【課題】 集光スポットのサイズが小さく、かつ焦点深度が長い集光光学系を提供する。
【解決手段】 レーザ光源で発生させたレーザ光を所望の焦点距離で集光させる集光光学系であって、集光機能を有する第１の光学手段と、球面収差発生機能を有する第２の光学手段とからなると共に、球面収差を発生させるように構成されている。また、次式（ａ）〜（ｄ）を満たすように設計することで、３次及び５次の球面収差を発生させた。
（ａ）｜Ｚ_８｜≧０．１λ 又は ｜Ｚ_１５｜≧０．０５λ、（ｂ） Ｚ_８／Ｚ_１５≧３ 又は Ｚ_８／Ｚ_１５＜１、（ｃ）｜Ｚ_８｜＜１．４λ、（ｄ）｜Ｚ_１５｜＜０．５λ
但し、λは波長、Ｚ_８は波面収差のゼルニケ・フリンジ多項式の係数のうち第８番目の係数で３次の球面収差に対応し、Ｚ_１５は波面収差のゼルニケ・フリンジ多項式の係数のうち第１５番目の係数で５次の球面収差に対応する。 （もっと読む）

【課題】色収差が十分に除去されており、かつ球面収差を制御して集光点を形成できる。
【解決手段】光ビーム拡張レンズ系34と集光レンズ系38とを備える多焦点光学系である。光ビーム拡張レンズ系は、凹レンズ10と分割レンズの組20（20-1〜20-4）との組み合わせレンズ系であり、分割レンズのそれぞれは共軸光学系を構成するように光軸に沿って互いに異なる位置に配置されている。分割レンズの組は光軸に沿って移動させて凹レンズからの距離を調整することが可能とされている。 （もっと読む）

【課題】ファイバーレーザであってもＣＯ2レーザと同様にアシストガスとして酸素ガスを使用してワークの切断加工を行うことのできるレーザ切断加工方法及び装置を提供する。
【解決手段】波長が１μｍ帯のレーザ光によって金属材料のワークのレーザ切断を行うレーザ切断加工方法であって、集光レンズ１３における焦点位置を通過して内径及び外径が共に拡大する傾向にあるリングビームＲＢによって前記ワークのレーザ切断を行うに当り、前記リングビームＲＢの外径は３００μｍ〜６００μｍであり、内径比率は３０％〜７０％であり、前記集光レンズの焦点深度は２ｍｍ〜５ｍｍであるレーザ切断加工方法及び装置である。 （もっと読む）

【課題】温度補償されたジッターが少ない走査光学装置を提供する。
【解決手段】走査レンズ（ｆθレンズ６）の主走査方向の像側主点から像点までの距離をｓ′、走査レンズの主走査方向の焦点距離をｆｍとして、０．２≦１−ｓ′／ｆｍ≦０．５ を満たし、入射光学系（回折レンズ２）は、回転対称回折面とアナモルフィック屈折面とを備えたレンズからなり、主走査方向の焦点距離をｆｉ［ｍｍ］として、１０≦ｆｉ≦２２を満たし、光学系全体の主走査方向の横倍率をｍＭ、副走査方向の横倍率をｍＳとして、ｍＭとｍＳの比ｍＭ／ｍＳがｍＭ／ｍＳ≧１．３８を満たし、入射光学系の主走査方向の屈折パワーφｎ、回折パワーをφｄとしてφｎとφｄの比φｎ／φｄが、ｇ２（ｆｉ）≦φｎ／φｄ≦ｇ１（ｆｉ），ｇ１（ｆｉ）＝０．０１５ｆｉ＋１．０７３，ｇ２（ｆｉ）＝−０．０１ｆｉ＋１．１８４を満たす。 （もっと読む）

【課題】高スループットで高品質のレーザ加工をすることができて装置の小型化が可能であるレーザ加工装置等を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１は、レーザ光源１０、位相変調型の空間光変調器２０、駆動部２１、制御部２２、結像光学系３０を備える。結像光学系３０はテレセントリック光学系を含む。駆動部２１に含まれる記憶部２１Ａは、複数の基本加工パターンそれぞれに対応する複数の基本ホログラムを記憶するとともに、フレネルレンズパターンに相当する集光用ホログラムを記憶する。制御部２２は、記憶部２１Ａにより記憶された複数の基本ホログラムのうちから選択した２以上の基本ホログラムを並列配置し、その並列配置した各基本ホログラムに集光用ホログラムを重畳して全体ホログラムを構成し、その構成した全体ホログラムを空間光変調器２０に呈示させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レーザー加工等に用いられるチルト誤差の影響を受けにくい非球面ホモジナイザーを提供する。
【解決手段】平行でエネルギー分布がガウシアン分布である入射ビームを屈折縮小させて、入射ビームの直径よりも小さい直径の範囲において像面に均一エネルギー分布のビームを形成するための１枚のレンズからなるホモジナイザーにおいて、前記レンズが、両面非球面又は片面が非球面、もう一方の面が凹の球面である非球面ホモジナイザー。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線を対物レンズの光軸に対して平行に照射することができる像側テレセントリック対物レンズおよびその対物レンズを備えたレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】像側テレセントリック対物レンズであって、投光側から順次配設される負の屈折力を有する第１レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とを具備し、該第１レンズ群G1は互いに対向する面が凹面を有する第１の負レンズと第２の負レンズにより正の空気レンズを構成しており、光学系の合成焦点距離をF、該第１レンズ群G1の合成焦点距離をF1、該第１レンズ群G1の空気レンズの焦点距離をFa、該第2レンズ群G2の合成焦点距離をF2、該第3レンズ群G3の合成焦点距離をF3としたとき、０．９＜｜F1／F2｜＜３．５、１．２＜｜F3／F2｜＜５．０、１．３＜｜F／Fa｜＜２．５５の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の強度分布を任意の強度分布に整形するレーザ光整形用光学系において、レーザ光を拡大又は縮小するために光学レンズの加工時間が増加することを抑制するレーザ光整形用光学系を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るレーザ光整形用光学系１は、入射レーザ光の強度分布を変換して所望の強度分布に整形する強度変換レンズ１１と、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光の位相を揃えて平面波に補正する位相補正レンズ１２と、強度変換レンズ１１と位相補正レンズ１２との間に配置され、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光を拡大又は縮小する拡大縮小光学系２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の強度分布を任意の強度分布に整形することと、レーザ光の波面を制御することとを両立するレーザ光整形及び波面制御用光学系において、レーザ光を拡大又は縮小するために光学レンズの加工時間が増加することを抑制するレーザ光整形及び波面制御用光学系を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るレーザ光整形及び波面制御用光学系１は、入射レーザ光の強度分布を変換して所望の強度分布に整形する強度変換レンズ１１と、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光を変調して波面制御を行う光変調素子１２と、強度変換レンズ１１と光変調素子１２との間に配置され、強度変換レンズ１１からの出射レーザ光を拡大又は縮小する拡大縮小光学系２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】所定の回転軸を中心にして楕円を回転させたときにできる楕円体の内周面の一部又は全部によって構成された楕円鏡を用いた光学ユニットに関し、整った光を、照射面積を変えて出力する。
【解決手段】光源２１から発せられた光に由来する光Ｌｓが集束する所定点１１０と、所定の回転軸Ｒ１を中心にして楕円を回転させたときにできる楕円体の内周面の一部又は全部によって構成され回転軸Ｒ１上に第１焦点ｆ１および第２焦点ｆ２を有し、第１焦点ｆ１が所定点１１０に一致し、所定点１１０を通過してきた光Ｌ１１，２１，３１を反射する楕円鏡１１１と、第１焦点ｆ１が所定点１１０に一致した状態を保ったまま、所定点１１０を通過してきた光Ｌ１１，２１，３１が楕円鏡１１１に当たる楕円鏡１１１上の位置を調整可能な調整手段１１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】波長１．０μｍから１．６μｍまでの波長帯で１／１０波長（ｒｍｓ）以下の総合波面収差を持つ色消しの単一レンズを提供する。
【解決手段】第１の材料からなる正の屈折力を有するＡレンズと第２の材料からなる負の屈折力を有するＢレンズを貼り合わせた２枚構成、または前記Ａレンズの両面に前記Ｂレンズを貼り合わせた３枚構成を取るレーザ光結像用の色消しレンズであって、ＡレンズとＢレンズのレンズ材料の条件として両レンズのアッベ数ν_1.31nの差が２７を超え、部分分散比の差の絶対値が０．００５を下回ると共にＡレンズの屈折率ｎ_1.31（１）が１．４２から１．５９の範囲にあるか、又は両レンズのアッベ数ν_1.31の差が２７を超え、アッベ数ν_1.31の比が１．４０を超えると共にＢレンズの屈折率ｎ_1.31（２）が１．６９を超える。 （もっと読む）

【課題】倍率色収差の量を任意に制御可能とする対物レンズ、及び、この対物レンズを有する結像光学系を提供する。
【解決手段】対物レンズＯＬと結像レンズＩＳとを有する結像光学系ＩＳにおいて、対物レンズＯＬは、物体からの光を集光するレンズ群ＧＦ，ＧＲと、凹面鏡Ｍ０を有する光路調整部材ＰＡと、物体からの光を光路調整部材ＰＡの凹面鏡Ｍ０に入射させるように偏向するとともに、凹面鏡Ｍ０で反射した光を像側に偏向する光路偏向部材ＰＣと、を有し、光路調整部材ＰＡを、光路偏向部材ＰＣにより光が偏向された方向に沿って移動可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】 補正光学系のレンズの収差を考慮しても、十分な集光性能を確保することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームの経路上に第１のガルバノミラーと第２のガルバノミラーとが配置されている。第１のガルバノミラーと第２のガルバノミラーとの間のレーザビームの経路上に第１のレンズ群と第２のレンズ群とが配置されている。第１のレンズ群の前側焦点の位置に第１のガルバノミラーが配置され、第１のレンズ群の後側焦点と第２のレンズ群の前側焦点とが一致し、第２のレンズ群の後側焦点の位置に第２のガルバノミラーが配置されている。第１のレンズ群及び第２のレンズ群の各々は、少なくとも２枚のメニスカスレンズを含む。 （もっと読む）

【課題】ファイバレーザやＹＡＧレーザ等の近赤外光領域のレーザ光を屈折させるために使用する光学部品であって、コストの増大やレーザ光の吸収を抑制しつつも色収差を好適に補正することができるレーザ用光学部品を提供する。
【解決手段】本発明のレーザ用光学部品は、近赤外光領域である０．８〜１．６μｍの波長範囲内で複数の波長を含むレーザ光を屈折させるためのレーザ用光学部品である。当該光学部品は、少なくとも１つの凸レンズ１１と少なくとも１つの凹レンズ１２とを含み、凸レンズ１１がガラスからなり、凹レンズ１２がＺｎＳｅ又はＺｎＳからなる。 （もっと読む）

本発明は、コリメータレンズ（１３）および集束レンズ（１４）を含み、コリメータレンズ（１３）および充足レンズ（１４）がＺｎＳからなるとともに少なくとも５mmの周辺厚さを有する、レーザービームを集束させるためのヘッドに関する。さらに、４０から５０°の入射角（α）にて作用する折り畳み反射鏡（１５）が前記集束ヘッド内のレーザービームの経路における、コリメーティングレンズ（１３）と集束レンズ（１４）との間に設けられる。本発明はさらに：、１.０６から１.１０μｍの波長および０.１から２５kWの出力を有する固体レーザー（ＳＬ）装置と、本発明に係る集束ヘッドと、そして、固体レーザー（ＳＬ）装置から集束ヘッドにレーザービームを伝達するように、固体レーザー（ＳＬ）装置を集束ヘッドに接続する伝達ファイバー（ＣＦ）を備えるレーザービーム切削機器に関する。
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【課題】レーザ加工ヘッドにおいて、熱レンズ効果が形成される遷移時間を約１分程度から１秒程度まで低下させる。また、透過する光学部品で吸収されるパワーの割合を低減させるとともに、小型化、軽量化を図る。
【解決手段】高輝度、つまり、単一横モード、あるいは、準単一横モードのファイバレーザ６と、コリメータレンズ６及び収束レンズ８からなるレンズ系とを備える。コリメータレンズ７における熱レンズ効果による収束レンズ８の入射面での波面曲率の変化が、収束レンズ８内で発生する熱レンズ効果により補償され、両レンズ７，８の中で起こる熱レンズ効果に対して、収束レンズ８の出射面での波面曲率が変化せず、収束レンズ８は、この収束レンズ８の出射面でのビーム半径が、コリメータレンズ７の焦点距離の変化に依らずに一定となる位置に配置されている。 （もっと読む）

眼科手術のためのレーザシステムは、パルスレーザビームを生成するレーザ光源と、パルスレーザビームを受け取り、Ｚ軸を横断する２つの方向に走査されたＸＹ走査ビームを出射するＸＹスキャナと、ＸＹ走査ビームを受け取り、Ｚ軸に沿った方向に追加的に走査されたＸＹＺ走査ビームを出射するＺスキャナとを備え、Ｚスキャナは、中間焦点面を有するビームを出力する第１のレンズグループと、中間焦点面を介してビームを受け取り、可変の形式でビームをコリメートする可動レンズグループと、Ｚスキャナからコリメートされたビームを受け取り、ビームの焦点を標的領域の焦点に集光する対物レンズとを備える。 （もっと読む）

【課題】サファイア基板等の可視光に対して透明体である撮像対象物の適切に輪郭を把握することが出来る撮像光学系を提供すること。撮像光学系を用いてサファイア基板等の被加工物を位置合わせできる加工装置を提供すること。
【解決手段】撮像光学系１１０は、光の屈折方向を互いに直交させた第一及び第二のシリンドリカルレンズ１１１、１１２と、第二のシリンドリカルレンズ１１２を透過した反射光のうち撮像ラインＬとなる所定領域からの反射光だけを通過させるマスク１１３と、マスク１１３を通過した撮像対象物Ｍからの反射光を結像させる結像レンズ１１４と、結像レンズ１１４の結像位置に設けられた撮像素子１１５とを具備して構成される。第一のシリンドリカルレンズ１１１の開口数ＮＡ１が、第二のシリンドリカルレンズ１１２の開口数ＮＡ２よりも大きく、第一のシリンドリカルレンズ１１１の集光点を撮像対象物Ｍの表面高さに合わせた状態で撮像対象物Ｍを撮像することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 特に高出力のレーザビームを対象とし、全て反射型光学素子を用いて高出力を保ったままで、外径／内径比が使用機器に適した比率のリングビームに変換できるリングビーム変換装置を提供すること。
【解決手段】 レーザビームを同一光軸で反射する、内方向に配置した凸アキシコンミラー１３，２３と外方向に配置した凹アキシコンミラー１５，２５とを有するアキシコンミラー群１７，２７と、このアキシコンミラー群１７，２７の凸アキシコンミラー１３，２３で反射させるレーザビームが通過するレーザ通過孔１１，２１と、アキシコンミラー群１７，２７の凹アキシコンミラー１５，２５で反射させるレーザビームを所定角で反射させる反射面１２，２２とを有するスクレーパミラー１０，２０とを備え、前記アキシコンミラー群１７，２７及びスクレーパミラー１０，２０の保持手段３０を前記レーザビームＬ１，Ｌ２の光路外に配置している。 （もっと読む）

【課題】 レーザによる損傷を受け難く、可視光域から近紫外域までの領域において、諸収差（特に色収差）が良好に補正され、透過率が十分に高く、さらに作動距離が十分に確保された、レーザ加工および加工前後の観察に好適な対物レンズを提供する。
【解決手段】 物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を持つ第３レンズ群Ｇ３とを有する。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１と、物体側レンズ面の曲率半径の絶対値より像側レンズ面の曲率半径の絶対値が小さい正レンズＬ２とを有する。第３レンズ群Ｇ３は互いに接合されていない３枚の単レンズＬ１３〜Ｌ１５のみを有する。 （もっと読む）