【解決手段】高分子化合物を含む第１のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第１のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて上記レジスト膜を現像して第１のレジストパターンを形成し、その後波長１８０ｎｍ以下の高エネルギー線又は電子線の照射によって第１のレジストパターンを架橋硬化させ、その上に高分子化合物を含む第２のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第２のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記第２のレジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて第２のレジスト膜を現像して第２のレジストパターンを形成するパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、第１のレジストパターンのスペース部分に第２のレジストパターンを形成することによってパターンとパターンのピッチを半分にするダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングで基板を加工できる。 （もっと読む）

【課題】流路などの微小セル構造を積層形成するための１０μｍ以下の大きさの複数のマイクロパターン部材を有するマイクロパターン複合材であって、各層の位置合わせを容易とし、確実に接着することを可能とするマイクロパターン形成用材料を提供する。
【解決手段】マイクロパターン部材５Ａを形成するためのマイクロパターン形成用材料であって、第１のトリガーが部分的に与えられることにより部分的に硬化し、かつ部分的に硬化した部分以外の部分が除去された後に、第１のトリガーとは異なる第２のトリガーが与えられることにより硬化し、かつ接着性を発現するマイクロパターン形成用材料。 （もっと読む）

【課題】本発明は、印刷フォームとして使用される、円筒状に成形された感光部材を作製するための方法を提供すること。
【解決手段】この方法は、感光性層を支持体に接触させる前に、感光性層および／または円筒状に成形された支持体を予熱するステップを含む。感光性層を積層して、隣接する端部を一緒に封止し融着して、円筒形感光部材を形成する。 （もっと読む）

【課題】紫外線透過窓の取り外しや、紫外線源の位置調整を行う必要を実質的に無くすような、連続的自動制御可能な紫外線樹脂硬化装置内部の乾式洗浄方法。
【解決手段】乾式洗浄機能付き紫外線樹脂硬化装置１００は、硬化用筐体１０内部に酸素ボンベ５０から酸素を供給しながら、紫外線透過窓２０を介して紫外線源３０から波長約１８５ｎｍ及び２５４ｎｍの紫外線を照射する。これにより、硬化用筐体１０内部の酸素分子から、オゾンや高エネルギー状態の¹Ｄ状態の酸素原子が生成し、紫外線透過窓２０の内面２０１に付着した有機物から成る汚れ７を低分子成分に分解する。汚れ７から生成した低分子成分は、酸素分子と共に排気手段６０に排出される。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射処理からスムージング処理までの時間を安定化させると共に、処理時間の短縮を図り、かつ、装置の小型化を図れるようにした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】表面にレジストパターンが形成され、露光処理され現像処理されたウエハＷを処理する基板処理装置において、ウエハの表面を上面にして保持する基板保持台５２と、レジストパターンを膨潤させる溶剤蒸気をウエハの表面に向けて吐出する溶剤蒸気吐出ノズル５３と、レジストパターンの溶解阻害性保護基を分解するための紫外線をウエハの表面に向かって照射する紫外線照射体５４と、基板保持台と、溶剤蒸気吐出ノズル及び紫外線照射体とを相対的に平行移動する移動機構５５とを具備し、ウエハ表面のレジストパターンに紫外線照射体から紫外線を照射した後、溶剤蒸気吐出ノズルから溶剤蒸気を吐出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、単一波長のレーザー光でコンタクトコピーを試みても、体積ホログラムの模倣を困難とする体積ホログラム積層体および簡易な工程で製造できるその製造方法の提供を課題とする。
【解決手段】本発明の体積ホログラム積層体は、基材上に部分的に樹脂層が設けられると共に、該樹脂層上に隣接し、かつ前記基材上に体積ホログラム層が積層された体積ホログラム積層体であって、前記樹脂層には体積ホログラムが形成されると共に、体積ホログラム積層体における樹脂層が設けられた部分と樹脂層が設けられていない部分とで再生中心波長が相違するものである。 （もっと読む）

【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供することである。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供することである。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、カルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 （もっと読む）

【解決手段】ナフトールを有する繰り返し単位と酸によってアルカリ溶解性が向上する繰り返し単位とを共重合した高分子化合物を含む第１のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第１のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で露光し、現像し、その後波長２００ｎｍ以下の高エネルギー線の照射によって第１のレジスト膜を架橋硬化させ、その上に第２のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第２のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で露光し、現像する工程を有するパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、第１のポジ型レジスト材料で、第１のパターンを形成後、これをアルカリ現像液とレジスト溶液に不溶化する。その上に更に第２のレジスト材料を塗布、露光現像することにより、パターン間のピッチを半分にするダブルパターニングを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を抑えつつ、レジスト膜のエッチング耐性を向上させることの可能な半導体装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】
レジスト膜９７からなるパターンマスク、反射防止膜９６及び被エッチング膜９０２が上からこの順に積層された積層体９０１を備えた被処理基板Ｗを気密な第１の処理容器２内に搬入し、レジスト膜９７のエッチング耐性を向上させるが反射防止膜９６にはエッチング耐性を与えない程度のエネルギーで被処理基板の表面に対して真空雰囲気下で電子線を照射し、その後、前記被処理基板を気密な第２の処理容器３内に搬送し、パターンマスクを介して反射防止膜９７及び被エッチング膜９０２をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】所謂「アナログ型フレキソ印刷版（コンベフレキソ版）」をコンピューターから画像情報を直接出力できるリスフィルム不使用の「デジタル型フレキソ印刷版（フレキソＣＴＰ）」に変換することができる製版方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に設けられた感光性樹脂層上に静電式インクジェット法により、露光する光を吸収又は反射する着色粒子を含む油性インクを吐出して画像マスクを形成した後、該画像マスクを介して該感光性樹脂層を露光し、現像するフレキソ印刷版の製版方法であって、該感光性樹脂層が光重合性、光架橋性の少なくともいずれかであることを特徴とする製版方法。 （もっと読む）

【解決手段】７−オキサノルボルナン環を有する繰り返し単位と、酸によってアルカリ現像液に可溶になる繰り返し単位とを有する高分子化合物、及び酸発生剤を含むポジ型レジスト材料を基板上に塗布してレジスト膜を形成する工程と、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光する工程と、加熱処理後に現像液を用いて上記レジスト膜を現像する工程と、その後に酸及び／又は熱によってレジスト膜を架橋硬化させる工程とを有することを特徴とするパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、上記方法でレジスト材料を用いてパターン形成することにより、第１のパターンのスペース部分に第２のパターンを形成することによってパターンとパターンのピッチを半分にするダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングによって基板を加工することができる。 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂層とマスク層とを有する凸版印刷版製造用多層積層体から凸版印刷版を製造する凸版印刷版の製造方法であって、マスク層が除去された部位の感光性樹脂層が空気中の酸素の影響を受けず、現像後に微細で良好なパターンを有する凸版印刷版を得ることができる凸版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）支持体上に、（Ｂ）感光性樹脂層と、（Ｃ）少なくとも１種の赤外線吸収性物質を含むマスク層とが、この順に積層されてなる凸版印刷版製造用多層積層体から凸版印刷版を製造する凸版印刷版の製造方法であって、前記感光性樹脂層上に残存膜を残しつつ、前記マスク層を赤外線レーザー光で選択的に除去してパターニングする工程と、パターニングされた前記マスク層を介して前記感光性樹脂層を紫外線で露光する工程と、前記マスク層を除去すると共に、露光後の前記感光性樹脂層を現像する工程と、を含む、凸版印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂層とマスク層とを有する凸版印刷版製造用多層積層体において、露光時に、感光性樹脂層に対する空気中の酸素の影響を低減でき、現像後に良好なパターンを得ることができる凸版印刷版製造用多層積層体、及びこれを用いて行う凸版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）支持体上に、（Ｂ）感光性樹脂層と、（Ｃ）マスク層と、がこの順に積層されてなり、前記マスク層が、（ａ）少なくとも１種の赤外線吸収性物質、（ｂ）少なくとも１種の紫外線吸収性物質、及び（ｃ）ポリビニルブチラールを含む、凸版印刷版製造用多層積層体。 （もっと読む）

【課題】高い感放射線感度を有し、耐熱性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 本発明は、［Ａ］カルボキシル基およびカルボン酸無水物基よりなる群から選択される少なくとも１種の基、オキシラニル基およびオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１種の基、ならびに下記式（１）


（式（１）中、Ｒ^Ｉはメチレン基または炭素数２〜１０のアルキレン基もしくはアルキルメチレン基であり、Ｙは単結合、−ＣＯ−、−Ｏ−ＣＯ−^＊（ただし、「＊」を付した結合手がＲ^Ｉと結合する。）または−ＮＨＣＯ−^＊（ただし、「＊」を付した結合手がＲ^Ｉと結合する。）であり、ｎが２〜１０の整数であってＸが１個または複数個のエーテル結合を有していてもよい炭素数２〜７０のｎ価の炭化水素基であり、「＋」は結合手であることを表す。）
で表されるｎ価の基を有する重合体、ならびに［Ｂ］１，２−キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物に関する。 （もっと読む）

【課題】ダブルパターニング法における工程数を低減できる新規なパターン形成方法、及び該パターン形成方法に好適に用いられる被覆膜形成用材料を提供する。
【解決手段】支持体１上に、ポジ型レジスト組成物を塗布してレジスト膜２を形成する工程と、前記レジスト膜２を、マスクパターンを介して選択的に露光し、現像してレジストパターン３を形成する工程と、前記レジストパターン３の表面に、水溶性樹脂組成物からなる被覆膜形成用材料を用いて被覆膜４を形成する工程と、前記被覆膜４により被覆された前記レジストパターン５を露光し、現像して、前記被覆膜４成分よりなるパターン５を形成する工程と、を含むパターン形成方法により、微細なパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】配線の線幅が10μm程度で、高アスペクト比のプリント基板を製造することができるスクリーン印刷用版、その製造方法、及び前記スクリーン印刷用版の製造に使用する感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（１）式（I）で表される構造単位を含むメタクリレート系共重合体と、


（２）光ラジカル開始剤と、（３）少なくとも光ラジカル開始剤にラジカルを発生させる光とは波長領域が異なる光の照射によって酸を発生する光酸発生剤と、（４）ラジカルにより架橋反応する架橋剤とを含む感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】酸性から中性域で現像可能であり、そして、その際に問題となる現像性、更に現像によって除去した感光層成分（現像カス）の分散安定性の問題を克服した平版印刷版用現像処理液及び平版印刷版の製版方法を提供する。
【解決手段】分子内に、（ａ１）ポリオキシアルキレン鎖を有する基と、（ａ２）カチオン性基と、（ａ３）アニオン性基とが共有結合で結合した化合物を含有することを特徴とする平版印刷版用現像処理液及び該処理液を用いた平版印刷版の製版方法。 （もっと読む）

【課題】感光性素子から床部上のレリーフ面を有する印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】この方法は、化学線源のエネルギー密度に対する素子の床部の厚さまたは１つまたは複数のレリーフ画像特性などの硬化応答性を測定することによってステップ露光テストから感光性素子の重合率曲線を作成するステップを含んでいる。この方法は、化学線源に使用されるランプの光強度の変化を考慮に入れたエネルギー密度に基づいて感光性素子を化学線源に露光する。 （もっと読む）

【課題】版品質の均等化と向上、作業員の労力負荷の低減化、生産効率の向上、人的コストと製版コストとの低減化を図る。
【解決手段】液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で未硬化樹脂を除去する樹脂回収装置３と、液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で洗浄する洗浄装置４と、液状版感光性樹脂凸版２を略水平状態で後露光する後露光装置５とを有する液状版感光性樹脂凸版の製版装置１において、樹脂回収装置３と洗浄装置４とが間隔を開けて対向配置されており間隔部分に後露光装置５が配置されているか、又は、樹脂回収装置３と洗浄装置４と後露光装置５とが並べて配置されており、樹脂回収装置３と洗浄装置４、洗浄装置４と後露光装置５とは、それぞれ液状版感光性樹脂凸版の搬送機構を介して連結されている構成とする。 （もっと読む）