【課題】処理むらを防止して、良好な被膜を安定的に形成できるようにした表面処理装置および表面処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面処理装置１は、被処理基板Ｗを配置する成膜室３と、成膜室３内を減圧するポンプ５と、シランカップリング剤Ｙ１を気化させる処理剤気化装置２１と、処理剤気化装置２１に対してキャリアガスを供給するガス供給装置２２と、成膜室３内の気体を循環させる第１循環系４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】配向膜の特性を高精度に制御する。
【解決手段】本発明の液晶装置の製造方法は、対向する一対の基板間に挟持された液晶層を備え、少なくとも一方の前記基板と前記液晶層との間に配向膜が設けられた液晶装置の製造方法である。一方の基板に無機配向膜１５を形成する工程と、無機配向膜１５の表面を１未満の所定の被覆率でランダムに覆う第１有機膜を第１シランカップリング剤により形成する第１被覆工程と、第１被覆工程の後に、表面において第１有機膜に覆われていない部分を覆う第２有機膜を第１シランカップリング剤と炭素数が異なる第２シランカップリング剤により形成する第２被覆工程と、を有する。第１有機膜と第２有機膜と無機配向膜からなる配向膜１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】処理むらを防止して、良好な被膜を安定的に形成できるようにした表面処理装置および表面処理方法を提供する。
【解決装置】本発明の表面処理方法は、大気圧よりも低い圧力下でシランカップリング剤Ｙ１を気化させ、気化したシランカップリング剤Ｙ２の雰囲気に無機膜１０を有する基板Ｗを晒すことで無機膜１０上にシランカップリング剤の被膜を形成する表面処理工程を有する。また、本発明の表面処理装置１は、上記表面処理方法に用いられる装置であって、シランカップリング剤Ｙ１を気化させる処理剤気化装置２１と、処理剤気化装置２１に対してキャリアガスを供給するガス供給装置２２と、無機膜１０を有した基板１０を配置するとともに気化したシランカップリング剤Ｙ２が供給される成膜室３と、成膜室３内を減圧するポンプ５とを有する。 （もっと読む）

【課題】比較的低温の焼成温度でＴＦＴ素子上に低誘電率の平坦化膜を形成することが可能なＴＦＴ平坦化膜形成用組成物、及びそのような平坦化膜を有する表示装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＴＦＴ平坦化膜形成用組成物は、（Ａ）シロキサン樹脂、（Ｂ）重合促進剤、及び（Ｃ）有機溶剤を含有する。（Ｂ）重合促進剤としてはオニウム塩が好ましく、その含有量は、（Ａ）シロキサン樹脂のＳｉＯ_２換算質量に対して１２０〜１０００質量ｐｐｍであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】良好なコントラスト特性を有し、且つ、ディスクリネーション等の発生を防止した液晶装置を得ると共に、製造工程の更なる簡素化を可能とした液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直配向領域Ａ１に、シロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含む重合膜を形成する工程と、重合膜にエネルギーを付与して脱離基をＳｉ骨格から脱離させる工程と、重合膜の表面に長鎖アルキル鎖を形成して垂直配向膜４１とする工程と、水平配向領域Ａ２に短鎖アルキル鎖を形成して水平配向膜４２とする工程と、長鎖アルキル鎖及び短鎖アルキル鎖が形成された面を一の方向に沿ってラビング処理する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】良好なコントラスト特性を有し、且つ、ディスクリネーション等の発生を防止した液晶装置を得ると共に、製造工程の更なる簡素化を可能とした液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直配向領域Ａ１を活性化する工程と、垂直配向領域Ａ１に長鎖アルキル鎖を形成して垂直配向膜４１とする工程と、水平配向領域Ａ２に短鎖アルキル鎖を形成して水平配向膜４２とする工程と、長鎖アルキル鎖及び短鎖アルキル鎖が形成された面を一定方位方向にラビング処理する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理を行わずに偏光または非偏光の放射線照射によって、少ない露光量でも良好な液晶配向能を有する液晶配向膜を与える液晶配向剤を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、下記式（１）


（式（１）中、Ａは単結合、メチレン基または炭素数２〜６のアルキレン基である。）
で表される繰り返し単位を有する重合体と、カルボキシル基を有する桂皮酸誘導体との反応生成物を含有する。 （もっと読む）

【課題】画素領域と画素領域間とで配向規制力を異ならせた配向膜を備えた液晶装置を良好に製造する。
【解決手段】一対の基板間に液晶層が挟持され、一方の基板には金属または金属酸化物が形成材料の複数の画素電極１１が形成され、複数の画素電極１１間の領域を覆う第１配向膜１４と、複数の画素電極１１の各々を覆う第２配向膜１５と、を備える液晶装置の製造方法であって、画素電極１１を覆って第１材料膜１４ａを形成する工程と、第１材料膜１４ａ上に画素電極１１が設けられていない領域を覆うレジストパターンを形成する工程と、レジストパターンをマスクとして第１材料膜１４ａをエッチングし画素電極１１を露出させる工程と、画素電極１１上に気相蒸着法を用い第２材料膜１５ａを形成する工程と、を備え、第１材料膜１４ａの形成材料は有機高分子化合物であり、第２材料膜１５ａの形成材料はアルキル基を有するシラン化合物を含む。 （もっと読む）

【課題】液晶分子のプレチルト角を所望の値に制御可能で、かつ成膜レートが良好で製造装置の小型化が可能であり、防湿性の高い配向膜を形成可能な液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】、一対のターゲット５ａ，５ｂがプラズマ生成領域を挟んで対向するスパッタ装置３を用い、ターゲット５ａ，５ｂから被処理体となる基板Ｗ上に無機材料からなる配向膜材料５ｐを斜めに放出させて、基板Ｗ上に、基板Ｗの法線Ｚ方向に対して斜め方向に結晶成長した複数の柱状構造体を有する無機配向層を形成する工程と、無機配向層の表面を官能基としてアルキル基を有するシランカップリング剤で表面処理し、無機配向層の表面に、無機配向層と化学結合した有機材料の単分子膜からなる有機配向層を形成する工程と、を有し、表面処理は、シランカップリング剤を炭素原子数により選択して、液晶分子のプレチルト角を所望の角度に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程の簡素化を図るとともに、良好なコントラスト特性でディスクリネーション等の表示不良が防止された液晶装置と、その製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の液晶装置は、第１基板および第２基板間に液晶層を挟持してなる液晶装置であって、第１基板上に、複数の画素領域が配列形成され、複数の画素領域を区画する非画素領域内に形成された水平配向膜４２と、水平配向膜４２が形成された領域以外の少なくとも画素領域に対応して形成された垂直配向膜４１と、からなる第１の配向膜１１を有し、水平配向膜４２が短鎖アルキル鎖２８Ｂを主体とし、垂直配向膜４１が長鎖アルキル鎖２８Ａを主体とする。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理を行わずに偏光または非偏光の放射線照射によって、少ない露光量でも良好な液晶配向能を有する液晶配向膜を与える液晶配向剤を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、（Ａ）下記式（１）


（式（１）中、Ｘは桂皮酸骨格を有する１価の有機基であり、複数のＹは、それぞれ、塩素原子または炭素数１〜２０のアルコキシル基であり、ｎは１〜３の整数である。）
で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解・縮合して得られるポリオルガノシロキサン、ならびに（Ｂ）ポリアミック酸およびポリイミドよりなる群から選択される少なくとも一種の重合体を含有する。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理を行わずに、少ない照射量の偏光または非偏光の放射線によって液晶配向膜を形成することのできる液晶配向剤を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、下記式（ａ）


（式（ａ）中、Ｘは水素原子、ハロゲン原子または１価の有機基であり、Ｙはハロゲン原子または１価の有機基であり、Ｙがハロゲン原子である場合にはＷは単結合であり、Ｙが１価の有機基である場合にはＷは単結合または２価の有機基であり、Ｚは２価の有機基であり、ａは０〜４の整数である。）
で表される基を有する重合体または化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示素子の製造に際して液晶滴下方式（ＯＤＦ）を適用した場合における液晶滴下ムラおよび液晶融合部ムラが低減された液晶配向膜を与える液晶配向剤ならびに表示品位に優れる液晶表示素子を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、（ａ）ポリアミック酸およびそのイミド化重合体よりなる群から選択される少なくとも一種の重合体、ならびに（ｂ）分子内に３個以上のエポキシ基および２個以上のパーフルオロアルキル基を有する化合物を含有する。上記液晶表示素子は、上記液晶配向剤から形成された液晶配向膜を具備する。 （もっと読む）

【課題】撥水性、耐熱性、耐光性、透明性などの特性が高い樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ポリシランと疎水性アルキル化合物とで樹脂組成物を構成する。前記ポリシランは、ポリモノアリールシラン単位、ポリジアリールシラン単位、及びポリアルキルアリールシラン単位から選択された少なくとも一種を含んでいてもよい。また、前記ポリシランは、モノＣ_６−２０アリールシラン単位、及びＣ_１−６アルキルＣ_６−２０アリールシラン単位から選択された少なくとも一種を含んでいてもよい。前記疎水性アルキル化合物は、Ｃ_６−２４アルキル基と、重合性不飽和基、加水分解縮合性基、ヒドロキシル基、アルコキシ基、メルカプト基、アルキルチオ基、ハロゲン原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、カルボニルハライド基、エポキシ基、及びイソシアネート基から選択された少なくとも一種とを有していてもよい。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理を行わずに偏光または非偏光の放射線照射によって、少ない露光量でも良好な液晶配向能を有する液晶配向膜を与える液晶配向剤を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、（Ａ）Ｘ−Ｓｉ（ＣＨ_３）_３−ｎ−Ｙ_ｎ（式（１）中、Ｘは桂皮酸骨格を有する１価の有機基であり、複数のＹは、それぞれ、塩素原子または炭素数１〜２０のアルコキシル基であり、ｎは１〜３の整数である。）で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解・縮合して得られるポリオルガノシロキサンならびに（Ｂ）下記式（Ｓ−１）


（式（Ｓ−１）中、Ｘ^１水酸基、ハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシル基または炭素数６〜２０のアリール基であり、Ｙ^１は水酸基または炭素数１〜１０のアルコキシル基である。）
で表されるポリシロキサン、その加水分解物および加水分解物の縮合物よりなる群から選択される少なくとも１種を含有する。 （もっと読む）

【課題】表示品質を向上させた光配向材、これを用いて製造された配向膜を有する表示基板、及びその表示基板の製造方法の提供。
【解決手段】光配向材は、式（１）で示される光反応部を有する光配向ポリマーを含む。
（もっと読む）

【課題】高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような現像マージンを有し、密着性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる、層間絶縁膜またはマイクロレンズの形成に好適な感放射線性組成物を提供すること。
【解決手段】重合性不飽和結合を有するポリシロキサン、および１，２−キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ディスクリネーション等の表示不良を防止して良好なコントラスト特性を有し、且つコスト削減を可能とする液晶装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】回路基板と、該回路基板に対向して配置される対向基板と、回路基板及び対向基板間に挟持され初期配向状態が垂直配向を呈する液晶層５８と、対向基板の液晶層５８側に塗布プロセスによって形成されアルキル鎖を有する第１の配向膜２２と、回路基板の液晶層５８側に真空プロセスによって形成された第２の配向膜１１とを有し、第２の配向膜１１の表面に更にアルキル鎖が結合している。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理を行わずに、少ない照射量の偏光または非偏光の放射線によって液晶配向膜を形成することのできる液晶配向剤および該液晶配向剤を用いて少ない照射量の偏光または非偏光の放射線による液晶配向膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、下記式（ａ−１−１）


で表される基に代表される特定の基を有する重合体または化合物を含有する。上記液晶配向膜の形成方法は、液晶配向剤を塗布して塗膜を形成し、該塗膜に偏光または非偏光の放射線を照射して液晶配向能を付与する方法である。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理を行わずに、偏光または非偏光の放射線照射によって好適な液晶配向能およびプレチルト角発現性を付与することが可能な液晶配向剤を提供すること。
【解決手段】上記液晶配向剤は、テトラカルボン酸二無水物と、１−（３，５−ジアミノフェニル）−３−ドデシルスクシンイミドに代表される特定の化合物を含むジアミンとを反応させて得られるポリアミック酸およびそのイミド化重合体よりなる群から選択される少なくとも１種を含有する。 （もっと読む）