【課題】単一の撮像素子を用いて、試料の像を視差のある２つの像として同時に撮像可能な顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ８により集光された試料Ｓからの光を第１の像として結像させる第１の結像光学系９ａおよび第２の像として結像させる第２の結像光学系９ｂと、第１の結像光学系９ａおよび第２の結像光学系９ｂの焦点位置に配置され、第１の像が結像される第１の撮像領域Ｒ１と第２の像が結像される第２の撮像領域Ｒ２とを有する撮像素子１０とを備える顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】物体面や像面が設計値からずれた場合でも主走査方向及び副走査方向での焦点深度や被写界深度を同等に維持できるレンズアレイ及びこれを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】光軸と直交する方向に配列され、物点から入射面に入射した光を出射面により集光させる複数のレンズ素子を有する第１のレンズと、第１のレンズと同一形状に形成され、第１のレンズに対して１８０度反転した状態で光軸と直交する方向に配列され、第１のレンズに配置された各レンズ素子により光が集光される位置の光路の下流に入射面が配置され、入射面に入射した光を出射面により再度集光させる複数のレンズ素子を有する第２のレンズと、を備え、物点からの光が第１のレンズの入射面に入射され、第２のレンズの出射面から出射される際に、第２のレンズの出射面上での出射位置が最も外側である２点間の距離が主走査方向と副走査方向とで略同一になるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数枚のマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光において、露光ムラを防止できるマイクロレンズアレイ及びそれを使用したスキャン露光装置を提供する。
【解決手段】マイクロレンズアレイ１は、ガラス板１１の上面及び下面に、夫々単位マイクロレンズアレイが積層され、上板１０及び下板１３により各単位マイクロレンズアレイが保持されている。各単位マイクロレンズアレイと、ガラス板１１には、位置合わせ用のマークが形成されていて、単位マイクロレンズアレイとガラス板１１とは、これらのマークにより位置合わせされて相互に積層されている。 （もっと読む）

【課題】有効利用する波長において、ＥＵＶ光源、特に、ＥＵＶプラズマ光源の光源パワー及び光源位置を十分な精度を持って測定することができる測定手段を備えたＥＵＶ照明システムを提供する。
【解決手段】少なくとも一つのＥＵＶ（ｅｘｔｒｅｍｅ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）光源（３）と、特に、有効利用する波長の範囲で、ＥＵＶ光源（３）の、又はＥＵＶ光源（３）の中間像の一つの強度変動及び／又は位置変化を測定する開口絞り及びセンサ装置（１）とを備えたＥＵＶ照明システムにおいて、開口絞り及びセンサ装置（１）は、開口絞り（２．１）とＥＵＶ位置センサ（２．３）とを有し、開口絞り及びセンサ装置（１）は、開口絞り（２．１）がＥＵＶ光源（３）から、又はその中間像（７）の一つから発せられる照射の所定の立体角範囲がＥＵＶ位置センサ（２．３）に当たるように配置される。 （もっと読む）

【課題】正立等倍レンズアレイユニットにおいて隣接するレンズ間の迷光の影響を抑制する。
【解決手段】正立等倍レンズアレイユニット１３は第１のレンズアレイ１７と第２のレンズアレイ１８と連結部１９とを有する。第１のレンズアレイは複数の第１のレンズ２０を有する。複数の第１のレンズを第１の方向に沿って配置する。第２のレンズアレイは複数の第２のレンズを有する。複数の第２のレンズは第１のレンズそれぞれと光軸が重ねられる。第２のレンズを第１の方向に沿って配置する。連結部１９に開口を形成する。互いに光軸が重なる第１、第２のレンズの間に開口を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、迷光を効果的に遮光できる撮像レンズを提供する。
【解決手段】センサ４の受光面が四角形状の受光部５に照射光を集光させる第１レンズＬ１と第２レンズＬ２との光学面部Ｌ１ａ・Ｌ２ａを露出させる開口３ａを有すると共に、当該光学面部Ｌ１ａ・Ｌ２ａの外縁部Ｌ１ｂ・Ｌ２ｂを覆うように形成された遮光膜３を備える。上記遮光膜３の開口３ａが、四角形状であることにより、迷光を効果的に遮光できる。 （もっと読む）

【課題】広い変倍範囲で収差が良好に補正されたコンパクトなズーム結像光学系及びズーム顕微鏡の技術を提供する。
【解決手段】ズーム結像光学系２０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられるズーム結像光学系である。ズーム結像光学系２０は、対物レンズからの光束を集光して中間像を形成する結像レンズ２１と、中間像を像面に投影するズーム機能を有するリレーレンズであるズームレンズ２２と、を含む。ズームレンズ２２は、中間像側から順に、正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、正のパワーを有する可動群である第２レンズ群Ｇ２と、光軸方向に移動する開口絞りＡＳと、正または負のパワーを有する可動群である第３レンズ群Ｇ３と、負のパワーを有する第４レンズ群Ｇ４と、を含み、第２レンズ群Ｇ２及び第３レンズ群Ｇ３の移動により変倍する。 （もっと読む）

【課題】複数のレンズが直線状に配列されたレンズアレイの断面形状を、物体と結像とを結ぶ直線と平行な軸に対して非線対称とすることによって、光量を増加させることができ、明るい結像を得ることができるようにする。
【解決手段】直線状に配列された複数のレンズを含むレンズアレイであって、物体３１ａと結像３１ｃとを結ぶ直線と平行な方向を第１の方向とし、前記レンズの配列方向を第２の方向とし、該第２の方向と直交する平面をＸＺ平面としたとき、該ＸＺ平面による断面形状は、前記第１の方向に平行な軸に対して非線対称である。 （もっと読む）

【課題】３枚のレンズで結像光学系を構成し、像側に最も近いレンズの大きさを抑えて露光ヘッドの小型化を図りつつ、ワーキングディスタンスを長くとる。
【解決手段】光を発光する発光素子と、発光素子が発光した光が透過する第１のレンズと、第１のレンズを支持する第１の光透過性基板と、第１のレンズを透過した光が透過する第２のレンズと、第２のレンズを支持する第２の光透過性基板と、第２のレンズを透過した光が透過する第３のレンズと、発光素子と対向する面で第３のレンズを支持するとともに、第1の光透過性基板及び第２の光透過性基板の厚さよりも薄い第３の光透過性基板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】照明光ビームを案内及び成形するための複数の光学面を含む照明光学ユニットを設定する方法及び装置等を提供する。
【解決手段】設定される照明パラメータが、像視野に結像される物体視野にわたって予め定められる。設定は、最初に、複数の視野点における複数の照明角度に関する照明光学ユニットの強度重み付き照明パラメータの実際の値を決定する段階を含む。次に、少なくとも１つの照明パラメータに対する照明光学ユニットの光学面のうちの少なくとも１つの変形の影響が決定される。更に、照明パラメータの望ましい値が予め定められる。照明パラメータの実際の値が予め定められた範囲内で照明パラメータの望ましい値に対応するように、変形の影響が決定された少なくとも１つの光学面の望ましい形状が決定される。最後に、光学面の実際の形状が望ましい形状に対応するように、光学面に対して機械応力を作用する少なくとも１つのアクチュエータを用いて光学面が変形される。 （もっと読む）

【課題】３枚のレンズで結像光学系を構成し、物体側の２枚のレンズのレンズ間隔を、大きくとりつつも正確に規定することを可能とする。
【解決手段】光を発光する発光素子と、発光素子が発光した光を透過する凸形状の第１のレンズ、及び第１のレンズを発光素子と対向する面で支持する第１の光透過性基板を有する第１のレンズアレイと、第１のレンズを透過した光が透過する凸形状の第２のレンズ、及び第２のレンズを発光素子と対向する面の反対の面で支持する第２の光透過性基板を有する第２のレンズアレイと、第２のレンズを透過した光が透過する第３のレンズを有する第３のレンズ、及び第３のレンズを支持する第３の光透過性基板を有する第３のレンズアレイと、第１のレンズを透過した光を絞る開口絞りを有し、第１のレンズアレイと第２のレンズアレイとに挟まれて配設されたスペーサーと、を備える。 （もっと読む）

【課題】掩蔽（obscurated：オブスキュレーション）光学系において、分解能の限界が結像構造の位置及び配向に応じて変わる場合、結像光学系の精密測定の実行を可能にするデバイス、このデバイスを有する投影露光装置、その方法、センサユニットとを提供する。
【解決手段】結像光学系上流ビーム経路内に位置決め可能な第１格子構造（１６）を有する第１格子パターン（６）と、下流ビーム経路内に位置決め可能な第２格子構造（１８）を有する第２格子パターン（８）と、第２格子パターン（８）の第２格子構造（１８）への第１格子パターン（６）の第１格子構造（１６）の結像中に生成される重ね合わせ縞パターンの空間分解測定用センサユニットとを備えるデバイスに関する。 （もっと読む）

【課題】色収差を含めた諸収差の補正とレンズ重量の軽量化を両立した撮影光学系を得る。
【解決手段】物体側から像側へ順に、正の屈折力の第１レンズ群Ｌ１、正又は負の屈折力の第２レンズ群Ｌ２、正又は負の屈折力の第３レンズ群Ｌ３を有し、前記第２レンズ群を移動させてフォーカシングを行う撮影光学系において、瞳近軸光線が光軸と交わる位置よりも物体側に少なくとも１つの回折光学素子ＤＯＥと、少なくとも１つの固体材料からなる光学素子ＮＬを有し、前記回折光学素子の回折成分のみによる焦点距離をｆＤＯＥ、前記固体材料からなる光学素子の焦点距離ｆＮＬ、前記第１レンズ群の焦点距離ｆ１、前記固体材料からなる光学素子を構成する材料の異常部分分散比ΔθgF_ＮＬを各々適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズにおいて迷光を抑制する。
【解決手段】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズ１０が提供され、第１対物レンズ部１６と、第２対物レンズ部１８と、少なくとも一つの第３対物レンズ部２０とを備え、第２対物レンズ部１８は、第１対物レンズ部１０における光伝搬方向および第３対物レンズ部２０における光伝搬方向と異なる光伝搬方向を規定し、かつ第１対物レンズ部１０と第２対物レンズ部１８との間および第２対物レンズ部１８と第３対物レンズ部２０との間に少なくとも一つのビーム偏向装置２２をさらに備え、少なくとも一つのシールド２４が、第１対物レンズ部１６から第３対物レンズ部内２０への直接光漏れが少なくとも減少するようにしてビーム偏向装置２２の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】ステレオベースの調整機能を有する立体撮像光学系、該立体撮像光学系を含む撮像装置、及び該撮像装置を備えたカメラを提供する。
【解決手段】立体撮像光学系は、並列する２つの撮像レンズ系と、撮像レンズ系のそれぞれの中に配置される２つの絞りと、絞りの位置を駆動するための絞り位置駆動手段と、を備え、絞りのうち少なくとも１つが、光軸に対して偏心することにより、ステレオベースを調整し、条件（１．８ ≦ ＳＢｍａｘ／（ｆＴ×ｔａｎ（ωＴ）） ≦ ４５）（ＳＢｍａｘ：ステレオベースの最大値、ｆＴ：望遠端における光学系の焦点距離、ωＴ：望遠端における半画角（°））を満足する。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィ露光装置用の照明システムのための向上した集光装置を提供すること。
【解決手段】マイクロリソグラフィ露光装置の照明システムは瞳平面５４を視野平面６２に変換するための集光装置６０１を有する。集光装置６０１は、薄い平面状プレートＬ１１として形成される第１のレンズ、非球面凹面の後面を有する負のメニスカス・レンズとして形成される第２のレンズＬ１２、第３のレンズＬ１３は非球面凸面の後面を有する正のメニスカス・レンズ、、第４のレンズＬ１４はやはり非球面凸面の後面を有する両凸面レンズ、第５のレンズＬ１５は凹面の後面を備えた正のメニスカス・レンズ、第６のレンズＬ１６は平凹面レンズ、最終段レンズである第７のレンズＬ１７はわずかに凹面の前面を備えた正のメニスカス・レンズで構成される。 （もっと読む）

【課題】フレア光を効果的に軽減しつつ、広画角で全体がコンパクトなズームレンズを得ること。
【解決手段】物体側より像側へ順に、正の屈折力の第１レンズ群Ｌ１、負の屈折力の第２レンズ群Ｌ２、正の屈折力の第３レンズ群Ｌ３、正の屈折力の第４レンズ群Ｌ４より構成され、ズーミングに際して、第１レンズ群は不動で、第２レンズ群と第３レンズ群と第４レンズ群が移動するズームレンズにおいて、第２レンズ群と第３レンズ群との間に開口径が固定のフレアカット絞りＦＣを有し、フレアカット絞りはズーミングに際して移動すること。 （もっと読む）

【課題】より低いコストで光学性能の劣化を低減することが可能な画像投射装置の提供。
【解決手段】筐体と、前記筐体内に配置されたレンズと、前記レンズの出射光の光路上に配置された凹面鏡とを有し、前記凹面鏡で反射された画像を被投射面に向かって投射する画像投射装置において、前記筐体は、前記凹面鏡で反射された複数の投射光線が交差する位置の近傍に前記投射光線を通過させるための開口を備え、前記開口の一部分は、前記レンズの外周部分より、前記光軸までの最短距離が短いことを特徴とする画像投射装置。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィにおける使用のための現在の設計の投影対物器械は、露光視野にわたって変化する迷光成分を有する。
【解決手段】視野にわたる迷光成分の変動は、付加的迷光を導入することによって低減され、及び／又は別の投影対物器械の変動に適応させることができる。これは、視野近接表面の表面粗度を事前適応させるか又は変更することにより、及び／又は特別にターゲットを定めた光散乱特性を有する光学要素を瞳平面に設置することにより有利に達成される。このことにおいて、本発明は、視野にわたる迷光成分の変動、及び異なる投影対物器械の迷光成分の異なるそれぞれの変動が、半導体構成要素の製造業者に対して迷光成分それ自体よりもより大きい問題を呈するという観測を利用する。 （もっと読む）

【課題】２枚という少ないレンズ枚数でレンズ全長を短くしつつ、広角化や、明るさおよびバックフォーカスの確保に有利で、かつ、高い結像性能を実現できるようにした撮像レンズ、および撮像装置ならびに情報端末機器を提供する。
【解決手段】物体側に凸面を向けた正のメニスカス形状の第１レンズＧ１と、第１レンズＧ１よりも像側に配置され、像側に凸面を向けたメニスカス形状の第２レンズＧ２と、第１レンズＧ１の像側の面よりも物体側に配置された開口絞りＳｔ１とからなり、以下の条件式を満足する。ｆは全系の焦点距離、ｆ１は第１レンズＧ１の焦点距離、ｆ２は第２レンズＧ２の焦点距離、Ｒ５は第２レンズＧ２の物体側の面の近軸曲率半径、Ｒ６は第２レンズＧ２の像側の面の近軸曲率半径。
１．００＜ｆ１／ｆ＜１．５０ ……（１−１）
１．１＜ｆ２／ｆ１＜３．９ ……（２−１）
２．０＜（Ｒ５＋Ｒ６）／（Ｒ５−Ｒ６）＜５．４ ……（３−１） （もっと読む）