【課題】シリコン基板５の主表面ＳＦに対して４５°を成す傾斜面ＷＡを平坦性および平滑性良く形成するシリコン異方性エッチング方法及び当該方法において使用するシリコン異方性エッチング液を提供する。
【解決手段】シリコン異方性エッチング方法において、２０〜２５質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液に、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルを０．１〜１０ｐｐｍの割合で添加したシリコン異方性エッチング液を用いて、シリコン基板５をエッチング加工する。 （もっと読む）

【課題】モニタ光を確実に得ることができるとともに製造の容易化を実現することができるレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールを提供すること。
【解決手段】第１のレンズ面１１に入射した発光素子７からの光を第１の凹部１４の反射／透過面１５によって第２のレンズ面１２側および第３のレンズ面１３側に分光し、第３のレンズ面１３側に分光された光に含まれるモニタ光を第２の凹部１８の屈折面１９を経て第３のレンズ面１３によって第１の受光素子８側に出射させ、第１のレンズ面１１上の光軸と第３のレンズ面１３上の光軸とを互いに平行に形成し、第１のレンズ面１１上の光軸と第２のレンズ面１２上の光軸とを互いに平行または垂直に形成すること。 （もっと読む）

【課題】基板上に配置される光デバイスと基板に形成される光導波路とをインタフェース接続する光接続構造を提供すること。
【解決手段】本発明の製造方法では、ダイシング・テープ１４０上に、無機固体材料で形成されるウエハ１３０を準備するステップと、先端角を有するダイシングブレード１４２により、ウエハ１３０の裏面を略山形形状に切削するステップと、ダイシング・テープ１４０をウエハ１３０から剥離し、かつ略山形形状の谷で分離して、光接続要素として、ウエハ１３０の表面Ｍにあたる鏡面を有する３次元多面体の光反射部材１１４を得るステップとを含む。得られた光接続要素（１１４）は、光伝送基板１００が備える光導波路１０６ａに略直交して光伝送基板１００の基板主面に開口するトレンチ内に挿入されて、外部との光接続構造を与える。 （もっと読む）

【課題】コスト損失を抑制することができる光電気混載モジュールの製造方法およびそれによって得られた光電気混載モジュールを提供する。
【解決手段】電気回路部分Ｅ₁ 位置決め用の突起４を形成した光導波路部分Ｗ₁ と、その突起４に嵌合する貫通孔８を形成した電気回路部分Ｅ₁ とを、個別に作製し、その電気回路部分Ｅ₁ に光学素子１１を実装した後、その光学素子１１の実装状態を検査し、適正な実装が確認できたときに、上記電気回路部分Ｅ₁ 位置決め用の突起４に、上記電気回路部分Ｅ₁ の上記貫通孔８を嵌合させ、光学素子１１が実装された電気回路部分Ｅ₁ と光導波路部分Ｗ₁ とを一体化して光電気混載モジュールにする。 （もっと読む）

【課題】任意の角度あるいは曲面をなす反射面を有する光学部材、およびその光学部材を用いた光学装置を容易に製造できるようにする．
【解決手段】シリコン基板５の表面５ａにフォトレジスト６を塗付して所要形状の開口６ｈを形成し、そのフォトレジスト６をエッチングマスクにして、シリコン基板５の表面５ａに垂直な方向にエッチングを行って、表面５ａに対して垂直で、かつ互いに段違いで平行な２平面５１ａ，５１ｂとその２平面間を接続する斜面５ｃとを含む凹部５ｈを形成し、その凹部５ｈの内壁面の一部をなす斜面５ｃに反射性金属膜を被覆して反射面を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、低コストで製造が可能な光モジュールの提供。
【解決手段】光伝送路と、前記光伝送路の光軸に対して垂直の方向に設置された光半導体素子と、前記光伝送路と前記光半導体素子とを光学的に接続する光結合路と、少なくとも前記光結合導波路の表面の一部に形成している金属コートとを有し、前記光結合導波路は、単一の透明樹脂のみからなり、前記透明樹脂の端面が前記光伝送路のコア端面全体および前記光半導体素子の受発光面全体を覆っており、前記透明樹脂の側面形状が樹脂の表面張力により形成されており、前記光伝送路端面と前記光半導体素子の受発光面の中心を通り、両面に対し垂直な断面において前記透明樹脂の外側の外周形状が略円弧形状であり、前記金属コートは略円弧状の前記光結合導波路の表面の少なくとも略円弧状の外側に形成されていることを特徴とする光モジュール。 （もっと読む）

【課題】低コストで作製でき、かつより高い効率で光信号を伝送することが可能な光結合部を備えた光モジュールの提供。
【解決手段】上面１ｃに受発光部１ａを有し、かつ下面１ｄ側で基板４に実装された光半導体素子１と、その光軸１ｂに対して所定の角度θで交差する光軸２ｂを有し、かつ基板の実装面４ａから離間して配置された光伝送路２と、光半導体素子１と光伝送路２との間を光学的に結合する光結合部３とを備え、光結合部３は伝送される光に対して透明な樹脂からなり、前記樹脂は光半導体素子の受発光部１ａの少なくとも一部及び光伝送路の端部２ａの少なくとも一部にそれぞれ密着し、光伝送路の端部２ａのうち、前記樹脂との密着面２ｃは傾斜面であり、光伝送路の光軸２ｂおよび光半導体素子の光軸１ｂの両方に略平行な光伝送路の断面２０において、密着面２ｃは光伝送路の光軸２ｂと直交する方向に対して２０°以上の角度をなしている光モジュール５。 （もっと読む）

【課題】本発明は横方向結合光ファイバー構造部材に係り、その１つの表面に少なくとも１つの凹型溝を設ける１つの第１基板と、前記凹型溝に設置してある光ファイバーと、前記第１基板に設置され、且つ前記光ファイバーをカバーする第２基板とを含み、前記第１基板と第２基板の間に位置される前記光ファイバーの片端に斜面が設置され、前記斜面は、光ファイバーの中で伝導する光束の全反射を実現することに用いられる。
【解決手段】結合光ファイバーの端面に対して直接で完全な拘束を行い、光電転換素子装着基板との配合することによって、厳しい要求に対して安定で信頼できる光ファイバー横方向結合を実現する。 （もっと読む）

【課題】
光素子の駆動回路または増幅回路ＬＳＩと光素子との電気配線を薄膜配線層により短距離で接続することで、チャネル当たりの伝送速度を高しかつ消費電力の増大を防ぐ。また、伝送装置への接続方式がコネクタ等簡便であり、ＬＳＩの実装も従来技術によるものであるため、組立が容易でかつ高信頼が実現できる。すなわち、本発明によれば、性能、量産性ともに優れた光電気複合配線モジュールおよびこれを用いた伝送装置を提供できる。
【解決手段】
光素子２ａ、２ｂを、第一の回路基板１に形成された光導波路１１と光結合できるように、第一の回路基板上１に配置し、光素子の上層に電気配線層３を光素子の電極と電気配線層３の配線が電気的に接続されるように積層し、電気配線層３上にＬＳＩを実装して電気的に接続した構造とすることを特徴とする光電気複合配線モジュール。 （もっと読む）

【課題】本発明は電気通信路と光通信路とを結合する光コネクタ及び高速伝送用コネクタに関し、光学的特性の劣化を招くことなく小型化を図ることを課題とする。
【解決手段】発光素子２２、ドライバＩＣ２１、受光素子２３、レシーバＩＣ２４、発光素子２２及び受光素子２３に光学的に結合する光学部品４０Ａとを有し、光ファイバ３１，３２が設けられたフェルール３０が装着される光コネクタであって、前記光学部品４０Ａは、発光素子２２及び受光素子２３を固定する素子固定手段（回路基板１２と基板装着部４５とよりなる）と、フェルール３０が装着されるフェルール装着部４１とを有する。そして、フェルール３０をフェルール装着部４１に装着することにより、各素子２２，２３と光ファイバ３１，３２との位置決めがされる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 光伝送損失増加を抑制する光導波路を提供する。
【解決手段】 光導波路は、 光を伝送させる柱体の光伝送部と、前記光伝送部の柱体における底面と対向し、頂点が前記底面と離間する又は接する凸曲面と、前記凸曲面の裏側に位置し、前記光伝送部の延出方向に対して傾斜し、外部からの光の進行方向を変換する又は前記光伝送部からの光の進行方向を変換して外部と光伝送部とを光学的に結合させる傾斜面と、外部に露出して前記傾斜面と外部とを光学的に結合させる光入出力面と、を有する光接続部と、前記光伝送部の柱体における底面と前記凸曲面との間に設けられ、前記光伝送部の屈折率および光接続部の屈折率よりも屈折率の低い低屈折率部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】光伝送路を伝送する光量の温度依存性を低減でき、しかも低コストで作製可能な光デバイスを提供する。
【解決手段】受発光部１ａを有する光半導体素子１と、出入射部２ａを有する光伝送路２と、光半導体素子１が第１の位置４１に固定されるとともに、光伝送路２が第１の位置４１から離間した第２の位置４２に固定される平面板４とを備える光デバイスであって、第１の位置４１と第２の位置４２との距離Ｄが平面板４の熱膨張及び熱収縮によって変化することにより、受発光部１ａに対する出入射部２ａの相対位置が変化し、その相対位置変化によって、光半導体素子１の受発光部１ａと光伝送路２の出入射部２ａとの光結合効率が、使用温度範囲内の高温側において高く、かつ低温側において低くなるように、光半導体素子１と光伝送路２とが光結合されている。 （もっと読む）

【課題】接着剤を接着剤溜部から容易に注入して光コネクタが光モジュールに対して固定でき、光コネクタを光モジュール基板に対して簡単にかつ確実に位置決めできる並列光伝送装置を提供する。
【解決手段】電気基板５と、電気基板上に固定される電気プラガブルソケット１と、電気プラガブルソケットのモジュール収容凹部１４内に着脱自在に装着され、光モジュール基板３４と電気素子３３とカバー３５とを有し収容凹部内に装着時に電気プラガブルソケット１を介して電気端子と電気的に接続される光モジュール３と、光モジュール３に接続される光コネクタ４とを備え、カバー３５は光コネクタのコネクタ部４２を配置するための開口部３９を形成する内縁部には、コネクタ部４２の壁部との間に接着剤を溜める接着剤溜部１３０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 光路変換用の導光部材のハウジングへの取付けと位置決めが容易であり、且つ光の結合損失の小さい光モジュールを提供する。
【解決手段】 導光部材１０は、発光素子または受光素子である光学素子３に対向する第１の端面１１と、光ファイバ２３に対向する第２の端面１２を有し、第１の端面１１に直交する第１の端面中心線Ｏ１と、第２の端面１２に直交する第２の端面中心線Ｏ２とが直交する湾曲部１４を有している。導光部材１０には、第１の端面中心線Ｏ１に向けて突出する位置決め部１５が一体に形成されている。導光部材１０をハウジングの収納空間７ａに向けてＹ１方向へ挿入することで、簡単に組み立てることができ、位置決め部１５を用いて導光部材１０を位置決めすることができる。また、導光部材１０は湾曲部１４を有しているため、光の伝播損出も少ない。 （もっと読む）

【課題】光接続効率を改善することのできる印刷回路基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の印刷回路基板は、光信号と電気信号とを共に伝送するように光導波路が形成された印刷回路基板であって、クラッド２０と、クラッド２０に内蔵されて光信号を伝送するコア２５と、クラッド２０に内蔵されて電気信号を伝送する配線パターン３０とを含み、クラッド２０が絶縁層としての機能を行って配線パターン３０をクラッド２０に内蔵させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光素子とレンズ間の距離を短くでき、かつ、容易に製造可能な光モジュールを提供する。
【解決手段】光素子２を積層セラミック基板３にフリップチップ実装し、積層セラミック基板３に光素子２からの光Ｌを通過させるための導光孔４を形成した光モジュールにおいて、積層セラミック基板３を、２層以上のセラミック基板３ａ，３ｂで形成し、それらセラミック基板３ａ，３ｂに、導光孔４となる径の異なる貫通孔４ａ，４ｂを形成し、貫通孔４ａ，４ｂの径が、光素子２を実装する第１層目のセラミック基板３ａで最も小さく、光素子２から離れるにしたがって大きくなるよう、セラミック基板３ａ，３ｂを積層して形成したものである。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、リップルを抑制して光の利用効率を高めることが可能な光導波路、光伝送装置及び光伝送システムを提供する。
【解決手段】光伝送装置１は、発光素子２１からの入射信号光を伝搬する光導波路１０と発光素子２１からの入射信号光を反射する誘電体フィルタ１５とを備えている。発光素子２１からの入射信号光の光軸は誘電体フィルタ１５に対してほぼ垂直に入射する方向に設定されている。この光伝送装置１を光送信装置及び光受信装置として用い、光ファイバ２を介して光送信装置及び光受信装置間を接続して双方向光伝送を行う。 （もっと読む）

【課題】光学性能の高いミラーを備え、高品質の光通信が可能な光導波路、およびかかる光導波路の形成に用いられ、光学性能の高いミラーを容易に形成可能なミラー形成部を備える光導波路形成用部材を提供すること。
【解決手段】光導波路１０は、下側からクラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２をこの順に積層してなるものであり、コア層１３には、コア部１４と、コア部１４を側方から挟む２つの側面クラッド部１５とが形成されている。また、コア部１４の途中には、クラッド層１１の一部、コア層１３の一部、およびクラッド層１２の一部の積層体からなるミラー形成部１４５が設けられている。ミラー形成部１４５のうち、コア層１３の部分はコア部１４を構成する材料のみで構成されている。また、ミラー形成部１４５内を加工してミラー１７が形成されており、ミラー１７のうち、コア層１３の露出面には、コア部１４を構成する材料のみが露出している。 （もっと読む）

【課題】光導波路及び光素子の各光軸を互いに一致させるアライメント作業を容易にすることが可能な光装置用保持部材、光装置及び光伝送装置を提供することにある。
【解決手段】発光部５ａを有する発光素子５と、発光素子５に光路変換部４０ａを介して光結合するコア層４ａを有する光導波路４と、光導波路４を保持するとともに、発光素子５を実装する第１保持部材６とを備え、第１保持部材６は、光導波路４に沿う２方向のうち一方向に発光素子５を位置決めする第１位置決め面６ｄ、及び発光素子の位置決め方向と同一の方向に光導波路４を位置決めする第２位置決め面６ｅを有する。 （もっと読む）

【課題】金属層による反射が設けられた傾斜面を有する光導波路において、光硬化型の接着剤に対して効率よく光を照射すること。
【解決手段】光が伝搬する導波路コア１１と、導波路コア１１を囲繞し、導波路コア１１より屈折率が小さいクラッド部１２と、少なくとも一方の長手方向の端部に傾斜面と、該傾斜面上に金属層１３と、クラッド部１２の外側表面のうち傾斜面と鋭角をなす面のうち傾斜面の下側方向に位置する部分に溝１４と、を有する光導波路１０。また、前記光導波路１０を作製する工程と、光導波路１０および光素子２０を、光導波路１０の溝１４を有する箇所において接触させつつ、溝１４に光硬化型の接着剤を毛細管現象により充填する工程と、接着剤を露光により硬化させる工程と、を有する光モジュールの製造方法。 （もっと読む）