説明

Fターム[2H096HA03]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 現像後の処理 (2,818) | 一様露光(後露光) (215)

Fターム[2H096HA03]に分類される特許

101 - 120 / 215


【課題】高い精細性とベタ部の高い濃度をバランスよく印刷でき、かつ版面のインキ汚れを長期間防止し、版拭きなどの印刷作業時の煩雑な操作を極力防止できる感光性樹脂版の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光工程、現像工程および後露光工程を含む凸版印刷用水現像感光性樹脂版の製造方法であって、露光工程以降に変性シリコーン化合物および/またはフッ素化合物を含有する液と感光性樹脂版を接触させることを含む、上記方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】永久膜として使用される感光性熱硬化性樹脂組成物において、パターン形成後、加熱接着時の流動性に優れ、接着性が良好な樹脂層を形成できる技術を提供すること。
【解決手段】(A)フェノール性水酸基又はカルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)キノンジアジド基を有する化合物と、(C)(c1)アルキルエーテル化したアミノ基を有する化合物、(c2)エポキシ樹脂および(c3)オキセタン樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の架橋剤を含有するポジ型感光性接着剤組成物を基板に塗布し、プレベークした後、選択的に露光し、次いでアルカリ現像してレジストパターンを形成し、さらに加熱または露光した後、前記基板のレジストパターン形成面に被着体をプレスすることにより、基板と被着体とを接着させる接着方法。 (もっと読む)


【課題】高い精細性とベタ部の高い濃度をバランスよく印刷でき、かつ版面のインキ汚れを長期間防止し、版拭きなどの印刷作業時の煩雑な操作を極力防止できる感光性樹脂版の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光工程、現像工程および後露光工程を含む凸版印刷用水現像感光性樹脂版の製造方法であって、露光工程以降に変性シリコーン化合物および/またはフッ素化合物を含有する液と感光性樹脂版を接触させることを含む、上記方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】高い精細性とベタ部の高い濃度をバランスよく印刷でき、かつ版面のインキ汚れを長期間防止し、版拭きなどの印刷作業時の煩雑な操作を極力防止できる感光性樹脂版の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光工程、現像工程および後露光工程を含む凸版印刷用水現像感光性樹脂版の製造方法であって、露光工程以降に変性シリコーン化合物および/またはフッ素化合物を含有する液と感光性樹脂版を接触させることを含む、上記方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】24℃で2週間放置してもエッジフュージョンが発生せず、輸送時の移動や30cmの高さからの落下においても巻きズレが生じることなく、60〜90℃において気泡が入ることなく1μm〜40μmの段差の埋め込みができる感光性フィルム等の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に感光層を少なくとも有し、感光層が、架橋性基を有するバインダーを少なくとも含有する感光性組成物からなり、バインダーに架橋性基を導入するための触媒の残存量が200ppm以下であり、24℃における溶融粘度が1.0×10Pa・s〜1.0×10Pa・sであり、かつ60〜90℃における溶融粘度が1.0×10Pa・s〜5.0×10Pa・sであり、感光性フィルムをロール状に巻回してロール体とする際の巻き取りテンションが1.6kg/10cm以上であり、前記ロール体の両端面に端面押さえを有する感光性フィルムである。 (もっと読む)


【課題】乾燥後の塗膜が指触乾燥性に優れ、接触露光を行っても、露光時にフォトツールの張り付き等の問題のない光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、並びに該ドライフィルムや硬化物によりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供する。
【解決手段】光硬化性樹脂組成物は、セルロース誘導体(A)を含有する。好適には、上記セルロース誘導体(A)は溶剤可溶性であり、またそのガラス転移温度Tgは100℃以上であることが好ましい。さらに、光硬化性樹脂組成物はアルカリ現像性であることが好ましい。光硬化性のドライフィルムは、前記光硬化性樹脂組成物を、キャリアフィルムに塗布・乾燥して得られる。さらに、前記光硬化性樹脂組成物又はドライフィルムを、光硬化させた後、熱硬化して得られる硬化皮膜を有するプリント配線板も提供される。 (もっと読む)


【課題】膜厚の減少及びクラックの発生を抑制しながら、パターニングされたシリカ系被膜を優れた解像性で比較的容易に形成することを可能にする感光性樹脂組成物を製造する方法の提供。
【解決手段】(a)成分:下記一般式(1)で表される1種以上のシラン化合物を加水分解縮合して得られる縮合体であるシロキサン樹脂と、(b)成分:前記シロキサン樹脂を溶解する溶媒と、(c)成分:ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとを含有する溶液を、30℃〜140℃に加熱する工程を備える、感光性樹脂組成物の製造方法。
SiX4−n(1)[式(1)中、nは0〜2の整数を示し、Rは置換基を有していてもよい炭素数1〜20の炭化水素基等を示し、Xは加水分解性基を示す。] (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、銀錯塩拡散転写法を応用した平版印刷版を製版してから長時間経過した後に印刷する際、発生するインキ乗り性の低下を改善する平版印刷版の処理方法を提供することにある。
【解決手段】支持体上にハロゲン化銀乳剤層及び物理現像核層を少なくともこの順に塗布されてなる銀錯塩拡散転写法を応用した平版印刷版の処理方法において、製版した後の平版印刷版の銀画像を形成させた側の面に紫外線照射処理を施すことを特徴とする平版印刷版の処理方法。 (もっと読む)


【課題】ショアA硬度25度を下回る樹脂版硬度において、実用印刷操作に耐え得る機械強度を実現し得るフレキソ印刷版用感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】主鎖末端がメタクリル基で修飾された不飽和ポリウレタンプレポリマー:100質量部、エチレン性不飽和モノマー:10〜150質量部、光重合開始剤:0.01〜10質量部、を含み、前記不飽和ポリウレタンプレポリマーの下記式(1)で求められるメタクリル基指数の範囲が1.50〜1.85であるフレキソ印刷版用感光性樹脂組成物。
メタクリル基指数 = X/(8500/Y) 式(1)
(式中、Xは前記不飽和ポリウレタンプレポリマー中のメタクリル基含有率(%)を表し、Yは前記不飽和ポリウレタンプレポリマーの数平均分子量を表す。) (もっと読む)


【課題】 感光性フィルムの表面を効率的に粗面化できる感光性フィルムの粗面化処理方法、及び該処理方法によって処理された感光性フィルムの提供。
【解決手段】 本発明の感光性フィルム2の粗面化処理方法は、透明支持体1上に形成された感光性フィルム2を、該感光性フィルム2が接するように、基体3上に積層する積層工程と、該基体4上に積層された感光性フィルム2を、該透明支持体1を介して露光する露光工程と、該透明支持体1を露光後の感光性フィルム2から剥離し、該感光性フィルム2を現像する現像工程と、現像後の感光性フィルム2の表面を、粗面化する粗面化工程と、を有する。粗面化工程は、例えば、プラズマ処理により行う。感光性フィルム2の表面粗さRa値は、0.05μm〜0.2μmが好ましい。 (もっと読む)


【課題】絶縁信頼性及びメッキ耐性を向上することができる感光性組成物、感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板の提供。
【解決手段】本発明の感光性組成物は、バインダー、重合性化合物、熱架橋剤、フィラー、及び光重合開始剤を含有してなり、バインダー、重合性化合物、及び熱架橋剤の混合物のI/O値の重量平均が0.70以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】屈折率、可視領域での透明性、及び耐熱性に優れるマイクロレンズ及びマイクロレンズ用感光性組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構成単位を有する重合体(A)、光酸発生剤(B)、硬化剤(C)、及び溶剤(D)を含有する感光性組成物を用いて形成されるマイクロレンズ。


[式(I)中、R1は、水素原子、ハロゲン原子で置換されていてもよいC1-12の炭化水素基、又はC7-12のアラルキル基を示す。] (もっと読む)


【課題】屈折率、可視領域での透明性、及び耐熱性に優れるマイクロレンズ及びマイクロレンズ用感光性組成物を提供する。
【解決手段】式(I)で表される構成単位を有する重合体(A)、重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)、及び溶剤(D)を含有する感光性組成物を用いて形成されるマイクロレンズ。


[式(I)中、R1は、水素原子、ハロゲン原子で置換されていてもよいC1-12の炭化水素基、又はC7-12のアラルキル基を示す。] (もっと読む)


【課題】層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、かつ保存安定性に優れると共に、形成されるシリカ系被膜が耐熱性、クラック耐性、解像性及び透明性に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】
(a)成分:下記一般式(1)で表される化合物を含む第1のシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、(b)成分:第1のシラン化合物とは異なる第2のシラン化合物、又はこれを加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、(c)成分:(a)及び(b)成分が溶解する溶媒と、(d)成分:ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとを含有し、pHが5.0〜7.0である感光性樹脂組成物。



式(1)中、Rは有機基を示し、Aは2価の有機基を示し、Xは加水分解性基を示し、同一分子内の複数のXは同一でも異なっていてもよい。 (もっと読む)


【解決手段】被加工基板上に、酸不安定基を持つ繰り返し単位を有し、アルカリ現像液に可溶になる樹脂、光酸発生剤又は光酸発生剤と熱酸発生剤、及び有機溶剤を含有する化学増幅ポジ型レジスト膜形成用組成物を塗布し、プリベークしてレジスト膜を形成する工程、該レジスト膜に高エネルギー線を照射し、露光後加熱し、露光部の樹脂の酸不安定基に脱離反応を行わせた後、アルカリ現像液で現像してポジ型パターンを得る工程、ポジ型パターンを露光もしくは加熱して上記樹脂の酸不安定基を脱離させてアルカリ溶解性を向上させ、かつ該樹脂に架橋を形成させて、反転用膜形成用組成物に使用される有機溶剤に対する耐性を与える工程、反転用膜形成用組成物を用いて反転用膜を形成する工程、ポジ型パターンをアルカリ性ウェットエッチング液で溶解除去する工程を含むポジネガ反転を用いたパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、ポジ型レジストパターンにダメージを与えることなく、その間隙に反転用膜材料を埋め込むことができ、簡易な工程で高精度なポジネガ反転を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 熱架橋剤としてエポキシ化合物を含み、保存安定性に優れる感光性組成物等の提供。
【解決手段】 本発明の感光性組成物は、バインダーと、光重合開始剤と、不飽和二重結合を少なくとも1つ有する重合性化合物と、熱架橋剤と、を含み、イオン交換樹脂を用いてイオン交換処理が施されていることを特徴とする。前記光重合開始剤は、例えば、オキシム誘導体からなる。前記イオン交換樹脂は、例えば、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を混合してなるイオン交換樹脂からなる。該イオン交換処理は、例えば、バッチ法により行う。 (もっと読む)


【解決手段】フェノール基含有繰り返し単位と酸によりアルカリ溶解性が向上する繰り返し単位とを共重合してなる高分子化合物を含む第1のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第1のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で露光し、加熱処理後に現像液で現像し、その後波長300nm以下の高エネルギー線の照射により第1のレジスト膜を架橋硬化させ、その上に第2のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第2のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記第2のレジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて第2のレジスト膜を現像する工程を有するパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、上記第1のポジ型レジスト材料で第1のパターンを形成後不溶化し、その上に第2のレジスト材料を塗布し、第1パターンのスペース部分に第2パターンを形成することでダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングで基板を加工できる。 (もっと読む)


【課題】一回のスクリーン印刷で場所により異なる厚みのペースト材の印刷が可能な段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法であって、開口部の位置ずれがなく精度良く簡便に作製することのできる段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法を提供することである。
【解決手段】スクリーン印刷用マスク1のプリント面に光架橋性樹脂層3をラミネートする工程、開口部2の光架橋性樹脂層3をセルフアライメントで除去する工程、パターン露光及び現像を行って厚み増加領域以外の領域の光架橋性樹脂層3の除去を行う工程、を含むことを特徴とする段差付きスクリーン印刷用マスク1の作製方法。 (もっと読む)


【課題】 ブラックマトリックスのプラズマ処理において、高い親液プラズマ耐性を有するインクジェット法カラーフィルター用ブラックマトリックスを提供する。
【解決手段】 少なくとも色材、バインダー樹脂および溶媒を含むインクジェット法カラーフィルター用ブラックマトリックス形成用組成物であって、該組成物から溶媒を除いた固形分の軟化点が110℃以下であることを特徴とする、インクジェット法カラーフィルター用ブラックマトリックス形成用組成物。 (もっと読む)


【解決手段】高分子化合物を含む第1のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第1のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて上記レジスト膜を現像して第1のレジストパターンを形成し、その後波長180nm以下の高エネルギー線又は電子線の照射によって第1のレジストパターンを架橋硬化させ、その上に高分子化合物を含む第2のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第2のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記第2のレジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて第2のレジスト膜を現像して第2のレジストパターンを形成するパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、第1のレジストパターンのスペース部分に第2のレジストパターンを形成することによってパターンとパターンのピッチを半分にするダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングで基板を加工できる。 (もっと読む)


101 - 120 / 215