液晶パネルの製造方法及び液晶パネルの製造装置

【課題】マザー基板から液晶パネルを複数形成する製造方法において、液晶パネルとなる
各個体のセルギャップを均一に形成することができる液晶パネルの製造方法及び液晶パネ
ルの製造装置を提供する。
【解決手段】第１のマザー基板３１の外周囲に、全シール材１３を囲むようにして各シー
ル材１３の高さと同じ高さを有した隔壁Ｗを設けた。そして、第１のマザー基板３１と第
２のマザー基板３２とを貼り合わせた状態で、隔壁Ｗの内側を減圧するようにした。この
結果、各セル形成空間Ｓａ内の気圧を、各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ内の気圧
に比べて高くなることから、各液晶パネルに渡ってセルギャップ長を均一にすることがで
きる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの製造方法及び液晶パネルの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルは、ガラス基板上に画素電極、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等を形成
した素子基板と、ガラス基板上に対向電極、カラーフィルタ等を形成した対向基板とをシ
ール材を介して貼り合わせ（例えば特許文献１）、その両基板間であってシール材で囲ま
れたセル形成空間に液晶を充填させている。ところで、シール材で囲まれたセル形成空間
に充填される液晶は全領域で均一、すなわち、セルギャップが均一であることが望ましい
。
【０００３】
そこで、特許文献２では、素子基板と対向基板との間隔（セルギャップ）を検出しその
検出結果に基づいて加圧手段を制御して素子基板と対向基板の間隔（セルギャップ）が所
望の間隔になるように素子基板と対向基板を貼り合わせている。
【０００４】
また、液晶とともに樹脂スペーサやフォトスペーサをセル形成空間内に介在させ、これ
らスペーサによって、シール材で囲まれた空間において素子基板と対向基板との間隔を一
定に保持するようにしている。
【０００５】
しかしながら、プロジェクター等でスクリーンに拡大して使用される投影型液晶パネル
では、１画素が１０マイクロメートル角と非常に微細な画素であることから、前記スペー
サが拡大されたスクリーンに映り込まれて表示品質を低下させることが知られている。
【０００６】
そこで、投影型液晶パネルでは、これらスペーサを使用することはできず、シール材だ
けで、素子基板と対向基板とを貼り合わせることが行われていた。
【特許文献１】特開２０００−１３７２３５号公報
【特許文献２】特開平６−１８８２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、このように形成される液晶パネルは、生産性を図るために、一つのマザーガ
ラスに、前記回路基板となる回路基板部を多数形成する。一方、もう一つのマザーガラス
に対向電極側基板となる対向電極側基板部を多数形成する。そして、両マザーガラスを各
回路基板部と各対向電極側基板部とがそれぞれ相対向するように貼り合わせる。そして、
回路基板部と対向電極側基板部とが貼り合わさった部分をカットすることによって液晶パ
ネルが作られる。いわゆる多数個取り行われている。
【０００８】
しかしながら、両マザーガラスを圧着して貼り合わせる場合、圧力バランスが均一でな
いため、各個体（液晶パネル）間で、そのセルギャップが相違していた。そこで、両マザ
ーガラスを貼り合わせる際、時間を掛けて全体に均一な圧力が加わるようにすることが考
えられるが、生産性を図る上で問題となる。また、両マザーガラスを貼り合わせる際、各
マザーガラス全体に均一な圧力を加えると、シール材で囲まれた領域のマザーガラスが内
側に窪んでしまうことから、一つの液晶パネル内でセルギャップが不均一になってしまう
という問題があった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解消するためになされたものであって、その目的は、マザー基
板から液晶パネルを複数取りする製造方法であって、液晶パネルとなる各個体のセルギャ
ップを均一に形成することができる液晶パネルの製造方法及び液晶パネルの製造装置を提
供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液晶パネルの製造方法は、複数の素子基板を形成した第１のマザー基板と複数
の対向基板を形成した第２のマザー基板とをそれぞれ対応する定盤に保持し、少なくとも
いずれか一方の定盤を他方の定盤に向かって可動させる圧着工程を備え、その圧着工程に
より前記第１のマザー基板と前記第２のマザー基板とを貼り合わせて対応する前記素子基
板と前記対向基板同士を、それぞれシール材を介して圧着させるようにした液晶パネルの
製造方法において、前記圧着工程中に、前記各シール材で囲まれたセル形成空間が密閉さ
れた時から、前記第１のマザー基板と前記第２のマザー基板との周囲を減圧する減圧工程
を備えている。
【００１１】
これによれば、セル形成空間の内側の気圧は、セル形成空間の外側の気圧に比べて高く
なる。従って、各セル形成空間を形成する各第１のマザー基板及び第２のマザー基板には
、それぞれ、各定盤側に向かう応力が加わる。この結果、第１のマザー基板と第２のマザ
ー基板とを貼り合わすことよって形成される複数の液晶パネルのセルギャップが、その密
閉空間の内圧にて一定の間隔になる。
【００１２】
この液晶パネルの製造方法において、前記圧着工程は、前記各シール材に対応する前記
第１のマザー基板及び前記第２のマザー基板の少なくともいずれか一方を押圧しながら、
前記第１のマザー基板と前記第２のマザー基板とを互いに前記シール材を介して圧着させ
、前記圧着工程中に、前記各シール材で囲まれたセル形成空間が密閉された時から、少な
くともいずれか一方の定盤であって前記シール材で囲まれた各セル形成空間と対応する部
分に形成した各空間の内圧を制御する内圧調整工程を備えてもよい。
【００１３】
これによれば、各シール材と対応する、第１のマザー基板及び第２のマザー基板の少な
くともいずれか一方を押圧して第１のマザー基板と第２のマザー基板とを貼り合わすとき
に、各セル形成空間を形成する各第１のマザー基板及び第２のマザー基板に加わる応力が
調整される。この結果、各液晶パネルのセルギャップを、その密閉空間の内圧にて一定の
間隔にすることができる。
【００１４】
この液晶パネルの製造方法において、前記シール材は、熱硬化樹脂であってもよい。
これによれば、特定の温度以上に加熱することによって簡単に第１のマザー基板と第２
のマザー基板とを強固に張り合わせることができる。
【００１５】
本発明の液晶パネルの製造装置は、複数の素子基板を形成した第１のマザー基板を保持
する第１定盤と、複数の対向基板を形成した第２のマザー基板を保持する第２定盤と、前
記第１定盤と前記第２定盤とを相対向する方向に相対移動させ、前記第１のマザー基板と
第２のマザー基板とを貼り合わせる定盤駆動手段と、を備え、前記第１のマザー基板と前
記第２のマザー基板とを貼り合わせることによって、対応する前記素子基板と前記対向基
板同士を、それぞれセル形成空間を形成するシール材を介して圧着させるようにした液晶
パネルの製造装置おいて、前記第１のマザー基板と前記第２のマザー基板との少なくとも
いずれか一方の周囲に形成され全ての前記セル形成空間を密閉する密閉部材によって前記
セル形成空間の周囲に形成された密閉空間の内圧を制御する圧力調整手段を備えている。
【００１６】
これによれば、第１定盤と第２定盤の少なくとも一方の定盤に設けた密閉部材によって
、第１のマザー基板と第２のマザー基板とを貼り合わすことにより、第１のマザー基板と
第２のマザー基板の間に密閉空間が形成され、その密閉空間内の気圧が圧力調整手段によ
って制御される。従って、第１のマザー基板と第２のマザー基板を貼り合わすことによっ
て形成される複数の液晶パネルにおけるシール材で囲まれた各セル形成空間のギャップを
、その密閉空間の内圧にて一定に間隔になるように制御することができる。その結果、第
１のマザー基板と第２のマザー基板とを貼り合わすことよって形成される複数の液晶パネ
ルのセルギャップを均一にすることができる。
【００１７】
この液晶パネルの製造装置において、前記第１定盤と前記第２定盤との少なくとも一方
の定盤のマザー基板押圧面上に、前記素子基板と前記対向基板のいずれか一方の基板であ
って前記シール材と対応する部分に当接し押圧する凸部を備え、前記素子基板及び前記対
向基板のいずれか一方と前記凸部とで区画形成される、前記セル形成空間と対応する部分
に形成された各空間の内圧を制御する第２の圧力調整手段をさらに備えてもよい。
【００１８】
これによれば、第１のマザー基板と第２のマザー基板とを貼り合わす際に、凸部によっ
て、素子基板と対向基板のいずれか一方の基板であってシール材で囲まれた各セル形成空
間と対向する部分の外側に密閉空間が形成されるが、その各密閉空間の気圧が圧力調整手
段によって制御される。従って、圧力調整手段によって各密閉空間の気圧を制御すること
により、各セル形成空間のギャップを均し、一定に間隔になるように制御することができ
る。
【００１９】
この液晶パネルの製造装置において、前記マザー基板押圧面上に、その前記各凸部で囲
まれた前記セル形成空間に対応した位置に空気孔を備え、前記第２の圧力調整手段は、前
記空気孔から排出される空気であってもよい。
【００２０】
これによれば、空気孔から排出される空気の量を調整することで、各密閉空間の気圧を
制御することができる。この結果、容易に各セル形成空間のギャップを均し、一定に間隔
になるように制御することができる。
【００２１】
この液晶パネルの製造装置において、前記密閉部材は、光硬化樹脂であってもよい。
これによれば、特定の波長の光（例えば、紫外光）を照射することでシール材を硬化さ
せずに密閉部材のみを選択的に硬化させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図７に従って説明する。まず、本発明の
製造方法によって製造した液晶パネルについて説明する。図１は、液晶パネルの斜視図で
あり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。
【００２３】
図１において、液晶パネル１０には、互いに相対向する素子基板１１と対向基板１２が
備えられている。図２に示すように、素子基板１１と対向基板１２は、四角枠状のシール
材１３を介して貼り合わされている。これら素子基板１１と対向基板１２との間であって
シール材１３で囲まれた空間（セル形成空間Ｓａ）には、液晶Ｆが充填されている。
【００２４】
図１において、素子基板１１の下面Ｍａには、偏光板や位相差板などの光学基板１５が
貼り合わされている。光学基板１５は、該光学基板１５の反Ｚ矢印方向側に設けられた図
示しないバックライトからの光を直線偏光にして液晶Ｆに出射するためのものである。素
子基板１１の上面（対向基板１２側の側面：素子形成面）Ｍｂには、一方向（図１中Ｘ矢
印方向）略全幅に渡って延設された複数の走査線ＬＸが配列形成されている。各走査線Ｌ
Ｘは、それぞれ図示しない走査線駆動回路に電気的に接続されるとともに、その走査線駆
動回路からの走査信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。
【００２５】
また、素子形成面Ｍｂ上には、走査線ＬＸと直交するように図１中Ｙ矢印方向略全幅に
渡って延設された複数のデータ線ＬＹが配列形成されている。各データ線ＬＹは、それぞ
れ図示しないデータ線駆動回路に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路か
らの表示データに基づくデータ信号が所定のタイミングで入力されるようになっている。
【００２６】
さらに、素子形成面Ｍｂ上であって、走査線ＬＸとデータ線ＬＹの交差に対応した位置
には、画素２０が形成されている。画素２０は、対応する走査線ＬＸとデータ線ＬＹとに
接続されている。つまり、画素２０は、素子形成面Ｍｂ上にマトリックス状に配列形成さ
れている。各画素２０には、それぞれ薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などの図示しない制御
素子や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２１が備えられている。
【００２７】
図２において、各画素２０の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施され
た配向膜２２が積層されている。配向膜２２は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子に
よって形成されており、対応する画素電極２１の近傍で液晶分子の配向を所定の方向に設
定するようになっている。
【００２８】
対向基板１２の上面Ｎａ上には、光学基板１５側から入射した光と直交する直線偏光の
光を外方（図２における上方）に出射する偏光板２３が貼り合わされている。対向基板１
２の下面（素子基板１１側の側面：電極形成面）Ｎｂには、各画素電極２１と相対向する
ように形成された光透過性の導電膜からなる対向電極２４が積層されている。対向電極２
４は、前記データ線駆動回路に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路から
の所定の共通電位が付与されるようになっている。対向電極２４の下面全体には、ラビン
グ処理などによる配向処理の施された配向膜２５が積層されて、前記対向電極２４の近傍
で、液晶Ｆの液晶分子の配向を所定の方向に設定するようになっている。
【００２９】
そして、各走査線ＬＸを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、
各画素２０の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子
に対応する各画素電極２１に、対応するデータ線ＬＹからの表示データに基づくデータ信
号が出力される。各画素電極２１にデータ信号が出力されると、各画素電極２１と対向電
極２４との間の電位差に基づいて、対応する液晶Ｆの配向状態が制御される。この結果、
光学基板１５からの光の偏光状態が画素２０ごとに変調される。そして、画素２０ごとに
変調された光が偏光板２３を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶
パネル１０の上側に表示される。
【００３０】
このように構成された液晶パネル１０は、図２に示すように、素子基板１１と対向基板
１２とがシール材１３を介して互いに平行に張り合わされている。つまり、素子基板１１
と対向基板１２との間のギャップ（セルギャップ）長Ｌｇは、素子基板１１（対向基板１
２）の全領域に渡って均一となっている。この結果、セル形成空間Ｓａに充填される液晶
Ｆは全領域で均一となることから、液晶パネル１０では、輝度ムラなどを来たすことなく
、その表示画質を維持させることができる。
【００３１】
次に、液晶パネル１０の製造方法について説明する。
図３において、第１のマザー基板３１は１枚のガラス板であって、そのマザー基板３１
上に予めシール材１３を備えた複数の前記素子基板１１がマトリクス状に配置形成されて
いる。尚、シール材１３は、この状態では、それぞれ、その一辺の中央位置が切り欠かけ
られた液晶導入口１３ａが形成されている。
【００３２】
また、第１のマザー基板３１の外周には、全シール材１３を囲むようにして四角枠状の
密閉部材としての隔壁Ｗが配置形成されている。この隔壁Ｗは、各シール材１３によって
区画形成されたセル形成空間Ｓａ及び各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂと、第１の
マザー基板３１の外側の空間とを仕切るためのものである。また、隔壁Ｗは、その一辺の
中央位置に差込口Ｗａが突設されている。この差込口Ｗａには貫通孔Ｗｏが形成されてお
り、その貫通孔Ｗｏによって、各セル形成空間Ｓａ及び各セル形成空間Ｓａの外周囲の空
間Ｓｂが、第１のマザー基板３１の外側の空間と連通する。
【００３３】
隔壁Ｗは、本実施形態においては、紫外光が照射されることによって硬化する公知の紫
外光硬化樹脂で構成されている。また、隔壁Ｗの高さは、各シール材１３の高さとほぼ同
じである。
【００３４】
さらに、この隔壁Ｗで囲まれた各素子基板１１上には、前記走査線ＬＸ、データ線ＬＹ
、画素電極２１、配向膜２２，２５等（図２参照）が形成されている。尚、図３において
は、一例として、Ｘ矢印方向に３列、Ｙ矢印方向に３列の、合計３×３＝９個の素子基板
１１が１枚のマザー基板３１上にマトリクス状に配置形成されている。
【００３５】
第２のマザー基板３２は、第１のマザー基板３１と同じく１枚のガラス板であって、複
数の前記対向基板１２が配置形成されている。この第２のマザー基板３２の各対向基板１
２上には、前記対向電極２４、偏光板２３、配向膜２５等（図２参照）が形成されている
。尚、図３においては、一例として、素子基板１１に配置位置に対向するように、Ｘ矢印
方向に３列、Ｙ矢印方向に３列の、合計３×３＝９個の対向基板１２が１枚のマザー基板
３２上にマトリクス状に配置形成されている。
【００３６】
そして、第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２とを、それぞれ対応する素子基
板１１と対向基板１２とが相対向するように、前記シール材１３及び隔壁Ｗを介して貼り
合わせる。その後、マザー基板３１，３２を介して各シール材１３に所定温度の熱を加え
ることでシール材１３を硬化させる。そして、貼り合わされた両マザー基板３１，３２を
図３中破線で示されたラインに沿ってダイシングした後、シール材１３に形成した液晶導
入口１３ａを介してシール材１３に囲まれたセル形成空間Ｓａに液晶材料を滴下注入する
。その結果、セル形成空間Ｓａ内に液晶Ｆが形成される。その後、液晶導入口１３ａを封
印して各液晶パネル１０を製造する。
【００３７】
次に、前述した第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２を貼り合わせる液晶パネ
ルの製造装置としての貼り合わせ装置４０Ａについて図４及び図５に従って説明する。
図４において、貼り合わせ装置４０Ａには、直方体形状に形成された基台４１が備えら
れるとともに、その基台４１の上面には、図５に示すように、前記第１のマザー基板３１
を保持する第１定盤としての定置定盤４２が設けられている。定置定盤４２の上方位置に
は前記第２のマザー基板３２を保持する第２定盤としての可動定盤４３が配置されている
。
【００３８】
図４に示すように、可動定盤４３は、基台４１から延びる支持フレーム４４に支持され
た加圧機構４５の駆動ロッド４６の先端に連結されている。そして、加圧機構４５が駆動
することによって、可動定盤４３は定置定盤４２に対して上下方向に相対移動するように
なっている。また、可動定盤４３の下面（マザー基板押圧面）４３ａには、図示しない静
電チャック又は吸引チャック等の保持機構が設けられており、その保持機構によって第２
のマザー基板３２をマザー基板押圧面４３ａ上で保持するようになっている。
【００３９】
また、図４に示すように、貼り合わせ装置４０Ａは、圧力調整手段としての真空ポンプ
４７を備えている。本実施形態の真空ポンプ４７は、公知のフレキシブルチューブ４８を
介して隔壁Ｗの差込口Ｗａ（図５参照）と連結されている。そして、真空ポンプ４７を作
動させることで、隔壁Ｗによって囲まれた空間（各セル形成空間Ｓａ及び各セル形成空間
Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ）内の気圧を減圧調整することが可能となる。
【００４０】
次に、貼り合わせ装置４０の動作について図６及び図７に従って説明する。
まず、図６（ａ）に示すように、第１のマザー基板３１を定置定盤４２の所定の位置に
載置するとともに、第２のマザー基板３２を可動定盤４３上の所定の位置に載置し、前述
した静電チャック又は吸引チャック等の保持機構を作動させて吸着固定する。このとき、
第１のマザー基板３１上のシール材１３に対して未だ紫外光を照射していないため、シー
ル材１３は硬化していない状態である。
【００４１】
そして、加圧機構４５（図４参照）を駆動させて可動定盤４３を定置定盤４２に向かっ
て下動させる。すると、図６（ｂ）に示すように、第１のマザー基板３１及び第２のマザ
ー基板３２にそれぞれ形成された複数の素子基板１１と対向基板１２同士が、隔壁Ｗ及び
シール材１３を介して貼り合わされる。この結果、隔壁Ｗによって各セル形成空間Ｓａ及
び各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ内が密閉される。このとき、図７（ａ）に示す
ように、シール材１３で囲まれたセル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー基板３２は、
第１のマザー基板３１側に向かって窪んだ形状となる。従って、この状態では、セルギャ
ップ長Ｌｇ（図２参照）は均一ではない。
【００４２】
次に、この状態で各マザー基板３１，３２越しに隔壁Ｗに対して紫外光を照射して隔壁
Ｗを硬化させる。
続いて、真空ポンプ４７を作動させる。すると、まず、各セル形成空間Ｓａの外周囲の
空間Ｓｂの空気が外界へ排気される。その後、各セル形成空間Ｓａの空気が液晶導入口１
３ａから外周囲の空間Ｓｂを通って外界へ排気される。従って、各セル形成空間Ｓａの外
周囲の空間Ｓｂの空気が排気されてから各セル形成空間Ｓａの空気が排気されるまでの期
間では、各セル形成空間Ｓａ内の気圧が、各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ内の気
圧に比べて高くなる。この結果、図７（ｂ）に示すように、各セル形成空間Ｓａを区画形
成する、シール材１３、第１及び第２のマザー基板３１，３２が各セル形成空間Ｓａ内の
圧力によってそれぞれ外側に向かう力を受ける。尚、このとき、隔壁Ｗは紫外光が照射さ
れて強固に硬化されていることから、隔壁Ｗが外界の気圧（大気圧）によって崩壊するこ
とはない。
【００４３】
すると、各セル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー基板３２が可動定盤４３のマザー
基板押圧面４３ａ表面に沿うことで第２のマザー基板３２が水平にならされることによっ
て、図７（ｃ）に示すように、前述した各セル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー基板
３２の窪みが消失する。この結果、各液晶パネル１０は、セルギャップ長Ｌｇが均一にな
る。
【００４４】
次に、図６（ｃ）に示すように、真空ポンプ４７の作動を停止し、さらに、前記保持機
構の作動を停止させ、その後、加圧機構４５を駆動させて可動定盤４３を上動させて定置
定盤４２から離間させる。すると、第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２とが隔
壁Ｗ及びシール材１３を介して貼り合わされる。この結果、各液晶パネル１０は、それぞ
れセルギャップ長Ｌｇが均一となって、第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２と
を貼り合わせることができる。
【００４５】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、第１のマザー基板３１の外周囲に、全シール材１３を囲
むようにして各シール材１３の高さと同じ高さを有した隔壁Ｗを設けた。そして、第１の
マザー基板３１と第２のマザー基板３２とを貼り合わせた状態で、隔壁Ｗ内を減圧するよ
うにした。従って、各セル形成空間Ｓａ内の気圧を、各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間
Ｓｂ内の気圧に比べて高くなる。この結果、各セル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー
基板３２が、可動定盤４３のマザー基板押圧面４３ａ表面に沿ってならされることから、
各液晶パネル１０のセルギャップ長Ｌｇ（図２参照）を均一にすることができる。
【００４６】
（２）上記実施形態によれば、隔壁Ｗを紫外光硬化樹脂で構成した。従って、紫外光を
照射することによって隔壁Ｗを硬化させることによって、隔壁Ｗ内を減圧したとき隔壁Ｗ
がその外側の気圧（大気圧）によって崩壊することはない。この結果、隔壁Ｗ内を確実に
減圧させることができる。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る液晶パネルの製造装置としての貼り合わせ装置につ
いて図８〜図１１に従って説明する。図８に示すように、本実施形態の貼り合わせ装置４
０Ｂは、可動定盤４３のマザー基板押圧面４３ａに凹部４９が形成され、その凹部４９の
略中央領域に第２のマザー基板３２が保持されるようになっている。尚、凹部４９の深さ
は、第１のマザー基板３１、第２のマザー基板３２及びシール材１３（隔壁Ｗ）の厚さの
総和にほぼ等しくなるように形成されている。
【００４７】
一方、定置定盤４２上には、可動定盤４３の凹部４９に対向する位置に複数の吸気孔Ｋ
が形成されている。この吸気孔Ｋは、基台４１中に内設された連通孔Ｑを介して真空ポン
プ４７につながっている。従って、可動定盤４３が定置定盤４２上に接触した状態で真空
ポンプ４７を作動させることで、吸気孔Ｋから吸気して凹部４９内の気圧を減圧調整する
ことが可能となる。尚、本実施形態では、図９に示すように、第１のマザー基板３１上に
形成される隔壁Ｗには、上記第１実施形態の差込口Ｗａ及び貫通孔Ｗｏは設けられていな
い。
【００４８】
次に、貼り合わせ装置４０Ｂの動作について図１０及び図１１に従って説明する。
まず、図１０（ａ）に示すように、第１のマザー基板３１を定置定盤４２の所定の位置
に載置するとともに、第２のマザー基板３２を可動定盤４３に形成された凹部４９上の所
定の位置に載置し、前述した静電チャック又は吸引チャック等の保持機構を作動させて吸
着固定する。このとき、第１のマザー基板３１上のシール材１３は、未だ紫外光が照射さ
れていないため、硬化していない状態である。
【００４９】
そして、可動定盤４３を定置定盤４２に向かって下動させる。すると、図１０（ｂ）に
示すように、凹部４９と定置定盤４２との間の空間Ｓｏ内で、第１のマザー基板３１及び
第２のマザー基板３２にそれぞれ形成された複数の素子基板１１と対向基板１２同士がそ
れぞれ隔壁Ｗ及びシール材１３を介して貼り合わされる。この結果、隔壁Ｗによって各セ
ル形成空間Ｓａ及び各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ内が密閉される。このとき、
図１１（ａ）に示すように、シール材１３で囲まれたセル形成空間Ｓａに対応した第２の
マザー基板３２は、第１のマザー基板３１側に向かって窪んだ形状となる。従って、この
状態では、セルギャップ長Ｌｇ（図２参照）は均一ではない。
【００５０】
次に、この状態で各マザー基板３１，３２越しに隔壁Ｗに紫外光を照射して隔壁Ｗを硬
化させる。
続いて、この状態で真空ポンプ４７を作動させる。すると、凹部４９と第１のマザー基
板３１との間の空間Ｓｏであって、隔壁Ｗ外の領域にある空気が吸気孔Ｋから連通孔Ｑを
介して外界へ排気される。この結果、各セル形成空間Ｓａ内の気圧が、隔壁Ｗ外の空間Ｓ
ｏの気圧に比べて高くなる。従って、図１１（ｂ）に示すように、各セル形成空間Ｓａを
区画形成する、第１及び第２のマザー基板３１，３２が各セル形成空間Ｓａ内の圧力によ
ってそれぞれ外側に向かう力を受ける。尚、このとき、隔壁Ｗは紫外光が照射されて強固
に硬化されていることから、隔壁Ｗが空間Ｓｏ内の気圧によって崩壊することはない。
【００５１】
すると、各セル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー基板３２が可動定盤４３のマザー
基板押圧面４３ａ表面に沿うことによって第２のマザー基板３２が水平にならされ、図１
１（ｃ）に示すように、前記第２のマザー基板３２の窪みが消失する。この結果、各液晶
パネル１０のセルギャップ長Ｌｇが均一となる。
【００５２】
次に、図１０（ｃ）に示すように、真空ポンプ４７の作動を停止し、さらに、前記保持
機構の作動を停止させ、その後、加圧機構４５を駆動させて可動定盤４３を上動させて定
置定盤４２から離間させる。すると、第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２とが
隔壁Ｗ及びシール材１３を介して貼り合わされる。この結果、各液晶パネル１０に渡って
セルギャップ長Ｌｇが均一となるように、第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２
とを貼り合わせることができる。
【００５３】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、可動定盤４３のマザー基板押圧面４３ａに凹部４９を形
成し、その凹部４９の略中央領域に第２のマザー基板３２を保持するようにした。また、
定置定盤４２上に、可動定盤４３の凹部４９に対向する位置に吸気孔Ｋを形成した。そし
て、可動定盤４３が定置定盤４２上に接触した状態で真空ポンプ４７を作動させることで
、吸気孔Ｋから吸気して凹部４９内の気圧を低くすることで、各セル形成空間Ｓａ内の気
圧を、各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ内の気圧に比べて高くした。
【００５４】
この結果、各セル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー基板３２が、可動定盤４３のマ
ザー基板押圧面４３ａ表面に沿って水平にならされることから、各液晶パネル１０に渡っ
てセルギャップ長Ｌｇ（図２参照）が均一にすることができる。
【００５５】
（２）上記実施形態によれば、隔壁Ｗ内側の気圧を隔壁Ｗの外側の空間の気圧よりも高
くすることができるようにすればよいので、隔壁Ｗには、上記第１実施形態のように差込
口Ｗａ及び貫通孔Ｗｏを備える必要はなく、凹部４９と定置定盤４２との間の空間Ｓｏと
各セル形成空間Ｓａ及び各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂが貫通していればよい。
この結果、隔壁Ｗの構造を簡素なものにすることができる。
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る液晶パネルの製造装置としての貼り合わせ装置４０
Ｃについて図１２〜図１６に従って説明する。図１２に示すように、本実施形態の貼り合
わせ装置４０Ｃは、可動定盤４３のマザー基板押圧面４３ａに凹部４９が形成されている
。凹部４９の深さは、第１のマザー基板３１、第２のマザー基板３２及びシール材１３（
隔壁Ｗ）の厚さの総和にほぼ等しくなるように形成されている。
【００５６】
図１３は、可動定盤４３を下側（定置定盤４２側）から見た斜視図である。図１３にお
いて、可動定盤４３の凹部４９の底面には、凸部としての押圧凸部５０が突出形成されて
いる。本実施形態においては、Ｘ矢印方向に３列、Ｙ矢印方向に３列の、合計３×３＝９
個の押圧凸部５０がマトリクス状に配置されている。
【００５７】
各押圧凸部５０は、前記シール材１３と同形状の四角枠状を成している。そして、図１
４に示すように、各押圧凸部５０の配置位置は、可動定盤４３を下動させて、第１のマザ
ー基板３１と第２のマザー基板３２とを各シール材１３を介して圧着する際、それぞれ対
応する第１のマザー基板３１上に形成されたシール材１３と、第２のマザー基板３２を介
して相対向する位置になっている。
【００５８】
また、各押圧凸部５０に囲まれた領域であってその略中央に第２の圧力調整手段として
の空気孔Ｐが形成されている。各空気孔Ｐは外部に設けられた図示しないコンプレッサに
連通し、該コンプレッサにて生成された圧縮空気が排出されるようになっている。
【００５９】
従って、可動定盤４３を下動させて、第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２と
を各シール材１３を介して圧着すると、各押圧凸部５０が、それぞれ第１のマザー基板３
１を介して第２のマザー基板３２に形成した対応するシール材１３と当接する。その結果
、シール材１３で囲まれた各セル形成空間Ｓａに対応する第２のマザー基板３２には、押
圧力を加えずに、各シール材１３にのみそれぞれ均一に押圧力を加えることができる。
【００６０】
一方、図１２に示すように、定置定盤４２上には、可動定盤４３の凹部４９に対向する
位置に吸気孔Ｋが形成されている。この吸気孔Ｋは、基台４１中に内設された連通孔Ｑを
介して真空ポンプ４７につながっている。従って、可動定盤４３が定置定盤４２上に接触
した状態で真空ポンプ４７を作動させることで、吸気孔Ｋから吸気して凹部４９内の気圧
を減圧調整することが可能となる。尚、本実施形態では、図１４に示すように、第１のマ
ザー基板３１上に形成される隔壁Ｗには、上記第１実施形態の差込口Ｗａ及び貫通孔Ｗｏ
は設けられていない。
【００６１】
次に、貼り合わせ装置４０Ｃの動作について図１５及び図１６に従って説明する。
まず、図１５（ａ）に示すように、第１のマザー基板３１を定置定盤４２の所定の位置
に載置するとともに、第２のマザー基板３２を可動定盤４３に形成された凹部４９上の所
定の位置に載置し、前述した静電チャック又は吸引チャック等の保持機構を作動させて吸
着固定する。このとき、第１のマザー基板３１上のシール材１３は、未だ紫外光が照射さ
れていないため、硬化していない状態である。
【００６２】
そして、可動定盤４３を定置定盤４２に向かって下動させる。すると、図１５（ｂ）に
示すように、凹部４９と定置定盤４２との間の空間Ｓｏ内で、第１のマザー基板３１及び
第２のマザー基板３２にそれぞれ形成された複数の素子基板１１と対向基板１２同士がそ
れぞれ隔壁Ｗ及びシール材１３を介して貼り合わされる。このとき、各押圧凸部５０にか
かる押圧力は、シール材１３の上面と対向する第２のマザー基板３２の部分に加わって、
第２のマザー基板３２を第１のマザー基板３１に対して圧着することになる。すると、シ
ール材１３で囲まれた各セル形成空間Ｓａに対向する空間Ｃｏの第２のマザー基板３２に
は押圧力を加えずに、各シール材１３にのみそれぞれ均一に押圧力を加えることができる
ことから、図１６（ａ）に示すように、各セル形成空間Ｓａに対向する空間Ｃｏの第２の
マザー基板３２が対向する第１のマザー基板３１側に窪むことはない。
【００６３】
次に、この状態で各マザー基板３１，３２越しに隔壁Ｗに紫外光を照射して隔壁Ｗを硬
化させる。
続いて、この状態で真空ポンプ４７を作動させる。すると、凹部４９と第１のマザー基
板３１との間の空間Ｓｏであって、隔壁Ｗ外の領域にある空気が吸気孔Ｋから連通孔Ｑを
介して外界へ排気される。この結果、各セル形成空間Ｓａ内の気圧が隔壁Ｗ外の空間Ｓｏ
の気圧に比べて高くなることから、各セル形成空間Ｓａに対応する第２のマザー基板３２
が対向する第１のマザー基板３１側に窪むのを確実に抑制することができる。
【００６４】
次に、前記コンプレッサを介して空気孔Ｐから圧縮空気を排出する。すると、図１６（
ｂ）に示すように、各セル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー基板３２が圧縮空気によ
って第１のマザー基板３１側に向かう力を受ける。従って、各押圧凸部５０によって各シ
ール材１３にのみに押圧力を加えたことで、たとえば、各セル形成空間Ｓａに対応する第
２のマザー基板３２が可動定盤４３側に凸状に盛り上がった場合であっても、その凸状に
盛り上がった第２のマザー基板３２を第１のマザー基板３１側に向かって押圧させること
ができる。この結果、第２のマザー基板３２が均され、図１６（ｃ）に示すように、前記
凹凸が消失する。この結果、液晶パネル１０に渡ってセルギャップ長Ｌｇ（図２参照）が
均等となる。
【００６５】
次に、図１５（ｃ）に示すように、真空ポンプ４７の作動を停止し、さらに、前記保持
機構の作動を停止させ、その後、加圧機構４５を駆動させて可動定盤４３を上動させて定
置定盤４２から離間させる。すると、第１のマザー基板３１と第２のマザー基板３２とが
隔壁Ｗ及びシール材１３を介して貼り合わされる。この結果、各液晶パネル１０に渡って
セルギャップ長Ｌｇ（図２参照）が均等となるように、第１のマザー基板３１と第２のマ
ザー基板３２とを貼り合わせることができる。
【００６６】
次に、上記のように構成した実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、第１のマザー基板３１上に形成された各シール材１３に
対して対向する位置に配置された押圧凸部５０を備えた。従って、各シール材１３で囲ま
れた第２のマザー基板３２には、貼り合わす際に、直接押圧力が加わらないことから、そ
のシール材１３で囲まれた各セル形成空間Ｓａに対応した第２のマザー基板３２が対向す
る第１のマザー基板３１側に窪むのを確実に抑制することができる。
【００６７】
（２）上記実施形態によれば、各押圧凸部５０に囲まれた領域の略中央に圧縮空気を排
出する空気孔Ｐを備えた。従って、押圧凸部５０によって、各シール材１３で囲まれた第
２のマザー基板３２が可動定盤４３側に凸状に盛り上がった場合、空気孔Ｐから圧縮空気
を排出することで凸状に盛り上がった第２のマザー基板３２が均され、セルギャップ長Ｌ
ｇを均等にすることができる。
【００６８】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記第３実施形態では、各セル形成空間Ｓａと対向するに形成した各空間Ｃｏに対して
圧縮空気を供給することで、第２のマザー基板３２の盛り上がりを抑制するようにしたが
、本発明はこれに限定されない。例えば、何らの理由で第２のマザー基板３２が第１のマ
ザー基板３１側に向かって窪む場合では、各空間Ｃｏを減圧するようにしてもよい。要は
、第２のマザー基板３２の状態に応じてセルギャップ長Ｌｇが均一になるように各空間Ｃ
ｏの内圧を調整するようにすればよい。
・上記各実施形態では、押圧凸部５０を可動定盤４３の凹部４９に直接設けたが、これを
、押圧凸部５０を設けたプレートを別途形成し、その押圧凸部５０を設けたプレートを凹
部４９に設けてもよい。このようにすることによっても本発明は適用される。
・上記各実施形態では、シール材１３を熱硬化性樹脂としたが、紫外光硬化樹脂からなる
シール材で実施してもよい。また、隔壁Ｗを紫外光硬化樹脂で構成したが、熱硬化性樹脂
からなる材料で実施してもよい。このようにしても、各液晶パネル１０のセルギャップ長
Ｌｇを均一に形成することができる。
・上記各実施形態では、シール材１３を複数の対向基板１２を形成した第２のマザー基板
３２に形成したが、シール材１３を第１のマザー基板３１側に形成し、両マザー基板３１
，３２を貼り合わせるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本実施形態に係る液晶パネルの斜視図。
【図２】液晶パネルの断面図。
【図３】第１実施形態に係る液晶パネルの製造方法を説明する説明図。
【図４】第１実施形態に係る貼り合わせ装置を説明する説明図。
【図５】液晶パネルの製造方法を説明する説明図。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、貼り合わせ装置の動作を説明する説明図。
【図７】同じく、（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、貼り合わせ装置の動作を説明する説明図。
【図８】第２実施形態に係る貼り合わせ装置を説明する説明図。
【図９】第２実施形態に係る液晶パネルの製造方法を説明する説明図。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、貼り合わせ装置の動作を説明する説明図。
【図１１】同じく、（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、貼り合わせ装置の動作を説明する説明図。
【図１２】第３実施形態に係る貼り合わせ装置を説明する説明図。
【図１３】第３実施形態に係る貼り合わせ装置の可動定盤を説明する斜視図。
【図１４】第３実施形態に係る液晶パネルの製造方法を説明する説明図。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、貼り合わせ装置の動作を説明する説明図。
【図１６】同じく、（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、貼り合わせ装置の動作を説明する説明図。
【符号の説明】
【００７０】
Ｆ…液晶、Ｐ…第２の圧力調整手段としての空気孔、Ｓａ…セル形成空間、Ｗ…密閉部
材としての隔壁、１０…液晶パネル、１１…素子基板、１２…対向基板、１３…シール材
、３１…第１のマザー基板、３２…第２のマザー基板、４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ…液晶パ
ネルの製造装置としての貼り合わせ装置、４２…定盤または第１定盤としての定置定盤、
４３…定盤または第２定盤としての可動定盤、４３ａ…マザー基板押圧面、４５…定盤駆
動手段としての加圧機構、４７…圧力調整手段としての真空ポンプ、５０…凸部としての
押圧凸部。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の素子基板を形成した第１のマザー基板と複数の対向基板を形成した第２のマザー基
板とをそれぞれ対応する定盤に保持し、少なくともいずれか一方の定盤を他方の定盤に向
かって可動させる圧着工程を備え、その圧着工程により前記第１のマザー基板と前記第２
のマザー基板とを貼り合わせて対応する前記素子基板と前記対向基板同士を、それぞれシ
ール材を介して圧着させるようにした液晶パネルの製造方法において、
前記圧着工程中に、前記各シール材で囲まれたセル形成空間が密閉された時から、前記
第１のマザー基板と前記第２のマザー基板との周囲を減圧する減圧工程を備えたことを特
徴とする液晶パネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶パネルの製造方法において、
前記圧着工程は、前記各シール材に対応する前記第１のマザー基板及び前記第２のマザ
ー基板の少なくともいずれか一方を押圧しながら、前記第１のマザー基板と前記第２のマ
ザー基板とを互いに前記シール材を介して圧着させ、
前記圧着工程中に、前記各シール材で囲まれたセル形成空間が密閉された時から、少な
くともいずれか一方の定盤であって前記シール材で囲まれた各セル形成空間と対応する部
分に形成した各空間の内圧を制御する内圧調整工程を備えたことを特徴とする液晶パネル
の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液晶パネルの製造方法において、
前記シール材は、熱硬化樹脂であることを特徴とする液晶パネルの製造方法。
【請求項４】
複数の素子基板を形成した第１のマザー基板を保持する第１定盤と、
複数の対向基板を形成した第２のマザー基板を保持する第２定盤と、
前記第１定盤と前記第２定盤とを相対向する方向に相対移動させ、前記第１のマザー基
板と第２のマザー基板とを貼り合わせる定盤駆動手段と、を備え、
前記第１のマザー基板と前記第２のマザー基板とを貼り合わせることによって、対応す
る前記素子基板と前記対向基板同士を、それぞれセル形成空間を形成するシール材を介し
て圧着させるようにした液晶パネルの製造装置おいて、
前記第１のマザー基板と前記第２のマザー基板との少なくともいずれか一方の周囲に形
成され全ての前記セル形成空間を密閉する密閉部材によって前記セル形成空間の周囲に形
成された密閉空間の内圧を制御する圧力調整手段を備えたことを特徴とする液晶パネルの
製造装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液晶パネルの製造装置において、
前記第１定盤と前記第２定盤との少なくとも一方の定盤のマザー基板押圧面上に、前記
素子基板と前記対向基板のいずれか一方の基板であって前記シール材と対応する部分に当
接し押圧する凸部を備え、
前記素子基板及び前記対向基板のいずれか一方と前記凸部とで区画形成される、前記セ
ル形成空間と対応する部分に形成された各空間の内圧を制御する第２の圧力調整手段をさ
らに備えたことを特徴とする液晶パネルの製造装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液晶パネルの製造装置において、
前記マザー基板押圧面上に、その前記各凸部で囲まれた前記セル形成空間に対応した位
置に空気孔を備え、
前記第２の圧力調整手段は、前記空気孔から排出される空気であることを特徴とする液
晶パネルの製造装置。
【請求項７】
請求項５または６のいずれか一つに記載の液晶パネルの製造装置において、
前記密閉部材は、光硬化樹脂であることを特徴とする液晶パネルの製造装置。

【図１】