【課題】 基板の分断が正しく行われたか否かの判定を安定して行う。
【解決手段】 一対の基板が貼り合わせられた貼り合わせ基板１を、スクライブラインに沿って分断することにより１または２以上のセルが形成される。前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板は設定ライン４ａを平面視において挟んで形成された少なくとも２つのマーク６ａ，６ｄを有する。設定ライン４ａが延びる方向に対して略直交する方向における前記少なくとも２つのマーク６ａ，６ｄ間の距離ｄ１は前記スクライブラインの許容ずれ量と略等しい。 （もっと読む）

【課題】ＸＹθステージを用いずに精度良く基板同士を位置合わせする。
【解決手段】上下保持板１，２のどちらか一方を他方に対し両基板Ａ，Ｂ同士を平行に保持したままＸＹθ方向へ調整移動自在に支持するための手段として、上下保持板１，２の一方から真空室Ｓの天井壁３又は底壁４へ向けて揺動リンクガイド機構６を設け、この揺動リンクガイド機構６をＸＹθ方向移動手段５でＸＹθ方向へ揺動させることにより、上下保持板１，２の一方が他方に対しＸＹθ方向へ調整移動されて、これら上基板Ａと下基板ＢがＸＹθ方向へ相互に位置合わせされる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とメタルマスクとを貼り合せることにより貼り合わせ精度の向上を図ること。
【解決手段】ガラス基板を介してメタルマスクを所定の隙間を有して重ねる第１のステップＳ１０１と、カメラにより第１及び第２のマークの撮像情報に基づいて第１と第２のマークとの位置の差を求め、差が所定の範囲内か否かを判断する第２のステップＳ１０３と、前記差が範囲外の場合、前記位置の差に基づいてガラス基板をＸ，Ｙ軸方向に移動させる第３のステップＳ１０５と、前記差が範囲内の場合、メタルマスクとガラス基板とを貼り合せる第４のステップＳ１０７と、第２のステップＳ１０３を実行する第５のステップＳ１０９と、第５のステップＳ１０９での前記差が範囲外の場合、メタルマスクとガラス基板とを分離する第６のステップＳ１１１とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】基板サイズが大型化，薄板化しても真空中で高精度に同程度の基板同士を貼り合せることが可能な基板の組立方法およびその装置を提供することである。
【解決手段】加圧板から上基板に静電吸着力を作用させて加圧板に上基板を保持させて真空中で貼り合わせを行う。さらには、上基板を加圧板に吸引吸着力で保持させ、減圧を進める過程で吸引吸着力が消えた時に落下し加圧板から僅かに離れた程度の位置に受け止められた上基板に静電吸着力を作用させて、再度加圧板に上基板を保持させて真空中で貼り合わせを行なう。 （もっと読む）