【課題】開口が密に形成された領域と、疎に形成された領域とが混在する場合に、疎密いずれの領域においても、十分なＤＯＦマージンを確保することができる半導体装置の製造方法を提案する。
【解決手段】基板上の第１の領域に、第１の開口を有する第１のレジストパターンを形成し、該基板上の第２の領域に、第１の開口よりも開口幅が広い第２の開口を有する第２のレジストパターンを形成する工程と、該第２の領域にエネルギー線を照射する工程と、該第１の領域と該２の領域を含む表面に厚肉化材料を形成する工程と、該第１のレジストパターンと厚肉化材料との間のミキシングにより、第１の不溶解層を形成し、該第２のレジストパターンと厚肉化材料との間のミキシングにより、第１の不溶解層よりも厚さが厚い第２の不溶解層を形成する工程と、該第１の不溶解層および該第２の不溶解層を除く厚肉化材料を、選択的に除去する工程とを含む半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】分離された２つのリソグラフィ工程を用いて、微細パターンを提供する一つのマスクを製造する。
【解決方法】本発明は半導体素子の微細パターン形成方法に関し、特に被エッチング層を含む半導体基板を提供する段階と、被エッチング層の上部に第１フォトレジストパターンを形成する段階と、第１フォトレジストパターンを露光して第１フォトレジストパターンに酸を発生させる段階と、第１フォトレジストパターンをブリーチングして第1フォトレジストパターンを光に鈍感にさせる段階と、被エッチング層と光に鈍感になった第1フォトレジストパターンなどの上部に第２フォトレジストを形成する段階と、第２フォトレジストを露光して第２フォトレジストパターンを形成する段階とを含むものの、被エッチング層の上部に第１及び第２フォトレジストパターンを提供して素子の高集積化と歩留まりを改善できる技術である。 （もっと読む）

【課題】高品質のレリーフを短時間で形成することが可能な、品質と製造効率を両立させた印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】（ａ）少なくとも支持体および感光層を有する感光性印刷版原版の感光層に、画像マスクを介して活性光線を照射する工程、
（ｂ）前記感光層の活性光線未照射部を現像により除去してレリーフを形成する工程、
（ｃ）形成されたレリーフの少なくとも一部分をレーザー彫刻によって修正する工程、
を少なくとも含む印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光重合層を持つ感光材料シートの光重合層の重合を促進させるＵＶ後露光装置において、適切なＵＶ後露光処理を実施した後、過加熱による変形の発生を防止する感光材料処理装置を提供する。
【解決手段】感光材料シートの処理装置において、現像処理部（５）と、現像処理後にＵＶ露光するＵＶ後露光装置部（９）を有し、かつこのＵＶ後露光装置部（９）内に、前記シートを冷却する冷却手段（４８）が、上記シートの搬送路の両側に設けられる。 （もっと読む）

【課題】露光・現像の処理後に後露光処理を行う平版印刷版の作製方法において、露光により発生した感光層中のラジカルを失活化させる作用をもつ空気中の酸素による重合阻害の影響を抑制し、高感度で、未露光部と露光部の耐水性のディスクリミネーションを向上させ、耐刷性に優れた平版印刷版の作製方法及び該方法により作製された平版印刷版を提供する。
【解決手段】親水性支持体上に、（Ａ）増感色素、（Ｂ）ラジカル重合開始剤、（Ｃ）ラジカル重合性化合物および（Ｄ）バインダーポリマーを含有する感光層と、保護層とをこの順に有する平版印刷版原版を、レーザー露光した後、前記保護層および非露光部の感光層を除去する現像処理をし、続いて、平版印刷版の表面に残っている感光層露光部の上を液体の層で覆い、ラジカル重合を起こさせる波長の光で全面露光を行うことを特徴とする平版印刷版の作製方法及び該方法により作製された平版印刷版。 （もっと読む）

【課題】着色硬化樹脂パターンにおいて、解像度の高いポジ型着色感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、キノンジアジド化合物（Ｂ）および着色剤（Ｃ）を含有するポジ型着色感放射線性樹脂組成物において、硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位（ａ１）およびオキセタニル基を有する不飽和化合物から導かれる構成単位（ａ２）を含む共重合体であるポジ型着色感放射線性樹脂組成物［ただし、構成単位（ａ２）に導くオキセタニル基を有する不飽和化合物が不飽和カルボン酸であることはない］。 （もっと読む）

【課題】混色や白抜けがなく、且つ平坦な画素を形成することができ、表示装置化した際の高いコントラスト、良好な色ムラ抑制効果が得られる、高品位なカラーフィルターの製造方法提供すること。
【解決手段】基板上に複数の画素と隣接する画素間に隔壁とを有するカラーフィルターの製造方法であって、少なくとも下記ａ），ｂ）およびｃ）の工程をこの順に有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
ａ）基板上に樹脂組成物からなる隔壁を形成する工程
ｂ）隔壁を形成した基板にプラズマ処理を施す工程
ｃ）基板上に形成された前記隔壁の間隙に、少なくともＣ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４と、溶剤と、界面活性剤と、重合性基を２つ以上有するモノマーと、を含有するインクジェット用インクをインクジェット法にて付与して画素を形成する工程 （もっと読む）

【課題】
製版工程における水現像性と画像再現性に優れた感光性樹脂組成物およびそれから得られる感光性樹脂凸版材を提供すること。
【解決の手段】
（１） 少なくとも可溶性合成高分子化合物、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤を基本成分とする感光性樹脂凸版組成物であって、該可溶性高分子化合物が、(Ａ) 主鎖に対してメチル基が分岐した炭素数が６〜９の脂肪族ジアミン、（B）ピペラジン環を有するジアミン及び(Ｃ)ジイソシアネート化合物との反応で得られる付加重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。（２）前記可溶性高分子化合物が（Ａ）成分を全ジアミン量[（Ａ）＋（Ｂ）]に対して２０％〜５０重量％含有することを特徴とする（１）に記載の感光性樹脂組成物。（３）（１）又は（２）に記載の感光性樹脂凸版組成物から得られる感光性樹脂凸版材。 （もっと読む）

【課題】製版工程における水現像性と画像再現性に優れた感光性樹脂組成物およびそれから得られる感光性樹脂凸版材を提供すること。
【解決手段】（１）少なくとも可溶性合成高分子化合物、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤を基本成分とする感光性樹脂凸版組成物であって、該可溶性高分子化合物が、ジアミンとジイソシアネート化合物との付加重合体であり、且つ該付加重合体中にゲル化物含有率が０．５重量％以下であることを特徴とする感光性樹脂凸版組成物。（２）可溶性合成高分子化合物が有機酸存在下にジアミンとジイソシアネート化合物との付加重合によって得られる可溶性合成高分子化合物であることを特徴とする（１）に記載の感光性樹脂凸版組成物。（３）（１）又は（２）に記載の感光性樹脂凸版組成物から得られる感光性樹脂凸版材。 （もっと読む）

第１のレジスト層（１２）を基板（１０）上にコーティングすることによってマイクロ構造デバイスを製造する方法。レジストの放射線誘導熱除去によって、パターンが基板上に形成される。
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【課題】感光性転写材料によって形成された感光性樹脂層を露光後に現像する場合、現像後の現像残渣の低減が可能な現像液とそれを用いた画像形成方法の提供。
【解決手段】転写された感光性樹脂層を露光後に、アルカリ現像液により現像して画像形成する工程を設け、前記アルカリ現像液に炭酸塩と陰イオン界面活性剤とを含有せしめ、前記炭酸塩がナトリウムイオン及び／又はカリウムイオンを含有させ、かつ、該炭酸塩の濃度を０．０４〜０．５モル／ｋｇとし、前記陰イオン界面活性剤に、ナフタレンスルホン酸誘導体塩（Ａ）とポリオキシエチレンナフチルエーテル硫酸塩（Ｂ）とを含有させ、かつ、（Ａ）と（Ｂ）の合計質量に対する（Ｂ）の質量の割合を２０質量％〜６０質量％とする。 （もっと読む）

【課題】透明性が高く、印刷版としたときのオゾン耐性が高く、印刷時に白抜き線近傍に発生する端部カスレの高い抑制性能を同時に満たす感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（ａ）アルキレン単位を含むブロック共重合体、（ｂ）イソプレンを含む重合体ブロックを含有する、実質的に非水素添加のブロック共重合体、（ｃ）光重合性モノマーおよび（ｄ）光重合開始剤を含有し、ブロック共重合体（ａ）中のアルキレン単位が５〜４５ｗｔ％で、且つブロック共重合体（ａ）とブロック共重合体（ｂ）の質量比率（ａ）／（ｂ）が、０．５〜１０である感光性樹脂組成物及びそれを用いたフレキソ印刷用感光性樹脂構成体。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、発光波長が３５０ｎｍから４５０ｎｍの範囲にあるレーザー光での露光に適し、良好なセーフライト性を有すると共に、耐刷性、リニアリティ及び印刷性能に優れる感光性平版印刷版材料の処理方法およびこれに用いられる感光性平版印刷版材料を提供することにある。
【解決手段】支持体上に、付加重合可能なエチレン性二重結合含有化合物、光重合開始剤、高分子結合材を含有する感光層を有する感光性平版印刷版材料を画像露光し、現像処理を行う処理方法であって、該感光層が、さらに酸化チタン粒子及び該画像露光に用いられる露光光の波長未満の波長を有する活性光線で重合を開始し得るポリハロゲン化合物を含有し、該現像処理の後、該画像露光に用いられる露光光の波長未満の波長を有する活性光線で露光する工程を有することを特徴とする感光性平版印刷版材料の処理方法。 （もっと読む）

【課題】より少ないドットゲイン量を示すフレキソ印刷版を作製するための表面処理方法および製版方法を提供すること。
【解決手段】１）裏露光、２）主露光、３）現像、４）乾燥の後に、５）波長２００〜３００ｎｍの紫外線を３．６Ｊ／ｃｍ^２以上照射する表面処理を行うことを特徴とするフレキソ印刷版の製版方法。 （もっと読む）

【課題】得られる樹脂膜の耐熱形状保持性に優れ、パターン化樹脂膜を形成する際のメルトフロー時の温度マージンが広く、しかもレジスト材としても好適に用い得る感放射線性樹脂組成物、基板とこの上に積層された前記感放射線性樹脂組成物からなる樹脂膜とからなる積層体、及び、この積層体の製造方法を提供すること。
【解決手段】主鎖に環状構造を有する環状オレフィン系重合体１００重量部、感放射線性化合物１〜１００重量部及びブロックされたイソシアネート基を有するブロック型ポリイソシアネート化合物５〜８０重量部を含有してなる感放射線性樹脂組成物；基板と、この上に積層された前記感放射線性樹脂組成物からなる樹脂膜と、からなる積層体；前記感放射線性樹脂組成物を用いて樹脂膜を基板上に形成する工程を有する積層体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】酸素によるラジカル光重合の阻害を防止して少ない光量で平版刷版の全面露光を行って後露光処理を可能とする。
【解決手段】現像処理されて平版刷版１０の表面に画像を形成するように残っている画像記録層の上をガム液の溶媒を含む成分の層で覆って酸素を遮断する状態で、ラジカル光重合を起こさせる波長の光で全面露光を行うことにより、酸素による重合阻害の影響を受けることなくラジカル重合反応を残らず進めるようにして、画像を形成している画像記録層全体をポリマー化して硬化し、平版刷版１０の耐刷性を向上する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性を有するレリーフ構造体を製造可能であり、高い感度を有する感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】末端に−ＳＯ₂ＮＨ−を含む基を有するポリベンゾオキサゾール前駆体及び感光剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物及び該組成物を用いた半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

（ａ）親水性表面を有する平版印刷基材と、（ｂ）前記親水性表面上の輻射線感受性コーティングとを含み、前記輻射線感受性コーティングが、（ｉ）遊離基重合し得る少なくとも１つのエチレン不飽和基をそれぞれ含む１種または２種以上のモノマーおよび／またはオリゴマーおよび／またはポリマー、（ii）少なくとも１種の増感剤、および（iii）増感剤（ii）と共に遊離基を形成することのできる、メタロセン以外の少なくとも１種の共開始剤を含み、前記少なくとも１種の増感剤が、式（Ｉ）：


（式中、Ｒ₉ 〜Ｒ₁₂のうちの少なくとも１つは、少なくとも５５ų のファンデルワールス体積を有する嵩高い基である）により表わされる化合物を含むことを特徴とする平版印刷版前駆体。
（もっと読む）

【課題】ＵＶ露光、特に青紫色レーザー露光に対し高感度の画像形成が可能で、優れた表面硬度、耐熱性、絶縁信頼性、及び耐薬品性などを発現し、高精細な永久パターン及びその効率的なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）バインダーと、（Ｂ）重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）熱架橋剤と、を少なくとも含む感光性組成物を用いて得られた感光層を含むパターン形成材料を用いて、該感光層に対し、第一の露光処理を行う工程と、該第一の露光後に前記感光層を現像する工程と、現像により形成されるパターンに対して更に第二の露光を行った後、引き続き加熱処理による硬化処理を行う工程とを少なくとも含み、前記第一の露光に用いる露光エネルギーが０．１〜８０ｍＪ／ｃｍ^２であり、かつ、第二の露光に用いる露光エネルギーが第一の露光エネルギーの４〜１００倍であるパターン形成方法及びパターンである。 （もっと読む）

【課題】酸素によるラジカル光重合の阻害を防止して少ない光量で平版刷版の全面露光を行って後露光処理を可能とする。
【解決手段】現像処理されて平版刷版１０の表面に画像を形成するように残っている画像記録層の上を液体の層で覆って酸素を遮断する状態で、ラジカル光重合を起こさせる波長の光で全面露光を行うことにより、酸素による重合阻害の影響を受けることなくラジカル重合反応を残らず進めるようにして、画像を形成している画像記録層全体をポリマー化して硬化し、平版刷版１０の耐刷性を向上する。 （もっと読む）