【課題】現像水および水洗水から、オーバーフローして排出された排水に処理を行い、河川に排出可能な水質にすることにより、自社の浄化設備への負荷を低減させる方法を提供すこと。
【解決手段】（１）シリコーン層を有する平版を前処理部、現像部、後処理部、水洗部を有する自動現像装置で現像する工程において、現像部および水洗部から排出された排水を活性炭のみを有する活性炭処理槽で吸着処理することを特徴とする現像方法。（２）活性炭処理槽で吸着処理した排水を自動現像装置の現像部および水洗部に再投入することを特徴とする上記（１）に記載の現像方法。（３）現像部および水洗部から排出された排水を排水貯蔵タンクに一定量貯めてから活性炭処理槽へ送ることを特徴とする上記（１）または（２）に記載の現像方法。 （もっと読む）

【課題】 酸性から中性領域で現像可能であり、その際に問題となる現像性、更に現像によって除去した保護層成分（現像カス）の分散安定性の問題を克服した平版印刷版の製版方法及び平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】 親水性支持体上に、（Ａ）増感色素、（Ｂ）重合開始剤、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダーポリマーを含有する感光層と、保護層とをこの順に有する平版印刷版原版を、レーザーで画像露光した後、ｐＨが２〜１０の現像液の存在下、保護層および非露光部の感光層を除去する平版印刷版の作製方法において、該保護層が、酸変性ポリビニルアルコールを保護層中の全固形分に対し５０質量％以上含有し、前記（Ｄ）バインダーポリマーが、親水性基として、カルボン酸基、スルホン酸基及びリン酸基から選択された少なくとも１つをアンモニウム塩の形で含有する平版印刷版の作製方法及び平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、赤外レーザ露光可能な平版印刷版材料を、地汚れ発生防止性（印刷汚れ発生防止性）に優れ、かつ、しかも耐刷性、にも優れて現像することができる平版印刷版材料の現像処理方法を提供することにある。
【解決手段】アルミニウム支持体の上にアルカリ可溶性樹脂を含有する感光性の画像形成層を有する平版印刷版材料を自動現像機で現像漕内にある回転するブラシローラーと現像液を用いて擦りながら搬送して現像処理する平版印刷版材料の現像処理方法において、該ブラシローラーを構成する植毛が剛性度が１２００ｋｇ／ｃｍ²〜５０００ｋｇ／ｃｍ²の熱可塑性樹脂で構成された発泡糸であり、且つ自動現像機内での平版印刷板材料の搬送速度Ｖｐ（ｃｍ／分）と、該ブラシローラーの回転周速Ｖｒ（ｃｍ／分）の関係が、Ｖｒ／Ｖｐ＝４〜２５であることを特徴とする平版印刷版材料の現像処理方法。 （もっと読む）

【課題】塗布欠陥の無い、長期間現像性が安定して使用可能な感光材料処理方法を提供することにある。特に菊四裁幅以上の感光材料を塗布欠陥を生じることなく安定に処理できる感光材料処理方法を提供することにある。
【解決手段】感光材料の先端部が液溜めに到達するまでの処理液供給量は設定供給量よりも多い量を供給し、感光材料の先端部が前記液溜めに到達した後、感光材料の搬送に伴い、処理液供給量を設定供給量から連続的に減少させることを特徴とする感光材料処理方法。 （もっと読む）

【課題】酸性から中性領域で現像可能であり、その際に問題となる現像性、更に現像によって除去した保護層成分（現像カス）の分散安定性の問題を克服した平版印刷版の製版方法及び平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】親水性支持体上に、（Ａ）増感色素、（Ｂ）重合開始剤、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダーポリマーを含有する感光層と、保護層とをこの順に有する平版印刷版原版を、画像露光した後、ｐＨが２〜８の現像液の存在下、保護層および非露光部の感光層を除去する平版印刷版の作製方法において、該保護層が、少なくとも１種の酸変性ポリビニルアルコールを保護層中の全固形分に対し５０質量％以上含有することを特徴とする平版印刷版の作製方法及び平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】液処理装置の液処理ステージからの処理液の持ち出しを最小限のものとし、かつ基板への処理むらの発生を防止する。
【解決手段】現像ステージＳｔ１の内部に長さ寸法が基板１の幅方向の全長より長い寸法を有する排液ノズル１１が設置されており、その噴射通路１３は搬送される基板１に対して４５度以下となり、噴射口１３ａは基板１に対して平行な整流化面１５に開口しており、整流化面１５と基板１の表面１ａとの間には、均一な隙間Ｇを有するスリット状の通路が形成され、噴射口１３ａより前方側の部位には噴射通路１３の傾斜角より小さい角度の空気呼び込み壁１６が形成されており、噴射通路１３から噴射された加圧空気が噴射口１３ａから噴射する際に、コアンダ効果により整流化面１５への密着性が高くなり、スリット状の通路内でほぼ確実に基板１の表面と平行な流れにとなる。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下を回避できる物体処理システム、物体処理方法、処理装置、基板処理方法及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】ウエハＷに第１処理を行うＣ／Ｄ装置５０と、前記ウエハＷに第２処理を行う露光装置１０とを備えたリソグラフィシステム１００であって、前記Ｃ／Ｄ装置５０と前記露光装置１０とを接続し、前記Ｃ／Ｄ装置５０と前記露光装置１０との間で情報を通信する通信装置ＣＳと、前記Ｃ／Ｄ装置５０から前記通信装置ＣＳを介して前記第１処理とは異なる第３処理を含む処理スケジュールに関する情報が通知されたときに、前記情報に基づいて前記露光装置１０において前記第２処理とは異なる第４処理を行わせる主制御装置１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下を回避できる物体処理システム、物体処理方法、処理装置、基板処理方法及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】ウエハＷに第１処理を行うＣ／Ｄ装置５０と、前記第１処理が行われて供給された前記ウエハＷに第２処理を行う露光装置１０とを備えたリソグラフィシステム１００であって、前記Ｃ／Ｄ装置５０と前記露光装置１０とを接続し、前記Ｃ／Ｄ装置５０と前記露光装置１０との間で情報を通信する通信装置ＣＳと、前記Ｃ／Ｄ装置５０から前記通信装置ＣＳを介して前記ウエハＷの供給のタイミングに関する情報が通知されたときに、前記情報に基づいて前記露光装置１０において前記第２処理とは異なる第３処理に切り替えて行わせる主制御装置１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】とくにｐＨ２．０〜１０．０の水性現像液で現像可能であり、非画像部の汚れを防止し、耐刷性に優れる平版印刷版原版およびその作製方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、少なくとも（Ａ）開始剤化合物、（Ｂ）重合性化合物および（Ｃ）主鎖および／または側鎖に正に荷電した窒素原子を有するバインダーポリマーを含有する感光層を設けてなる平版印刷版原版であって、前記支持体と接する該感光層または前記支持体と感光層との間に設けられる下塗り層が、前記（Ｃ）成分とは異なる（Ｄ）成分として、（ａ１）前記支持体表面と相互作用する官能基を少なくとも１つ有する繰り返し単位と、（ａ２）カチオン性基を少なくとも１つ有する繰り返し単位を有する共重合体を含有する平版印刷版原版及びその作製方法。 （もっと読む）

【課題】版品質の均等化と向上、作業員の労力負荷の低減化、生産効率の向上、人的コストと製版コストとの低減化を図る。
【解決手段】液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で未硬化樹脂を除去する樹脂回収装置３と、液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で洗浄する洗浄装置４と、液状版感光性樹脂凸版２を略水平状態で後露光する後露光装置５とを有する液状版感光性樹脂凸版の製版装置１において、樹脂回収装置３と洗浄装置４とが間隔を開けて対向配置されており間隔部分に後露光装置５が配置されているか、又は、樹脂回収装置３と洗浄装置４と後露光装置５とが並べて配置されており、樹脂回収装置３と洗浄装置４、洗浄装置４と後露光装置５とは、それぞれ液状版感光性樹脂凸版の搬送機構を介して連結されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】一定温度の塗布液を一気に且つ大量に塗布できる塗布液供給システムを提供する。
【解決手段】第２の循環経路３のポンプ８は常時駆動し、タンク１内の現像液の温度を一定に維持している。この状態で、第１の循環経路２のポンプ４を駆動し、ポンプ４で汲み出した現像液をスリットノズル６まで送り込む。このとき開閉弁７を閉じておくと、スリットノズル６内に供給された現像液はスリット状吐出口６ｄからカーテン状になって下方に流下し、被処理基板Ｗの表面に供給される。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの現像プロセスに使用されるアルカリ性の現像液のアルカリ濃度を高品質の現像処理が出来る様に調節する現像液の濃度調節方法および調製装置を提供する。
【解決手段】現像液の濃度調節方法では、現像液のアルカリ濃度および現像液中の炭酸塩濃度を測定し、現像処理して得られるＣＤ値が一定の値となる様な溶解能を発揮し得るアルカリ濃度と炭酸塩濃度との予め作成された関係に基づき、アルカリ濃度を調節する。また、現像液の調製装置は、調製槽、現像液を現像プロセスへ供給する供給ライン、使用済現像液を受け入れる回収ライン、新たな現像液原液を調製槽に供給する原液供給ライン、現像液のアルカリ濃度および現像液中の炭酸塩濃度を検出する濃度計、および、特定の関係に基づいて現像液原液の供給を制御する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】結晶物や剥離物等の異物を良好に捕捉する一方で、メンテナンスフリーやランニングコスト削減に貢献する。
【解決手段】剥離装置は、シャワーノズル１８を備えたチャンバ１０もつ処理部１と、薬液を貯溜するタンク２とを有し、このタンク２からシャワーノズル１８に薬液を送液しつつチャンバ１０内の使用済みの薬液をタンク２に回収して再使用するように構成される。チャンバ１０には、その内定部の一部に薬液の排出口１１が設けられ、さらに排出口１１と基板Ｓの処理位置（搬送ローラ１６の位置）との間の部分には、前記排出口１１よりも広い濾過面積をもつフィルタ部材２０が配備されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプの吐出圧力を必要以上に高くすることなく、定圧弁の二次側圧力若しくは二次側流量を一定に保って、定圧若しくは定流量の処理液の供給を実現できるようにすること。
【解決手段】処理液を貯留する処理液タンク３と、処理液を供給する処理液供給ノズル３６とを接続する配管２に、処理液タンク３から処理液を連続的に吐出するベローズポンプ４と、このベローズポンプ４の二次側に位置し、ベローズポンプ４による液流の脈動を抑制する定圧弁５と、を介設する処理液供給システムにおいて、配管２におけるベローズポンプ４の二次側に、ベローズポンプ４による液流の脈動の圧力低下を補完する気体を供給する気体供給源７を接続すると共に、この気体供給源７から配管２内に供給された気体を排出する気体抜き部８ａを有するフィルタ８を介設する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を幅方向に傾斜させて搬送するとともに、その上面全体を処理液によって均一に処理することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】所定の角度で傾斜しその傾斜方向と交差する方向に搬送される基板の上面を処理液供給装置３１から供給される処理液によって処理する基板の処理装置であって、
処理液供給装置は、基板の傾斜方向に沿って配置され内部に処理液が供給貯留される容器本体３２と、容器本体の下面に開口形成され内部に供給貯留された処理液を基板の搬送方向と交差する方向に沿って直線状に流出させるノズル孔４０と、容器本体の下面側に設けられ基板の搬送方向下流側に向かって低く傾斜した傾斜面４５を有するとともに、傾斜面の下端縁４５ａが搬送される基板の傾斜した上面と平行に離間対向するよう傾斜して形成されていて、ノズル孔から流出する処理液を傾斜面で受けて傾斜面の下端縁から基板の上面に供給するガイド部材４２を具備する。 （もっと読む）

【課題】環境および労働安全上好ましいｐＨ２〜１０の現像液を使用し、良好な現像性が得られ、しかも、画像強度が強く耐刷性も優れた平版印刷版を作製する方法を提供できる。
【解決手段】支持体上に画像記録層を有する平版印刷版原版を、画像様露光により露光部の画像記録層を硬化させた後、ｐＨ２〜１０の現像液の存在下、擦り部材にて擦りながら画像記録層未露光部の除去を行う平版印刷版の作製方法において、前記擦り部材の擦り力Ｆが、５（ｇ／ｍｍ）≦ Ｆ ≦１００（ｇ／ｍｍ）の範囲にあることを特徴とする平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上記従来の技術の欠点を克服し、自動現像機を用いて低補充量にて長期に亘ってランニング処理しても印刷汚れを防止し安定な現像処理が可能である感光性平版印刷版の現像処理液および処理方法を提供するものである。
【解決手段】支持体上に側鎖に重合性二重結合を有しかつカルボキシル基を有するポリマーを含有した少なくとも１層の光重合性感光層を有する感光性平版印刷版の現像処理液であって、少なくともアミノ酸およびその誘導体から選ばれる化合物を含有することを特徴とする平版印刷版の現像処理液。 （もっと読む）

【課題】水または水性の現像液による現像性に優れ、更に耐刷性にも優れた平版印刷版原版および平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、光重合開始剤、重合性化合物、および主鎖末端の少なくとも一方に親水性基を有しかつ酸価が０．３ｍｅｑ／ｇ以下のバインダーポリマーを含有する感光層を有することを特徴とする平版印刷版原版。該原版を用いた平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】液切りローラやエアーを用いることなく、処理液を供給する装置から処理液の持ち出し量を抑制することを目的とする。
【解決手段】基板Ｗの表面ＷＳに対して現像液を供給して表面処理を行う現像装置２０は、現像装置２０の内部で基板Ｗを水平方向に搬送させる搬送ローラ４０と、搬送ローラ４０により搬送される基板Ｗの全面に対して現像液を供給するシャワー５０と、現像装置２０の搬出口４２近傍に配置され、基板Ｗに対して斜め上方から基板Ｗの搬送方向の反対方向に向かって現像液を噴射することにより、基板Ｗの表面ＷＳに溜まった液溜まりを除去するスリットノズル６０と、を有している。現像液の押し出しにスリットノズル６０からの現像液を用いているため、乾燥によってムラが生じることはなく、メンテナンス作業も必要とならない。 （もっと読む）

【課題】 処理液圧送用のポンプの故障や循環経路に配設されたフィルターの目詰まりを減少させることができるとともに、基板への薄膜の再付着を防止することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】 シャワーノズル１１、１２から基板Ｗに供給され、処理膜を溶解して薄膜を含んだ処理液を回収した後、この処理液を遠心分離器４１に送液する。遠心分離器４１においては、薄膜を分離して処理液外に排出する。薄膜が分離された処理液は、再度、シャワーノズル１１、１２から基板に供給される。 （もっと読む）