【課題】表面に微細な構造部分を有する部材同士を気泡が入らないように、位置を合わせて貼り合わせる装置を提供する。
【解決手段】（１）平滑な表面αと該表面α上に微細な構造部分ａとを有する第１部材を保持する第１ホルダと、
（２）前記第１ホルダに対向し、平滑な表面βと該表面β上に微細な構造部分ｂとを有し、更に可撓性を有する第２部材を保持する第２ホルダと、
（３）前記第１部材と前記第２部材の位置関係を検出する位置検出機構と
（４）前記第１部材と前記第２部材の位置を調整する位置合わせ機構と
（５）前記第２部材と前記第２ホルダの間に気体を導入する気体導入口とを有し、
前記第２部材と前記第２ホルダ間の一部に前記気体導入口から気体を導入して、前記第２部材を前記第１部材方向に膨らませることにより、両部材を貼り合わせる機能を有する貼り合わせ装置。 （もっと読む）

【課題】液晶表示部の製造工程において、ＬＣＤに被せる保護板を取り付けるための両面テープの剥離紙を剥ぎ取りやすくして、液晶表示部の保護板の取付作業の効率を向上させる。
【解決手段】台紙３１と、台紙３１の片面に形成された糊部２と、前記糊部に被せた剥離紙と、を備え、ＬＣＤの保護板が取り付けられる外部ケース１０１の開口部の大きさに合わせた孔３３が開いている。剥離紙３２と糊部２は、孔３３の縁を取り囲むリング状に形成され、剥離紙３２は、その一部が前記剥離紙の前記リング状の形状の外側から内側まで所定の幅で切り欠いて糊部２が露出した第１の切り欠き部３４を有する。また、剥離紙３２は、前記リング状の形状の外側または内側の一部を切り欠いた第２の切り欠き部３５を有し、これらの切り欠き部が合わさって凸字の形状を形成している。 （もっと読む）

【課題】優れた透明性を有し、充分な視認性を有する光学表示装置を製造することができる光学装置用接着剤、及び、該光学表示装置用接着剤を用いてなる光学表示装置を提供する。
【解決手段】樹脂粒子及び硬化性組成物を含有する光学表示装置用接着剤であって、前記樹脂粒子と接着組成物とが同種の樹脂成分からなる光学表示装置用接着剤。 （もっと読む）

【課題】ケミカルエッチングによって基板を薄化処理する場合に、スクライブ溝を良好に形成し、また、基板厚さを容易に違えることである。
【解決手段】スクライブ溝１６０の形成後に大判基板１１０，１２０をケミカルエッチングすることにより、基板１１０，１２０を薄化するとともにスクライブ溝１６０を深くする。その後、基板１１０，１２０を機械的に分断する。または、スクライブ溝１６０をケミカルエッチングによって主面１１０Ｓ１，１２０Ｓ１にまで到達させることにより基板１１０，１２０を分断する。一方の基板１１０，１２０上にコーティング膜を設けた状態で上記ケミカルエッチングを実施することにより、基板１１０，１２０の厚さを違える。または、基板１１０，１２０に厚さの異なる下地ガラス基板を利用することにより、コーティング膜を用いずに、基板１１０，１２０の厚さを違える。 （もっと読む）

【課題】接着剤がほぼ残らないようにきれいに光学フィルムを剥離切除することを可能とする。
【解決手段】光学フィルム剥離装置は、基板としてのガラス基板１０２上に貼られた光学フィルムとしての偏光板１１６を部分的に剥離するための装置であって、前記基板に対して直線状に相対移動可能な可動部としての移動ユニット８０を備え、前記可動部は、前記光学フィルムをすくい取るように切除するための刃物８２と、前記刃物に沿って溶剤を供給するための溶剤供給部としてノズル１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】マザー基板から液晶パネルを複数形成する製造方法において、液晶パネルとなる
各個体のセルギャップを均一に形成することができる液晶パネルの製造方法及び液晶パネ
ルの製造装置を提供する。
【解決手段】第１のマザー基板３１の外周囲に、全シール材１３を囲むようにして各シー
ル材１３の高さと同じ高さを有した隔壁Ｗを設けた。そして、第１のマザー基板３１と第
２のマザー基板３２とを貼り合わせた状態で、隔壁Ｗの内側を減圧するようにした。この
結果、各セル形成空間Ｓａ内の気圧を、各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ内の気圧
に比べて高くなることから、各液晶パネルに渡ってセルギャップ長を均一にすることがで
きる。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハやガラス基板のような対象物を静電気力で固定するための静電チャックとそれを含む静電チャック装置、ガラス基板接合装置を提供する。
【解決手段】 静電チャックは、電極が内部に挿入され高分子材料からなるチャッキングプレート、チャッキングプレート下部に配置されチャッキングプレートを支持する支持部材、チャッキングプレートと支持部材との間に配置される緩衝部材、緩衝部材とチャッキングプレートとの間に介在される第１接着剤、及び緩衝部材とチャッキングプレートとの間に介在される第２接着剤を備える。高分子材料はポリエステルまたはポリイミドを含むことができる。第１及び第２接着剤は、それぞれ２つの接着層からなる多重接着層構造物を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 チャンバ内を真空状態に減圧するときに、上下ステージに温度差が発生して上下ステージ上に保持された上下基板に伸縮の差が発生することを防止することにより、上下基板の面方向での相対位置ずれを防止すること。
【解決手段】 基板を搬入搬出するための開閉口２１を有するチャンバ１１内を減圧した状態で、上ステージ１２に保持された上基板１と下ステージ１３に保持された下基板２を貼り合わせる基板貼り合わせ装置１０において、チャンバ１１内の上ステージ１２と下ステージ１３の対向面の間隔を、上基板１と下基板２をそれぞれ上ステージ１２及び下ステージ１３上に供給するときの間隔Ｄ1よりも小さい状態の間隔Ｄ2で、チャンバ１１内を減圧するもの。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルを多数個取り基板を用いて製造する場合に、静電破壊を防止するための基板間接続線を介して発生する、ラビング工程等での帯電、分断後のサージの進入やＦＰＣとのショート等を低減回避することである。
【解決手段】ＩＴＯやＩＺＯ等の光透過導電酸化膜によって画素電極１３１を形成する際に、当該光透過導電酸化膜を利用して配線Ｌ５１上に基板間接続線１５１を形成し、この基板間接続線１５１によって多数個取りアレイ基板内の隣接するアレイ基板間で配線Ｌ５１同士を接続する。画素電極１３１上に層間絶縁膜１３２を形成する際に、層間絶縁膜１３２用の絶縁膜を利用して基板間接続線１５１を覆う層間絶縁膜１５２を形成する。共通電極１３３用の導電膜を利用して基板間接続線１５１上にパッド１５３を形成する。パッド１５３と基板間接続線１５１と配線Ｌ５１との積層によって外部接続端子部１５０が形成される。 （もっと読む）

【課題】基板材から採取できる基板数を多くし、液晶セルの製造コストを低減する。
【解決手段】複数の各基板領域毎に画素電極と端子が形成された第１の基板材２と、第１の基板材の各基板領域の端子配列部以外の領域及び前記端子配列部にそれぞれ対応して配列する複数の第２の基板領域１１２及び切捨て部１２１に区画され、第２の基板領域１１２毎に対向電極が形成された第２の基板材３とを、前記複数の第２の基板領域１１２の周縁部にそれぞれ対応させて、画面エリアを囲む各辺のうち、切捨て部１２１を介さずに直接隣合う第２の基板領域の分断線ｃに沿う辺が、隣合う第２の基板領域の両方の縁部にまたがる幅の共通辺１８ａからなる形状に形成された複数の枠状シール材１８を介して接合して液晶セル集合体１を組立て後、それぞれの分断線ｃ，ｄに沿って分断し、枠状シール材１８の共通辺１８ａを前記分断線ｃに沿って分断する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送チャンバ及び真空処理チャンバとしての使用に適する、ロードロックチャンバを提供する。
【解決手段】管状本体から分離した上部及び底部プレートを有する真空チャンバが提供され、チャンバは少なくとも２つの基板アクセスポート１１６が形成された管状本体１４８を含み、上部プレート１０４は本体の上端面に気密に配置され、底部プレートは本体の下端表面に気密に配置される。複数の固定具（ファスナー）が上部と底部プレートの間で本体をクランプする。分離された少なくとも１つの上部と底部を有するチャンバ本体を含む。特に、ロードロックチャンバ、基板搬送チャンバ及び真空処理チャンバとしての使用に適する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルを多数個取り基板を用いて製造する際に製造途中で形成される短冊状パネルでのパネル間のセルギャップばらつきを抑制することである。
【解決手段】多数個取り基板上にメインシール３０を形成し、Ｘ方向に一列に並んだメインシール３０の群Ｇ３０のＸ方向少なくとも片側にダミーシール５０を形成する。両シール３０，５０によって多数個取り基板を貼り合わせ、貼り合わせパネルをメインシール群Ｇ３０およびダミーシール５０を含むように短冊状に分断する。ダミーシール５０を有した状態で短冊状パネル３の各空パネル４に液晶を封入する。短冊状パネル３を分断線Ｌ２に沿って分断して各液晶パネルに切り分けるとともにダミーシール５０を切除する。ダミーシール５０は少なくとも隣接する分断線Ｌ２付近では当該分断線Ｌ２を対称軸として、隣接するメインシール３０と線対称に形成する。 （もっと読む）

【課題】重量の増加を抑制しつつ大型化を実現することができる真空処理装置を提供する。
【解決手段】基板貼り合わせ装置１は、真空空間を形成するチャンバ２と、チャンバ２内に配置され基板を保持する下側ステージ５と上側ステージ６とを備えている。チャンバ２を構成する下側ハウジング３及び上側ハウジング４と、下側ステージ５及び上側ステージ６とを、ハニカムパネルで形成した。 （もっと読む）

【課題】簡略化された工程によって高い生産性で耐静電気性に優れたものを製造できる、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】略矩形状の電気光学装置形成部Ａを複数含む一対の母材基板１０Ａ，２０Ａのそれぞれに、電気光学装置形成部Ａそれぞれの少なくとも３辺を囲んで導電性パターンＰを形成する。そして、少なくとも一方の母材基板１０Ａ，２０Ａに形成された導電性パターンＰ１，Ｐ２と他方に形成された導電性パターンＰ１，Ｐ２とを相互に導電接続する導通部材ＰＴを設ける。導通部材ＰＴを介して導電性パターンＰ１，Ｐ２間を導通させるようにして、一対の母材基板を貼り合わせ、少なくとも一方の母材基板１０Ａ，２０Ａの電気光学装置形成部Ａの３辺を囲む導電性パターンＰ１，Ｐ２と重なる領域を、導電性パターンＰ１，Ｐ２の延在方向に沿って分割するように切断して電気光学装置形成部Ａ毎に個片化する。 （もっと読む）

【課題】コストを低減させることが可能な貼合せ基板製造装置を提供する。
【解決手段】プレス装置１７は、そのチャンバ３２内に、セラミック製の加圧板３３と、該加圧板３３と対向するように配置されたテーブル３４とを備えている。このプレス装置１７は、テーブル３４上に配置された下基板Ｗ１と、加圧板３３の下面に吸着保持された上基板Ｗ２とを近接させて下基板Ｗ１と上基板Ｗ２とを貼り合わせることにより、貼合せ基板を製造する。そして、このようなプレス装置１７の加圧板３３の下面には、粘着剤４１を介してクッション性を有する緩衝シート４２が貼り付けられている。 （もっと読む）

【課題】液晶セルのコーナー切り落とし部を切り落とす時の、前記切り落とし部端材の飛び散りと前記切り落とし部に残留した液晶の飛散量を極めて少なくする。
【解決手段】矩形状の２枚の基板間に液晶を注入した液晶セルのコーナーを切り落とし部として、斜めに除去した異形液晶パネルの製造方法において、前記矩形状の２枚の基板間にシール材１０５により、液晶パネルの異形にあわせた液晶注入室１１４を形成すると同時に、前記切り落とし部（１２１，１２２）に前記シール材で部分的に接合部を形成するシール材形成工程と、前記液晶注入室１１４に液晶を注入する液晶注入工程と、前記液晶注入室の液晶注口を封止剤１１３で封止する封止工程と、前記切り落とし部（１２１，１２２）を切り落とす切り落とし工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネル外周からシールの突出がなく、液晶パネルの外周に沿ってきれいに分割でき、基板割れや欠けの発生しない液晶パネルの製造方法を提供することである。
【解決手段】 第１の基板１２ａと第２の基板１２ｂの外縁部１２ｃより外側の第１の保護フィルム１４ａと第２の保護フィルム１４ｂにおける張出部１４ｆを保護フィルム１４の粘着層１４ｄを介して貼り合わせて重ねシール１８を形成している。重ねシール１８にてダイシング工程における水の浸入を抑止するとともに、液晶シール１６から充分に離間した領域の外縁部１２ｃに重ねシール１８を形成することから液晶パネル外周部からシールが突出することなく、さらに液晶シールの外周に沿ってきれいに分割することができ、そのうえ基板の割れや欠けの発生しない。 （もっと読む）

【課題】投射型表示装置の照明光学系に使用可能な偏光変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス板材１の一方の主面に偏光分離膜１１を形成し、他方の主面に反射膜
１２を形成した第１の透光性板材１０と、両主面に何も形成されていないガラス板材１か
らなる第２の透光性板材２０とを交互に積層すると共に、積層する第１及び第２の透光性
板材１０、２０間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように面方向の位置を順次ずら
して接着剤を介して階段状に積層して積層体２１を形成する。そして形成した積層体２１
を略４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体２
２に切断した後、ダイシング装置を用いて積層分割体２２の両端を切断し、最後に積層分
割体２２の一部に１／２波長板２４を貼付するようにした。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの分断不良および静電気による不良をなくす。
【解決手段】液晶表示パネルの製造方法は、貼合せ工程と、偏光板貼付工程と、分割工程とを含む。分割工程は、カラーフィルタ基板となるガラス基板１０２が上側になる姿勢で、偏光板１１ｕを段差部の外形線に対応するように帯状に除去し、なおかつ、偏光板を除去した領域に沿ってガラス基板１０２の分断を行なうカラーフィルタ基板側分断工程と、この工程の後に、分断された結果生じた不要部分であるガラス基板切片１７を元の位置に収めたままでＴＦＴ基板となるガラス基板１０１が上側になる姿勢とする反転工程と、反転工程によって得た姿勢において、ガラス基板１０１に貼り付けてある上記偏光板１１を段差部全域にわたって剥離し、段差部と隣接する液晶表示パネルとの境目においてガラス基板１０１の分断を行なうＴＦＴ基板側分断工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 互いに貼り合わされた２枚のガラス基板の厚さを薄くするためのエッチングの終了時点を決定するためのパラメータ数を少なくする。
【解決手段】 エッチング速度がエッチング槽１２内のエッチング液１３の温度及び濃度に応じて一意的に決定されることに着目し、エッチング槽１２内のエッチング液１３の温度及び濃度を一定に維持して、互いに貼り合わされた２枚のガラス基板１、２のエッチング厚さをエッチング時間で管理すると、パラメータはエッチング時間のみであり、互いに貼り合わされた２枚のガラス基板の厚さを薄くするためのエッチングの終了時点を決定するためのパラメータ数を少なくすることができる。 （もっと読む）