量測定器はレーザ光を射出するレーザ光源３１と光軸上に形成されレーザ光を反射する反射膜３２を有する。 （もっと読む）

【課題】プロファイルラインの指定と関心領域の指定との相互間の位置関係を容易に把握できるようにする。
【解決手段】画像表示領域１０８での試料の平面画像の表示に対してなされる、試料のプロファイルを表すプロファイル画像における当該プロファイルの表示範囲の指定を、演算部１０３が取得する。プロファイル描画部１０５は、当該表示範囲のプロファイル画像をプロファイル表示領域１０９に表示させる。演算部１０３は、画像表示領域１０８での平面画像の表示に対してなされる関心領域の指定を取得し、プロファイル描画部１０５でのプロファイル画像での表示において、当該関心領域に対応する範囲を判別する。プロファイル描画部１０５は、プロファイル表示領域１０９でのプロファイル画像における、当該関心領域の範囲内の画像と当該範囲外の画像とを、異なる態様にして表示させる。 （もっと読む）

【課題】動的挙動を示す生体であっても所定の部位を適切に観察できるようにする。
【解決手段】撮像素子２１は、対物レンズ２の合焦位置から対物レンズ３を介して到来する観察光を結像させて得られる観察試料Ｓの光学像を撮像する。合焦信号処理部１７は、対物レンズ２の合焦位置に観察試料Ｓの表面が位置したことの検出を、基準光源３から発せられて該表面で反射して対物レンズ２を介して到来するＡＦ光に基づいて行う。オフセットレンズ群駆動部１５は、対物レンズ２の該ＡＦ光での焦点距離を変化させる。コントロール部１９は、オフセットレンズ群駆動部１５を制御して、該焦点距離を、対物レンズ２の該観察光での焦点距離に対して所定の距離だけ異ならせておく。撮像トリガ生成部２４は、コントロール部１９により制御された該焦点距離の下で撮像素子２１を制御して、合焦信号処理部１７により該検出がされたときの該光学像を撮像させる。 （もっと読む）

【課題】透明に近い細胞などの生体材料を非染色状態で試料とし、コントラストの低い試料を可視化する顕微鏡などの観察装置に最適な三次元画像取得装置およびその方法とこれを利用した加工装置の提供。
【解決手段】試料空間内の計測点に集光する光束を照射し、透過光量を計測する。透過光信号と参照信号から微弱な光吸収量を測定する。三次元走査しながら光吸収量を立体画素とする三次元マップを得る。この三次元マップに、計測点付近の光強度分布像をコンボリューション・カーネルとするデコンボリューション処理を行ない、非染色状態で透明に近い試料の三次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】テンプレートによる三次元の計測や画像処理を可能にするためにパターンマッチングに高さ位置の補正機能を付加する。
【解決手段】基準画像に基準ＲＯＩ画像を指定し(S1)、基準ＲＯＩ画像の特徴量を抽出して(S2)、この特徴量に基づいて、対象画像において基準画像のＲＯＩに相当する領域の画像（「対象ＲＯＩ画像」）を探索する(S3)。次に、対象ＲＯＩ画像と基準ＲＯＩ画像とが二次元平面で同じになるように対象画像全体のx位置,y位置,θ位置を補正する(S4)。次に、基準ＲＯＩ画像の高さ平均を抽出し(S5)、そして、対象画像において、対象ＲＯＩ画像の高さ平均が基準ＲＯＩ画像の高さ平均と同じになるように対象画像全体を補正する(S6)。この一連の処理によって、基準画像と対象画像とは高さを含めて位置が一致する。 （もっと読む）

【課題】観察面の高さ（光軸方向位置）によらず高効率かつ略均一な照明領域を得ることができる照明光学装置を提供する。
【解決手段】照明光学装置１０は、光源１１と、正の屈折力を有する光学系１２と、屈折力を有しないアフォーカル光学系１３とを有している。光学系１２とアフォーカル光学系１３とは、合わさってコンデンサレンズ(１２,１３)として機能する。光源１１からの光束は、コンデンサレンズ(１２,１３)を介して、光照射面１０Ａに導かれる。コンデンサレンズ(１２,１３)は、光源１１と光照射面１０Ａとの間に配置され、かつ、光照射面１０Ａをテレセントリック照明するように配置されている。つまり、コンデンサレンズ(１２,１３)の前側焦点面に光源１１を配置し、後側焦点面を光照射面１０Ａとしている。アフォーカル光学系１３は、照明領域（光照射面１０Ａ）を光軸方向に調整する際の可動部（調整群）である。 （もっと読む）

【課題】試料の厚さ方向に沿った運動が不要で高速に試料内部のすべての厚さ方向に合焦した情報を得て試料の体積観察を行うこと。
【解決手段】顕微鏡１は、試料が内在する透明基板３０と、焦点面３１の光を読み取り試料の画像に基づく三次元情報を取得する画像光学系１０と、画像光学系１０から透明基板３０に向けて照射される光を焦点面３１に結像する対物レンズ２１と、透明基板３０の上面３２上の画像光学系１０側に配置される楔形補正板４０とを備える。画像光学系１０は、光軸１０ａおよび焦点面３１が透明基板３０の上面３２に対してそれぞれ所定の傾斜を持って配置される。楔形補正板４０は、画像光学系１０からの光の入射面４１が焦点面３１と平行となるとともに、透明基板３０への光の出射面４２が透明基板３０の上面３２と平行となる楔形の形状で形成され、透明基板３０と同等の屈折率ｎを有する。 （もっと読む）

【課題】 可換光学素子に起因して発生する波面収差を確実に補正できること。
【解決手段】 顕微鏡１００は、標本１および交換可能な対物レンズ１４を介した光を検出する撮像装置１７を備え、撮像装置１７の検出結果をもとに標本１の観察画像を得る顕微鏡であって、対物レンズ１４を介する光の波面変調を行う可変ミラー１５と、この可変ミラーを移動させ、可変ミラー１５上の中心位置１５ｃを対物レンズ１４の光軸ＯＡ上に位置合わせするステージ１８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レンズの球面収差の影響を考慮した正確な被測定物の位置測定を可能にする共焦点光学装置及びその方法を提供する。
【解決手段】被測定物に光を照射しつつ、被測定物に対する光の合焦位置を光軸方向に順次相対的に移動させながら、被測定物からの反射光を検出器で検出することにより得られた、移動に伴う検出データの分布に基づいて、被測定物の高さを算出する共焦点光学装置１が与えられる。当該共焦点光学装置１は、移動に伴う検出データの分布を記憶する第１の記憶手段３と、第１の記憶手段３に記憶した検出データの分布を自由曲線で近似する曲線近似手段５と、近似された自由曲線の頂点位置に基づいて、被測定物の高さを算出する算出手段２とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 共焦点レーザ走査型顕微鏡における全焦点画像と顕微干渉計測法における高さ画像を効率よく取得することで、試料の３次元形状画像を短時間に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、試料１７を載置するステージ２００と、試料１７の上方に配置される干渉対物レンズ３００と、共焦点レーザ走査型顕微鏡における光学系４００ａと、顕微干渉計測法における光学系４００ｂと、ステージ２００と、干渉対物レンズ３００を搭載する顕微鏡本体４００と、試料１７の３次元形状を観察する際に画像処理や顕微鏡本体４００を制御する制御部５００と、を有し、例えば干渉対物レンズ３００を連続して光軸に沿って移動させ、相対距離を連続的に変え、レーザ用受光素子１１と撮像素子１６から出力される出力信号を最適なタイミングで取得する。 （もっと読む）