説明

Fターム[2H096HA03]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 現像後の処理 (2,818) | 一様露光(後露光) (215)

Fターム[2H096HA03]に分類される特許

41 - 60 / 215


【課題】1mm未満の版厚の樹脂凸版印刷版でも印刷時の耐刷力、耐圧力が大きく、画像形成性およびその再現性に優れた軽量な樹脂凸版印刷版およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂凸版印刷版17は、フィルムベース15上に層厚450μm〜780μmの感光性樹脂層を形成した感光性樹脂凸版の版材10を備え、版材10の表側に密着固定されたネガフィルム18を通して入射される紫外線のレリーフ露光と、版材10の裏側に密着されたポジフィルムを通して入射されるバック露光とにより、感光性樹脂層13にレリーフ像22とバック析出層23とを凝固させ、感光性樹脂層の非凝固部を水洗浄で除去して乾燥・後露光を行ない、版厚1mm未満の可撓性の樹脂凸版印刷版17が形成されたものである。 (もっと読む)


処理液を用いて、フレキソグラフレリーフ印刷版を提供する。この溶液は、ジイソプロピルベンゼン、及び、少なくとも1種は脂肪族二塩基酸エステルである、1種又は複数の有機共溶媒を含む。処理液はまた、共溶媒として1種以上のアルコールを含んでもよい。 (もっと読む)


【課題】微細細線再現性に優れるフレキソ印刷版作成方法の提供。
【解決手段】支持体上に、少なくとも感光性樹脂層、保護層、感熱マスク層が順次積層されてなる感光性印刷原版を用いて、少なくとも(A)〜(D)の工程を経てフレキソ印刷版を作成する作成方法。(A)赤外線レーザー光により、感熱マスク層を像様融除する工程(B)40℃以上の温度雰囲気下で版を水平な状態で静置する工程(C)化学線で全面露光する工程(D)現像工程 (もっと読む)


【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供することである。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、かつ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】微細加工において、製造効率を向上可能であって、コストダウンを実現する。
【解決手段】不溶化処理(S31)の実施においては、レジストパターン形成工程(S11)での露光処理において照射した露光光と同じ波長の光を、レジストパターンに照射する再露光処理を実施する。そして、その再露光処理が実施されたレジストパターンについて加熱する加熱処理を実施する。これにより、レジストパターンについて不溶化処理(S31)を実施する。 (もっと読む)


【課題】低比誘電率であり且つ高弾性率な層間絶縁膜を構成する硬化パターンの形成に好適なネガ型感放射線性組成物等を提供する。
【解決手段】本感放射線性組成物は、式(1)に示す有機ケイ素化合物と、式(2)に示す有機ケイ素化合物と、を含むシラン化合物を加水分解縮合させて得られるポリシロキサン、酸発生剤、溶剤及び酸拡散抑制剤を含有する。


〔R及びRは水素原子、フッ素原子、アルコキシル基、アルキル基、シアノ基、シアノアルキル基又はアルキルカルボニルオキシ基を示し、R、R及びRは1価の有機基を示し、Rは単結合、アリーレン基、メチレン基又はアルキレン基を示す。〕 (もっと読む)


【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のスチレン系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物、及び、波長300nm以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供することである。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のスチレン系構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、エポキシ基含有ラジカル重合性単量体から誘導される構成単位を含有する樹脂、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物(但し、エポキシ基含有ラジカル重合性化合物からなる構成単位を含有する前記樹脂を除く。)、波長300nm以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】高解像度であり、焦点深度(DOF)が広く、得られるパターン形状が良好であり、且つ低比誘電率な硬化パターンを形成することができるネガ型感放射線性組成物、並びに、それを用いてなる硬化パターン及びその形成方法を提供する。
【解決手段】ポリシロキサン(A)と、感放射線性酸発生剤(B)と、下記一般式(1)で表される構造単位(c1)を含む重合体(C)と、溶剤(D)と、を含有するネガ型感放射線性組成物。
(もっと読む)


【解決手段】ラクトンを密着性基として有する繰り返し単位と、酸不安定基含有繰り返し単位とを共重合した高分子化合物を含む第1ポジ型レジスト材料で基板上に第1レジスト膜を形成する工程、第1レジスト膜を露光後、加熱処理し、現像して第1レジストパターンを形成する工程、第1レジストパターンにアミン化合物又はオキサゾリン化合物を適用し、C3〜8のアルコール、又はC3〜8のアルコール及びC6〜12のエーテルを含み、前記第1のレジストパターンを溶解しない溶剤を溶媒とする第2ポジ型レジスト材料を塗布し、第2レジスト膜を形成する工程、第2レジスト膜を露光、PEB後、現像して第2レジストパターンを形成する工程を含むパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、第1レジストパターンのパターンが未形成の部分に第2パターンを形成し、パターン間のピッチを半分にするダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングで基板を加工できる。 (もっと読む)


【課題】 層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、かつ透明性及び解像性に優れるシリカ系被膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】 (a)成分:下記一般式(1)で表される化合物を含む第1のシラン化合物を加水分解縮合して得られる第1のシロキサン樹脂と、(b)成分:上記(a)成分が溶解する溶媒と、(c)成分:フェノール類又はアルコール類とナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステルと、を含有する感光性樹脂組成物を用いてシリカ系被膜を形成する方法であって、上記感光性樹脂組成物からなる塗膜を300℃未満の温度で加熱硬化する加熱工程を有する、シリカ系被膜の形成方法。
【化1】



[式(1)中、Rは有機基を示し、Aは2価の有機基を示し、Xは加水分解性基を示し、同一分子内の複数のXは同一でも異なっていてもよい。] (もっと読む)


【課題】塗布性に優れ、層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、かつ形成されるシリカ系被膜が耐熱性、解像性及び透明性に優れる感光性樹脂組成物及びそれを用いたシリカ系被膜の形成方法を提供すること。
【手段】(a)成分:第1のシラン化合物を加水分解縮合して得られる第1のシロキサン樹脂と第2のシラン化合物との混合物を加水分解縮合し、更に加熱処理して得られる第2のシロキサン樹脂と、(b)成分:フェノール類又はアルコール類とナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル化合物とを含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】塗布性に優れ、層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、かつ形成されるシリカ系被膜が耐熱性、解像性及び透明性に優れる感光性樹脂組成物及びそれを用いたシリカ系被膜の形成方法を提供すること。
【手段】(a)成分:第1のシラン化合物を加水分解縮合して得られる第1のシロキサン樹脂と、第2のシラン化合物を加水分解縮合して得られる第2のシロキサン樹脂とを混合し、さらに加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、(b)成分:フェノール類又はアルコール類とナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル化合物とを含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 水系現像液によるスプレー現像において高速印刷に対応できる現像時間を満足する現像性を有し、且つ高速印刷においても画像再現性に優れる感光性フレキソ樹脂印刷原版を得られる樹脂組成物およびこれを支持体上に設けたフレキソ印刷原版を得ることを目的とする。
【解決手段】 少なくとも(A)水分散ラテックスから得られる疎水性重合体、(B)親水性重合体、(C)エチレン性二重結合不飽和化合物及び(D)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物において、(A)成分の水分散ラテックスから得られる疎水性重合体がポリブタジエン、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体及びメチルメタクリレート系共重合体の3種類からなることを特徴とするフレキソ印刷版用感光性樹脂組成物、および該樹脂組成物と支持体とが積層された印刷用感光性樹脂原版。 (もっと読む)


【課題】エッチング耐性を向上することが可能なレジスト膜処理装置を提供する。
【解決手段】レジスト膜処理装置60は、現像によりパターン化された前記レジスト膜に紫外域光を照射する光源UVと、前記光源UVにより紫外域光が照射された前記レジスト膜を加熱するよう構成された加熱部62Hと、前記加熱部62Hにより加熱された又は加熱されている前記レジスト膜を、ベンゼン環を含有する溶剤を含む溶剤気体に晒すよう構成された溶剤処理部83と、を備える。 (もっと読む)


【課題】隣接画素や積層構造中の上下層への色移りを抑制し、耐光性に優れたカラーフィルタを作製することができるカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】下記一般式(I)で表される重合性基含有染料、光重合開始剤、重合性化合物を少なくとも含む染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布する膜形成工程と、塗布膜を露光し、現像するパターン形成工程と、現像後のパターンに、現像前の露光における露光量の10倍以上の照射光量の紫外光を照射する紫外線照射工程と、紫外線照射後のパターンに加熱処理を行なう加熱処理工程とを有する〔Dye:染料残基;L:2価の連結基;n=0〜5、m≧1;Z:一般式(IIa)又は(IIb)で表される基〕。
(もっと読む)


【課題】低エネルギーのレーザー光で紫外線遮蔽性樹脂層を精密かつ正確に除去した部分に、ムラのない光透過性が得られ、かつ紫外線遮蔽性樹脂層に傷が付きにくく、しかも大型印刷版の作製において、位置決め作業が容易で、かつ版と密着させる際に空気を抱き込みにくく版材に全面が密着しやすいマスクフィルムを与えるマスクフィルム用部材を提供する。
【解決手段】紫外線透過性の基材フィルムと、その片面にレーザー光線の照射による除去可能な平均厚さ0.1〜30μmの紫外線遮蔽性樹脂層とを有するマスクフィルム用部材であって、前記紫外線遮蔽性樹脂層が、カーボンブラックの含有量が多い樹脂層(A)と、カーボンブラックの含有量が少ない樹脂層(B)とを有する2層以上の積層構造体であり、かつ基材フィルム側に上記(A)層が、印刷版側に上記(B)層が位置すると共に、特定の光学特性を有するマスクフィルム用部材である。 (もっと読む)


【課題】乾燥塗膜の耐熱性、無電解金めっき耐性、電気絶縁性等に優れ、特に不溶分の粗大粒子によるファインピッチ回路の断線を防止できる光硬化性熱硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、並びにこれらによりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供する。
【解決手段】(A)エポキシ樹脂、(B)カルボキシル基含有樹脂、及び(C)光重合開始剤を含有する組成物において、上記エポキシ樹脂(A)が、2官能ビフェニルエポキシ樹脂(A−1)と、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂及びビフェノールノボラック型エポキシ樹脂よりなる群から選ばれた、軟化点40〜100℃でエポキシ当量が180〜300の少なくとも1種のエポキシ樹脂(A−2)との混合物であることを特徴とするアルカリ現像性の光硬化性熱硬化性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ベイク工程後に得られたFPCの反りを低減し、機械物性を向上させ、溶剤耐性を改善することのできる樹脂パターンの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の樹脂パターンの製造方法は、(1)ポジ型感光性樹脂組成物をフィルム基材に塗布し、次いで脱溶剤し感光性ドライフィルムを作る工程と、(2)前記感光性ドライフィルムを、パターンを配した基板上に圧着し感光層を形成する工程と、(3)前記感光層に、マスクを通して活性光線を照射する工程と、(4)前記感光層をアルカリ水溶液により現像する工程と、(5)前記感光層を水及び酸性水溶液からなる群から選択される少なくとも1つの溶媒によりリンスする工程と、(6)前記感光層の全体に活性光線を照射する工程と、(7)100℃〜400℃でキュアする工程とを具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】感光性エレメントから凸版印刷フォームを作製するための方法および装置を提供すること。
【解決手段】より詳細には、この発明は、化学線に対する露光の間、調整された酸素濃度を有する環境内において凸版フォームを作製するための方法および装置を説明する。この方法は、感光性エレメントの上にin−situマスクを形成するステップと、不活性ガスおよび190,000から100ppmの間の酸素濃度を有する環境内においてin−situマスクを介して化学線に対してエレメントを露光させるステップと、浮出し面区域のパターンを有する凸版印刷フォームを形成するために露光されたエレメントを処理するステップとを含む。 (もっと読む)


41 - 60 / 215