【課題】大型基板への薄膜製造における条件確認プロセスにおいて、通常の生産時の成膜条件を乱すことなく、簡便な方法で条件確認ができるように、新たな基板保持具を提案し、従来の方法よりコストダウンを図ること。
【解決手段】薄膜を製造するための基板を保持する基板保持具であって、周縁部を規定する枠部２と、周縁部の間を対向側に差し渡す桟部３とを有し、成膜条件を確認するための測定片用基板保持部６と固定爪部７とからなる測定片用基板ホルダ４を、前記桟部および／または前記枠部に前記固定爪部を用いて装着することを特徴とする基板保持具。 （もっと読む）

【課題】導電テープに部品を押し付けたときに生ずる基板と部品の相対位置の変化のメカニズムを解析するのに役立つデータを取得することができる部品圧着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板支持台２４の基板ＰＢと接触する基板接触部２４ｃの少なくとも一部が、上方からの光を水平方向に反射する反射面ｍを内部に備えたビームスプリッタＢＳから成っており、基板ＰＢの側縁部Ｅｄが基板支持台２４に支持されてビームスプリッタＢＳの直上に位置した導電テープＤＴに圧着ヘッド２６が部品Ｐを押し付けている間、基板ＰＢと部品Ｐの相対位置が変化する様子を、ビームスプリッタＢＳが内部に備えた反射面ｍを通して水平方向から撮像する撮像カメラ２９と、撮像カメラ２９の撮像により得られた、基板ＰＢと部品Ｐの相対位置が変化する様子を示す画像データを保存する記憶部Ｍｒを備える。 （もっと読む）

【課題】外観不良を起こさない光学フィルムの切断と連続的な貼り合わせにおけるフィルムの破断防止という課題を同時に解決できる液晶表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】偏光子を含む光学フィルムＦ１１に粘着剤層Ｆ１４とそれに仮着されたキャリアフィルムＦ１２とが積層された長尺なシート状物Ｆ１を、前記キャリアフィルムＦ１２の連続性を維持した状態で所定間隔に切断し、得られた光学フィルム片を搬送するとともにキャリアフィルムＦ１２を張力により剥離して露出した粘着剤層にて液晶パネルに連続的に貼り合せる液晶表示素子の製造方法において、前記切断は、実質上キャリアフィルムＦ１２に達する切り込み深さで、前記キャリアフィルムＦ１２の幅方向に切断手段１６２を移動させながら行われ、且つ前記切断がキャリアフィルムＦ１２の幅方向の少なくとも両端部で、該キャリアフィルムＦ１２の厚みの半分未満の切り込み深さとする。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の板面をノズル体によって噴射供給される処理液によって処理する際、全面を均一に処理できるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を所定方向に搬送する搬送ローラ５と、基板の搬送方向と交差する幅方向の両端部に処理液を隙間が生じることのない密の状態で均一に噴射供給する第１のノズル体２３と、基板の第１のノズル体によって処理液が供給された幅方向両端部を除く部分に処理液を基板の搬送方向及び搬送方向と交差する方向に対して隙間が生じる疎の状態で噴射供給する第２のノズル体２４を具備する。 （もっと読む）

【課題】比較的小型の板状部材を、気泡の混入なしに貼り合せることができる貼り合せ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る貼り合せ装置１は、ローラー１４を走行させることにより、第２板状部材１０１を第１板状部材１００に貼り合せる装置である。第２板状部材１０１は、第１板状部材１００に最初に貼り合される側の端部である貼始端部１０１ｂと、第１板状部材１００に最後に貼り合される側の端部である貼終端部１０１ｃとを有し、貼終端部１０１ｃは、上下に昇降可能なピロー７で少なくとも下面が支持されることにより下方向への移動が規制されている。これにより、第２板状部材１０１の未だローラー１４によって押圧されていない部分と第１板状部材１００とが接触しないようになっている。 （もっと読む）

【課題】部品の点数の大幅な増加や大型化等を防ぎつつ、マスクの交換時間を短くすること。
【解決手段】第１のマスクＭ１での露光中に、第１のハンドラ１１ａがマスク保管部６から次に使用する第２のマスクＭ２を取り出し、プリアライメントステージ５に載せてプリアライメントを行う。露光が終わると第２のハンドラ１２ａが第１のマスクＭ１をプリアライメントステージ５まで運ぶ。マスク退避機構１３の第３のハンドラ１３ａは第１のマスクＭ１を受け取りいったん保持する。第２のハンドラ１２ａは、第２のマスクＭ２を保持し、マスクステージ２へ搬送する。同時に第３のハンドラ１３ａが保持していた第１のマスクＭ１を第１のハンドラが受け取ってマスク保管部６に回収する。マスク退避機構１３を設けマスクを退避させるようにしたのでマスクの交換時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 基板中央部のセルギャップが基板外周部のセルギャップよりも大きい場合以外の場合についてもセルギャップを均一になるように調整可能とする基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法を提供する。
【解決手段】 基板貼り合わせ装置１において、基板Ｂを保持する定盤３０と、基板Ａを保持する定盤２０と、定盤３０に保持された基板Ｂを定盤３０側に吸引する吸引部９と、定盤３０に保持された基板Ｂを定盤３０から離間する方向に加圧する加圧部１０と、基板Ｂと基板Ａとが貼り合わされるように定盤３０と定盤２０とを向かい合わせる駆動部４とを備え、定盤３０は、互いに面一の複数のブロック４１〜４９を有すると共に、各ブロック毎に吸引部９及び加圧部１０にそれぞれ開閉弁６１〜６９，７１〜７９を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】 安価な手段で精度高く欠陥画素のアドレスを検出することができる欠陥画素アドレス検出方法と装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 検査対象である表示パネルの一部を撮影することができる移動可能な撮影装置を用い、その撮影装置を移動させて発見された欠陥画素を撮影して、撮影された画像上で欠陥画素の位置を特定したときの当該撮影装置の移動距離と、検査対象である表示パネルにおける画素サイズ並びにその配列形態に関する情報とから、欠陥画素のアドレスを求める欠陥画素アドレス検出方法と装置を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に貼着された粘着テープから離型テープを円滑に剥離することができる粘着テープの貼着装置を提供することにある。
【解決手段】基板が載置されたテーブル５を水平方向に駆動する第１の駆動手段４と、基板の上面の側辺部に沿って粘着テープが貼着された離型テープを搬送する送りチャック２７と、カッタ２６によって所定長さに切断されて基板の側辺部の上方に位置決めされた粘着テープを基板に加圧して貼着する加圧ツール７と、基板の側辺部の長手方向に沿って相対的に駆動されることで加圧ツールによって基板に貼着された粘着テープの一端部から他端部に向かって離型テープを剥離する剥離ユニット１６と、離型ローラによって粘着テープの一端部から他端部に向かって離型テープを剥離するとき、離型テープの粘着テープの一端部に位置する部分が粘着テープの一端部に対して位置がずれるよう第１の駆動手段４によってテーブルを駆動して基板を変位させる制御装置３１を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板を高速に洗浄する。
【解決手段】基板１の側縁部の表側の第１の洗浄面と裏側の第２の洗浄面とを、洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材１１ａと、洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材１１ｂと、洗浄テープを供給する供給リール１６と、洗浄テープを回収する回収リール２０と、供給リールから第１および第２の洗浄面上を通過して回収リールに至るテープ経路に沿って洗浄テープを送るテープ送り機構１５とを含む洗浄ユニット２１と、着脱可能に装着した洗浄ユニットを基板の側縁部の長手方向に移動させる洗浄ユニット移動装置５０とを有する。洗浄ユニットにおいて供給リールと回収リールとが並列に配置され、供給リールからテープ経路に洗浄テープを供給する駆動装置のテープ供給動作と回収リールによる洗浄テープ回収動作とを連動させる連動装置を洗浄ユニットが備える。 （もっと読む）

【課題】清浄度を維持しつつ、光学部材と光学表示ユニットとの貼り合せを行うことができる光学表示装置の製造方法および光学表示装置の製造システムを提供することを目的とするものである。
【解決手段】光学表示ユニットＷと、当該光学表示ユニットＷに貼り合わされ光学部材とを有する光学表示装置Ｗ１２の製造方法であって、気流を作用させた環境で、前記光学表示ユニットＷに前記光学部材１１、２１を貼り合わせる貼合工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、移動機構の機械的精度に影響を受けない電子部品実装アライメント方法を用い、信頼性の高い電子部品実装処理装置及び実装処理方法を提供することである。
【解決手段】電子部品と表示基板の搭載位置の位置合せ対象に設けたアライメントマークを撮像し、その撮像データに基づいて前記位置合せ対象をアライメントする際に、前記位置合せ対象のうち一方のアライメントマークを最初に撮像し、前記撮像したアライメントマークを有する一方の位置合せ対象と前記撮像した撮像手段とを一体にして他方の位置合せ対象の位置に移動し、前記他方の位置合せ対象を撮像することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤ表示基板の薄型化や、接合プロセスの先鋭化に伴い、基板裏面の付着異物が不良の原因となる頻度が高まっている。従来の裏面拭き取りは表面を拭き取った後のクリーニングテープで裏面を拭いており、表面から塵埃やガラス片を再付着させる恐れがあった。
【解決手段】表示装置の部品搭載接合処理にあたり、表示基板の端子部に付着する塵埃や汚染をクリーニングテープの表面で拭き取り、同時に既に別な表示基板の端子部を拭き取ったクリーニングテープの裏面によって表示基板の端子部の裏面を拭き取る。これにより、表示基板の裏面に表面からの塵埃やガラス片を付着させる恐れが無い。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの歩留まり向上、コスト低下、在庫管理の改善を可能にする光学表示装置の製造システム及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学表示装置の製造システムであって、光学フィルムを有する帯状シート状製品３が巻き取られたロール４から帯状シート状製品３を引き出して供給する供給手段と、供給手段によって引き出された帯状シート状製品の欠陥を検出する検出手段１２と、検出結果に基づいて帯状シート状製品を切断し、個々のシート状製品に加工する切断加工手段１３と、切断加工されたシート状製品を貼合わせ加工を行うために移送する移送手段１６と、移送されたシート状製品と光学表示ユニットを貼合わせる貼合わせ加工手段１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 偏光板を備えるワークテーブルにおいて、ハウジングに対する偏光板の変位を防止する。
【解決手段】 ワークテーブルは、上方に開放する内部空間を備えると共に、被検査体を受ける受け部を内部空間の矩形の開放部の周りに備える箱状のハウジング３４と、被検査体に照射する光を発生するように、前記受け部の下方に位置されたバックライトユニット３６と、バックライトユニットから被検査体に向かう光の通路に配置された偏光板３８とを含む。ハウジング３４は、矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに内部空間の側に開口して矩形の対向する他の一対の辺の長手方向に延在する溝を有しており、また偏光板３８の矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれの縁部を溝に受け入れている。 （もっと読む）

【課題】現在の表示パネルモジュール組立装置では、表示パネル基板搬送と処理作業時の位置決め動作に必要な機構が複雑であるとともに、本来の基板処理以外の搬送・位置決め作業の時間が長い。さらに、時間の短い工程の処理作業装置は、時間のかかる工程の処理作業装置の終了を待つことになり、一部の処理作業装置ではその作業処理の動作効率も低くなっている。
【解決手段】各種処理作業を行う各処理作業装置もしくは処理作業位置に、基板を保持・固定することが可能な基板保持固定手段を配置するとともに、基板保持固定手段に、表示パネル基板を位置決め受渡しをすることが可能な基板搬送位置決め手段を設ける。さらに、基板搬送位置決め手段は、連続する処理作業装置もしくは処理作業位置の基板保持固定手段間で基板を搬送することができるように構成した。 （もっと読む）

【課題】表示パネルモジュール組立装置は、表示パネル基板を位置決めして、その周囲を保持しながら各種処理を行う。表示パネル基板が大きくなると反りややわみが大きくなるので、表示パネル基板の位置決めが困難である。
【解決手段】パネル基板を搬送する搬送手段と、前記パネルの一辺を吸着によって固定する固定部材と、前記固定部材と部品を実装する実装装置との間にパネル基板に付与されたマークを検出する検出手段と、前記実装装置内に上下方向に可動なバックアップ手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】表示パネルモジュール組み立て装置において、機構を複雑にすること無く、表示パネルの大型化や薄型化に伴って生じるうねりや反りの増大、また、ＦＰＤの仕様に伴う表示パネル積層構成の多様化が起因した電極基板までの段差違いなどを有する表示パネル縁辺部に対して電子部品の搭載を高精度で行わせること。
【解決手段】パネル保持部材による表示パネルの矯正と、パネル保持部材とバックアップ部材との間に配置したカメラの観察による位置決め誤差の補正により、表示パネル縁辺全域にわたり確実なパネル矯正および位置決めが可能になる。 （もっと読む）

【課題】
表示パネル基板の受け渡し時に、パネル基板を渡す側と受ける側の平行度がずれると、パネル基板にストレスがかかり、割れや回転ずれ等の課題が発生する。
【解決手段】
基板搬送部材２は、基板搬送部材昇降装置５によって上昇し、基板保持部材３に吸着保持された表示パネル基板1に当たると、支点４８を中心にして表示パネル基板１と平行に近づき、さらに上昇させることで基板保持部材３から表示パネル基板１を受け取るようにすることで、表示パネル基板１へのストレスなくす。 （もっと読む）

本発明によるパネルの平衡度調節装置は、上面を有するベース・プレート、ベース・プレートの上面に配置される第１の支持軸、第１の支持軸を回転中心として回転し得るように第１の支持軸と結合される第１のティルティング・プレート、第１のティルティング・プレートに力を加えて第１のティルティング・プレートを第１の支持軸を中心に回転させるための第１のティルティング・アクチュエーター、第１のティルティング・プレートの上面に第１の支持軸と交差するように配置される第２の支持軸、第２の支持軸を回転中心として回転し得るように第２の支持軸と結合される第２のティルティング・プレート、第２のティルティング・プレートに力を加えて第２のティルティング・プレートを第２の支持軸を中心に回転させるための第２のティルティング・アクチュエーター、パネルが安着し得るように第２のティルティング・プレートの上面に結合されるパネル安着プレートを備えている。本発明による場合、第１のティルティング・プレートが第１の支持軸を回転中心としてティルティングし、第２のティルティング・プレートが第１の支持軸と交差する第２の支持軸を回転中心としてティルティングすることにより、パネル安着プレートに安着するパネルを多様な角度で精密に調整することができる。 （もっと読む）