【課題】
本発明は、位置合わせ用移動手段の負荷を軽減し、小型で廉価なアクチュエータを採用可能とし、さらに基板搬出入時の撓みに帰因する位置合わせずれ等を防止し、歩留まりの高い安な基板重ね合わせ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
底板部と天蓋部とに分割可能な真空容器の内部でに基板の位置合わせ及びギャップの調節を行う基板重ね合わせ装置であって、複数の貫通口を有する底板部の表面に設けられた第１の基板保持板と、複数の貫通口の内部を挿通し３次元方向に移動可能な支柱と、複数の支柱により支持された第２の基板保持板と、支柱の水平移動手段と、支柱の垂直移動手段と、支柱の移動に対し容器内部の気密を保つ可動真空シール部材と、から構成し、さらに底板部又は／及び第１の基板保持板に複数のガスの吹き出し孔を設け、基板を浮上させて搬入、搬出する構成としたことを特徴とする （もっと読む）

【課題】液晶滴下貼り合せ方式で製造される液晶表示装置の歩留まり及び信頼性を向上させる。
【解決手段】液晶材料滴下装置は、基板上に液晶材料を滴下し、基板の液晶材料滴下面に対向基板を貼り合わせる液晶材料滴下貼り合わせ方式に用いられる液晶材料滴下装置であって、基板の上方に設けられ、基板と相対移動可能に構成された液晶材料滴下手段と、液晶材料滴下手段から液晶材料が滴下されて、液晶材料の比抵抗値を測定する比抵抗値測定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】視野角の均一性および歩留まりを向上した表示デバイスを提供する。
【解決手段】第１透明基板15上に視差バリア層21を設ける。第１透明基板15の視差バリア層21側に第２透明基板24を貼り合わせる。第１透明基板15の視差バリア層21と反対側を研磨する。研磨した第１透明基板15に各種機能性膜を形成して対向基板６を構成する。視差バリア層21と画素13との位置ずれを抑制し、視野角の均一性および歩留まりを向上できる。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示素子の液晶注入口からダイシング切断時に使用する液体が浸入してしまう。
【解決手段】 少なくとも、複数の液晶表示素子領域が相互に隣接するように整列された二枚のマザー基板の一方に、各液晶表示素子領域に対応するように複数のシール体の少なくとも一辺を、切断線を挟む両側の液晶表示素子に跨がるように帯状にして、前記切断線に沿って延びるように形成するシール体形成工程と、前記二枚のマザー基板を貼付する貼付工程と、前記二枚のマザー基板を、前記隣接する液晶表示素子間における切断線に沿って複数個の液晶表示素子に切断する切断工程と、を備えて成る液晶表示素子の製造方法であって、前記切断工程における隣接する液晶表示素子に跨るシール体部の切断では、一枚目のマザー基板とシール体は全て切断し二枚目のマザー基板はブレイク可能な深さまで切断し、前記隣接する液晶表示素子に跨るシール体部以外の切断は、二枚のマザー基板ともハーフダイシング又はスクライブで切断する工程である液晶表示素子の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】基板を一定の形状に変形させて、一度にまとまった領域に対応する基板間隔を容易に調整することが可能な基板間隔調整装置、基板間隔調整方法、液晶装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板間隔調整装置１は、素子基板５１と、これに対向して貼り合わされた対向基板５２との基板間隔を調整することが可能な装置である。基板間隔調整装置１は、載置部２６と、載置部２６上に配置された支持部材４１及び支持リング４３とを備える。支持部材４１上には、素子基板５１が設置される。この状態で、支持リング４３を含む平面の法線方向の可動範囲を有する基板押圧部３２によって、素子基板５１の周縁部を下方に押圧させる。これにより、素子基板５１を、支持部材４１及び支持リング４３のいずれにも接する状態に変形させることができる。 （もっと読む）

【課題】省スペース化及び部品の位置決め作業の容易化を達成し、あらゆるサイズの部品同士の貼り合せを良好に行える貼合装置を提供する。
【解決手段】偏光フィルム２を吸着できる吸着ドラム３と、吸着ドラム３を回転軸４を中心に回転させる回動手段５と、偏光フィルム２を吸着ドラム３に位置決めするストッパ６と、ストッパ６を吸着ドラム３に対して進退させる進退手段７と、ガラス基板８を吸着できる吸着テーブル９と、ｙ軸走行手段、ｘ軸移動手段、ｚ軸移動手段、及び押付ローラとを備える。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板とを貼り合わせた後、貼り合わされた構造体を分断した後の電気光学パネルを実装ケースに収容するに際し、位置精度良く実装ケースに収容でき、製造上の歩留まりを向上させることができる手法を有する電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の基板１５０が貼り合わされている第２の基板２５０のＸ方向の分断位置３０１、３０２に、スクライブラインを形成するスクライブライン形成工程と、外力を印加して第２の基板２５０を当該第２の基板２５０の厚さ方向に貫通するクラック２５０ｋをスクライブラインに沿って形成するクラック形成工程と、第２の基板２５０の表面２５０ｆ側から、スクライブライン及びクラック２５０ｋに沿って、設定深さのダイシングライン２５０ｄを形成するダイシングライン形成工程と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な手法により、位置精度良く電気光学パネルに対し、少なくとも表示領域を覆うよう防塵ガラスを貼着、固定することができる電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液晶パネル１００を、ケース部材２００における収容部２１０の底部２０２に、載置して収容する収容工程と、ＴＦＴ基板１０の裏面１０ｒにおける少なくとも表示領域１０ｈに、ＴＦＴ基板１０よりも平面視した状態で小さい防塵ガラス３０を、接着剤を介して貼着する貼着工程と、防塵ガラス３０の上方から、ケース部材２００に対し、フック部材３００を嵌合させて、フック部材３００において開口３２０の外周から起立した側壁３６０の内周面３６０ｓを、防塵ガラス３０の側面３０ｓに当接させることにより、ＴＦＴ基板１０の裏面１０ｒに対する防塵ガラス３０の位置決め固定を行う位置決め固定工程と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液晶体と光反応物質の劣化を抑制し、被処理基板の表面に照射される紫外
線の照度をモニタ可能な液晶パネル製造装置及びこれを用いた液晶パネルの製造方法を提
供する。
【解決手段】
光反応性物質１８を含有する液晶体１７を内部に封入した被処理基板１０を処理する処
理室５０と、処理室５０内に配置され、被処理基板１０に紫外線を照射して光反応性物質
１８を反応させ、被処理基板１０の内部に配向部２１，２２を形成させる複数のランプ５
２と、複数のランプ５２に対向し、波長３４０ｎｍ以下の波長領域の紫外線の透過を抑制
するフィルタ５３と、複数のランプ５２の照度を計測する照度計５５と、被処理基板１０
の紫外線照射面の照度均斉度が７５％以上となるように複数のランプ５２の電力を制御す
るランプ制御装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの基板の強度を上げることができる表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】表示パネル１００は、大サイズの基板を切断することによって作製される。表示パネル１００は、上側基板３００と下側基板２００とに挟まれた空間であってシール材７００の外側の空間１０１には、毛管現象によって上昇するエッチング液５１を堰き止める堰き止め部７０１を備える。表示パネルをエッチングするときには、配線パターンが設けられる領域２０１および堰き止め部７０１をエッチング液５１の液面より高い位置に保ったまま、表示パネル１００をエッチング液に浸す。その結果、エッチングされた部分の傷の断面形状が滑らかになり、表示パネル１００の強度が上がる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、基板サイズの変更に容易に対応することができ、作業性を良好に向上させることを可能にする。
【解決手段】製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを貼り付け位置に搬送するウエブ搬送機構と、前記貼り付け位置にガラス基板２４を搬送する搬送部７６と、前記貼り付け位置で、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを前記ガラス基板２４に貼り付けて貼り付け基板２４ａを得る貼り付け機構４６と、前記貼り付け基板２４ａを搬送する貼り付け基板搬送機構８８とを備える。貼り付け基板搬送機構８８は、矢印Ｃ方向に沿って配列される搬送ユニット１００ａ〜１００ｅと、前記搬送ユニット１００ａ〜１００ｅを矢印Ｃ方向に進退可能にする搬送ユニット移動手段１０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】気泡の混入や傷の付着を防止し、パネルにフィルムを貼り付ける際の位置ずれを防止する。
【解決手段】パネル２を保持するパネルテーブル８１と、その周面に粘着面を有し、回転駆動する円柱状のフィルム支持体３００と、フィルム１をフィルム支持体３００に押し当ててフィルム保持面３１０に粘着させるとともに、粘着材層を有する剥離テープ５３０をフィルム１に貼付し、フィルム１から離型フィルムを剥離させてフィルム１の粘着材層を露出させる供給剥離部５００と、フィルム保持面３１０に粘着保持されたフィルム１の位置ずれを検出する検出部４００と、検出結果に基づいてフィルム支持体３００の位置を変更することにより、フィルム保持面３１０に粘着保持されたフィルム１の位置を補正し、その後、フィルム１をパネル２に押し当て、パネル２にフィルム１を貼り付ける貼付位置補正ステージ６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えば、封止部をＵＶ硬化させる際に、画素領域の周辺に配置された回路部が受けるダメージを低減する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板１０上において、画像表示領域１０ａ及び検査回路部１７０間の領域に設けられた封止部１５６をＵＶ硬化させる際には、データ線駆動回路１０１等の周辺回路部に比べて封止部１５６に近い領域に配置された検査回路部１７０にＵＶ光が照射されたとしても、既に検査回路部１７０は画素回路部を検査する役割を完了している。したがって、検査回路部１７０がＵＶ光によってダメージを受けたとしても液晶装置１の表示性能に何ら影響を与えることはない。 （もっと読む）

【課題】被処理体に対して一様な照度で紫外線を照射することができる紫外線照射装置。
【解決手段】複数体の紫外線照射ユニット２を並設し、被処理材10の被処理面に対して一様に所定波長領域の紫外線を照射するための紫外線照射装置１であって、紫外線照射ユニット各々は、光源としての紫外線放電ランプ111と、紫外線放電ランプの側方及び上方を覆うように配置され、当該紫外線放電ランプからの紫外線を下方に反射させる反射面を持つ主反射体112と、紫外線放電ランプの下方に配置され、紫外線放電ランプからの紫外線を散乱させるルーバー装置115とを有し、ルーバー装置は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー単体13を複数体、各ルーバー単体間に所定間隔を空けて並置し、かつ、複数体のルーバー単体各々を軸周りに任意の角度だけ回転させた姿勢に保持する回転操作部12を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 狭幅化された電極端子部の所定の位置に正確に異方性導電膜を貼付けることのできる異方性導電膜の貼付け装置および貼付け方法を提供すること。
【解決手段】 載置台２および圧着ヘッド３が駆動手段により水平方向に移動可能に配設されているとともに、前記圧着ヘッド３の水平方向の位置を検出する検出手段７が配設されている。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示素子において、互いに貼り合わされた２枚のガラス基板をエッチングしてその厚さを薄くするとき、エッチング異常の発生を回避または低減する。
【解決手段】 互いに貼り合わされた第１、第２のガラス基板１、２の厚さを薄くするためのエッチングを行なう前に、第１、第２のガラス基板１、２の外面に形成された第１、第２の導電膜１１、１２を発熱させた後に除冷すると、第１、第２のガラス基板１、２の外面の微小な傷や残留応力が除去または低減される。したがって、その後に、互いに貼り合わされた第１、第２のガラス基板１、２をエッチングしてその厚さを薄くするとき、エッチング異常の発生を回避または低減することができる。なお、互いに貼り合わされた第１、第２のガラス基板１、２の厚さを薄くするためのエッチングを行なった後に、熱処理して急冷した場合には、第１、第２のガラス基板１、２の外面側が強化ガラス化され、その強度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】実用領域に影響を及ぼすことなく、基板上の任意の位置にアライメントマークを
形成して精度の良い位置合せを実現できる電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ＴＦＴ用マザー基板１１０と対向基板用マザー基板１２０との位置合せ用の
アライメントマーク１１２ａ，１２２ａを、各マザー基板１１０，１２０の裏面１１０ｒ
，１２０ｒに形成した静電チャック用の導電膜１１１，１２１に設ける。これにより、各
マザー基板１１０，１２０において、液晶装置１００に供する実用領域である基板形成領
域１１３，１２３と、各アライメントマーク１１２ａ，１２２ａのマーク形成領域１１２
，１２３とを平面視で重畳する位置に設定できる。同時に、アライメントマーク１１２ａ
，１２２ａは、基板形成領域１１３，１２３のレイアウト等に干渉されることなく所望の
場所に設定でき、両マザー基板１１０，１２０間で精度の良い位置合せを実現できる。 （もっと読む）

【課題】広がりのある被蒸着物の基板に対して斜方蒸着する場合、簡単な装置により必要な基板表面の膜厚・蒸着角特性を有する斜方蒸着膜を基板面全体にわたって形成すること、特に膜厚を均一な状態で蒸着する。
【解決手段】基板２を蒸着源１に対して、基板面の法線が基板２の中心と蒸着源１の中心を結ぶ基準線に対し規定の角度をなすように傾斜させ、基板表面に蒸着を行う斜方蒸着装置である。基準線と交差し蒸着物質の蒸気が流通可能な蒸気流通面４に流通密度制御手段を設け、蒸気流通面４の各位置を通過する蒸気流は、蒸着源１から基板２までの距離が近いほど流通密度が小さく、遠いほど流通密度が大きくなるように制御される。流通密度制御手段は、蒸気流通面４において回転する膜厚調整板５_１である。 （もっと読む）

【課題】スクライブ溝形成用のステージからパネル構造体を剥離する際の剥離帯電を防止
することのできる電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供するこ
と。
【解決手段】液晶装置を製造するにあたって、大型基板１００、２００を貼り合わせてパ
ネル構造体３００を形成した後、エッチング工程で大型基板１００、２００を薄板化する
。その際、フォトリソグラフィ技術により、パネル構造体３００に突起３３０を形成し、
パネル構造体３００をスクライブ溝形成用のステージ５５０に搭載した際、パネル構造体
３００の下面とステージ５５０の上面との間に突起３３０の高さ寸法に相当する空間が形
成される。従って、パネル構造体３００とステージ５５０との接触面積が狭いので、パネ
ル構造体３００をステージ５５０上から剥離する際の剥離帯電を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】板状部材を加圧して貼り合わせる際に、圧力不足が発生するのを抑制できる板状部材の貼り合わせ装置を得ること。
【解決手段】本発明にかかる板状部材の貼り合わせ装置は、液晶表示ディスプレイ１００およびカバーガラス基板１９を、粘着剤を介して貼り合せるものである。液晶表示ディスプレイ１００を載置するために設けられた平面状の載置面を有する下面ステージ１６と、載置面に対向して設けられた押圧面を有する上面ステージ１２と、上面または／および下面ステージ１２、１６を載置面に対して略垂直方向に移動させる移動手段と、押圧面上の一面に設けられ、内部に気体１４が封入された複数の袋体１３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）