【課題】着色剤として染料やレーキ顔料を用いた場合に、染料やレーキ顔料の優れた色度特性を存分に発現させるための画素パターンの形成方法を提供すること。
【解決手段】（１）基板上に、染料及びレーキ顔料よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含有する着色感放射線性組成物の塗膜を形成する工程、並びに（２）前記塗膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程を含み、前記放射線の分光分布が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲に複数のピークを有し、且つ前記放射線の３５０ｎｍ未満における最大強度が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍにおける最大ピーク強度の５０％以下であることを特徴とする画素パターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】ノイズの支配的な放電変動に影響されることなく、放電ランプの光を適正に測定する。
【解決手段】高圧もしくは超高圧水銀ランプである放電ランプ２１を使用してパターンを形成する露光装置１０において、照度演算制御部３０および受光部４０から構成される照度測定制御装置５０を備え、受光部４０の分光感度曲線Ｌ１を、感度のピークＰ１がｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）からシフトし、２つの輝線からほぼ中間の波長域に設ける。 （もっと読む）

【課題】従来のマルチ波長の露光光源を使用した場合でも、転写パターンの解像度を向上させることが可能なフォトマスクを提供する。
【解決手段】ピーク波長の異なる例えばｉ線、ｈ線、ｇ線を含む露光光を用いる露光装置に使用されるフォトマスクである。このフォトマスクは、透明基板１と、透明基板１上に形成された転写パターン２と、波長選択手段３とを有する。波長選択手段３は、フォトマスクに照射する露光光に含まれる所定波長を反射することにより、前記所定波長の光透過量を低減するものであり、例えば、透明基板上に、それぞれ異なる屈折率を有する複数の誘電体層を交互に積層してなる誘電体多層膜で構成される。 （もっと読む）

【課題】 感光性材料を高い精度で３次元形状の構造体に形成する。
【解決手段】 基材に塗布された感光性材料に光を照射する光源を有する露光ユニットと、基材が配置されるテーブルとを備え、光源から感光性材料に光が照射されるときに光源または感光性材料が塗布された基材の少なくとも一方が移動されて光源の感光性材料に対する照射位置が変化し、感光性材料の有する最大吸収感度を与える波長から所定の長さずれた波長の光を光源から感光性材料に照射して感光性材料の所望の部分を選択的に露光することで３次元形状の構造体を形成する。 （もっと読む）

【課題】 露光パターンの線幅精度の悪化を抑制する露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の波長を有し、パルス発振された第１照明光と、第１の波長とは異なる第２の波長を有し、パルス発振された第２照明光とをマスクへ照射する照射ユニットを備え、照射ユニットは、第１照明光がマスクに照射されるタイミングと、第２照明光がマスクに照射されるタイミングとが所定時間ずれるように、第１照明光と第２照明光との照射のタイミングを設定する遅延設定部を含む露光装置。 （もっと読む）

【課題】搭載された高圧水銀ランプをフル・スタンバイ点灯する紫外線照射装置において、スタンバイ点灯からフル点灯に切り替えた直後に、所定の波長の範囲の積算光量が時間的に変動しない所望の紫外線を照射することができる紫外線照射装置を提供すること。
【解決手段】発光管内に水銀が封入され、管壁負荷が１０〜３０Ｗ／ｃｍ^２である高圧水銀ランプと、該高圧水銀ランプに供給する電力を、定格電力によって点灯させるフル点灯モードと、該フル点灯モードよりも低い電力によって点灯させるスタンバイ点灯モードとを切換可能に駆動できるランプ点灯装置とを備える紫外線照射装置において、前記フル点灯モード時の前記高圧水銀ランプより放射される波長５２５ｎｍの照度Ｉｆと、スタンバイ点灯モード時の該高圧水銀ランプより放射される波長５２５ｎｍの照度Ｉｓとの比をＩｓ／Ｉｆ（％）とし、Ｉｓ／Ｉｆが３０％以上、１００％未満であること。 （もっと読む）

【課題】 複数の放電ランプが所定方向に並んで配設されてなる構成のものにおいて、不具合の発生した放電ランプの特定および異常の状態の判別を行うことができて、装置の正常動作状態を確認することのできる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、ショートアーク型の放電ランプ、および当該放電ランプを取り囲むよう配置された、当該放電ランプからの光を反射するリフレクタよりなる光源素子の複数が、一方向に並んで配置されてなる光源素子列を有する光出射部と、個々の放電ランプによる光到達領域における複数の測定箇所からの拡散光の光量を検出する光検出素子アレイとを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光源から出る多波長光のうち、所望の波長の光を容易に選択することができるようにした露光波長調節装置及びそれを利用した露光機を提供する。
【解決手段】本発明による露光波長調節装置は、光源から出射される多波長の光の入力を受け、分離屈折させて多数の波長を出力する分離屈折部；前記分離屈折部で分離屈折されて入射される多数の波長の光経路を変化させるミラー；及び前記ミラーで反射される多数の波長の光の一部を通過させる部分光通過部を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、消費電力が少なく長寿命で、かつ必要な波長域の光を必要な光量で効率よく出射して露光することができる露光装置および光源装置が得られる。。
【解決手段】 光源ユニット４１は、第１のＬＥＤアレイ４１１、第１のレンズアレイ４１２、第２のＬＥＤアレイ４１３、第２のレンズアレイ４１４、ダイクロイックミラー４１５、第３のレンズアレイ４１６、第１の結像光学系４１７を備える。第１のＬＥＤアレイ４１１は、中心波長３８５ｎｍの光を出射する。第２のＬＥＤアレイ４１３は、中心波長３６５ｎｍの光を出射する。ダイクロイックミラー４１５は、第１のＬＥＤアレイ４１１の発光部４１１ｃの像に第２のＬＥＤアレイ４１３の発光部４１３ｃの像を重ねて合成する。
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【課題】 複数個のＬＥＤ光源の放射光を合成して出射する構成のものにおいて、複数のピーク波長を有する連続した広範囲の波長範囲の光を出射することができると共に高い輝度を得ることのできる光源装置を提供すること。
【解決手段】 この光源装置は、ピーク波長が互いに近接する第１のＬＥＤ光源および第２のＬＥＤ光源と、第１のＬＥＤ光源から放射された放射光と、第２のＬＥＤ光源から放射された放射光を合成するダイクロイックミラーとを有し、前記ダイクロイックミラーは、前記第１のＬＥＤ光源からの放射光の入射角、および、前記第２のＬＥＤ光源からの放射光の入射角が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置されている。 （もっと読む）

【課題】複数の波長の強度を個別に実用レベルで調整できる光源装置を提供する。
【解決手段】輝線スペクトルの一つの輝線波長の光を遮断する反射被膜が、前記光束を反射させるか又は透過させて通過させる複数の開口を有するように設けられ、該複数の開口の最大寸法は、所定波長の光束の照射面内に複数の開口が配置可能である微小な寸法であり、選択された所定波長の光束における少なくとも一つの特性を、微小な開口の形状、間隔及び数により決定する光源装置。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、感光膜の硬化を十分に得られる光源ユニット及びこの光源ユニットを具備した製版露光装置を提供することにある。
【解決手段】
第１の発明に係る製版露光装置は、複数の固体発光素子を備える光源ユニットと、該光源ユニットからの紫外線を照射される被照射物が載置される載置台と、を有する製版用露光装置において、該光源ユニット又は該載置台には、該光源ユニットと該載置台とを相対的に移動させる駆動手段が設けられ、該複数の固体発光素子は、紫外線を出射する第１の固体発光素子と、該第１の固体発光素子が出射する紫外線より短い波長の紫外線を出射する第２の固体発光素子との少なくとも２つの紫外線を出射する固体発光素子からなり、該光源ユニットが該載置台に対して相対的に移動される方向のならびで、第１の固体発光素子の後に第２の固体発光素子が配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイレクト露光描画装置に用いる放電ランプのｈ線の発光効率を高めて、レジストパターンの断面が台形になるようにする。
【解決手段】容積65mm³以下の石英ガラス製のバルブ２に、270mg/ccの割合で水銀を封入し、170Torrの圧力でガスを封入する。電極の背面５とバルブ２の内面６との間に、0.4mmないし0.42mmの空隙７を設ける。一対の電極４を結ぶ軸が水平となる状態で放電ランプ１を保持する。このようにすると、放電ランプ１のｈ線の発光効率が高まり、台形断面のレジストパターンに形成できる。 （もっと読む）

【課題】ヒートモードの形状変化が可能なフォトレジスト層をレーザ光で除去して凹部を形成する場合において、レーザ光のフォーカスを安定させ、良好に加工を行う。
【解決手段】表面にヒートモードによる形状変化が可能なフォトレジスト層２０を有する基板１０を用意する準備工程と、フォトレジスト層２０にレーザ光を照射してフォトレジスト層２０の一部を除去する露光工程と、を有するパターン形成体の製造方法である。露光工程におけるレーザ光として、フォトレジスト層２０の表面において反射した反射光をＡ、フォトレジスト層２０を介してフォトレジスト層２０と基板１０との界面において反射した反射光をＡ′、フォトレジスト層２０が除去された基板１０の表面部分において反射した反射光をＢとしたとき、ＡとＢの位相差またはＡ′とＢの位相差が±９０°以内となるような波長のレーザ光を用いる。 （もっと読む）

【課題】感材の現像後のパターンの最小線幅を最小限に抑えるとともにそのパターンのエッジ形状を良好に保つことができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１においては、制御装置２９による制御の下で、露光ステージ１２の駆動ステージ１４によりチャックステージ１３を移動させて、感材３２が積層された基板３１をマスク１６に対して位置決めした後、基板３１上の感材３２へ向けて照射光学系２０によりマスク１６を介して露光光を照射することにより、基板３１上の感材３２を所定のパターンで露光する。このとき、照射光学系２０に短波長カットフィルター２７が装着されている場合には、超高圧水銀灯２１から出射された光は、短波長カットフィルター２７を通過し、ｇ線、ｈ線及びｉ線を残して、２７０〜３３３ｎｍの範囲にある深紫外線域の光がカットされる。なお、短波長カットフィルター２７は照射光学系２０において着脱可能に設けられている。 （もっと読む）

本発明は、ａ）透明な支持体を用意するステップと；ｂ）カラーマスクをその透明な支持体の第１の側に形成するステップと；ｃ）可視光に対して感受性のある堆積阻害材料を含む第１の層を適用するステップと；ｄ）カラーマスクを通して第１の層を可視光に露光して第１のパターンを形成し、堆積阻害材料を現像して堆積阻害材料が実質的にない選択された領域をもたらすことによって、堆積阻害材料を含む第１の層をパターニングするステップと；ｅ）透明な支持体の上に機能性材料からなる第２の層を堆積させるステップを含み、機能性材料の第２の層を、透明な支持体上で堆積阻害材料のない選択された領域にだけ実質的に堆積させる、構造体を形成する方法に関する。
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本発明は、支持体を用意し、前記支持体の片側にマルチカラーマスクをコーティングし、支持体の反対側に可視光により硬化可能な層をコーティングし、光硬化可能な層をマスクを通して可視光に露光して光により硬化可能な層を露光部分において硬化させて硬化パターンを形成することを含む、積層透明構造体を形成する方法に関する。
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【課題】表面硬化性と硬化深度との両立を図ることができる組成物、特にレジスト組成物を提供する。
【解決手段】露光前乾燥塗膜厚２５μｍあたり、レーザー波長４００ｎｍの吸光度Ｌ₄₀₀が０．５−１．２、かつ、レーザー波長４１０ｎｍにおける吸光度Ｌ₄₁₀が０．０１−０．５であり、かつ、Ｌ₄₀₀＞Ｌ₄₁₀であることを特徴とする組成物。 （もっと読む）

【課題】製造の歩留まりが良好な窓部材を備えた露光装置を提供する。
【解決手段】フィルタ６は、複数のタイル状フィルタ１０を組み合わせてガラス板５の表面上に配置して構成されている。フィルタ６は、ガラス板５の表面に隙間無く相互に接して配置され、その全周端部は筐体４に備わる押さえリブ７によって保持されている。タイル状フィルタ１０は端面同士が相互に隙間なく接しており、その接触面９は上下から相互に重なり合うように形成されている。断面が略台形となるようにタイル状フィルタ１０の４つの端面を斜めに切除して、端面にそれぞれ斜面を形成する。この斜面同士を隣り合う端面同士で上下逆に重ね、図２中のフィルタ６のようにタイル状フィルタ１０同士を組み合わせて配置する。 （もっと読む）

【課題】複数の輝線を含む分光分布の広い光束を、色収差に起因する結像位置のずれのない状態で照射することができる投影露光装置を提供する。
【解決手段】投影露光装置（１００）は、ｇ線，ｈ線，ｉ線及びｊ線の輝線を含む露光光を照射する光源（１０）と、その露光光から所定の組み合わせの輝線を含む光束を選択する波長選択部（１５）と、パターンが描かれたフォトマスクを位置決めするマスクステージ（４０）と、波長選択部で選択された露光光がフォトマスクに照射され、このフォトマスクを透過した露光光を基板に投影するオフナー型反射式投影光学系（５０）と、基板を位置決めする基板ステージ（６０）と、を有する。 （もっと読む）