【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、第一振動子１０および第二振動子１２は、それぞれ複数の振動板１０Ａ、１２Ａがターン部１３、１４で折り返すように連結されたミアンダ形であって、第二振動子１２の隣接する振動板１２Ａの間の間隔は、これらの振動板１２Ａ間のターン部１４手前からこのターン部１４に向って広がっているものとした。これにより本実施の形態では、第一振動子１０の駆動振動と第二振動子１２のノイズ振動θＹとの相互干渉を抑制でき、第一振動子１０のモニタ素子２２の検出精度を向上させ、高精度な自励駆動が実現できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部９と連結された振動子１０を備え、振動子１０は、基材１９上に形成された絶縁層２０上に分断溝３０Ａによって分離して配置されたドライブ素子１６およびモニター素子１７を有し、これらのドライブ素子１６およびモニター素子１７の下部電極層２１は、共通の外部電極と接続され、モニター素子１７とドライブ素子１６とが隣接して配置された任意の点において、分断溝３０Ａにより、モニター素子１７の下部電極層２１とドライブ素子１６の下部電極層２１との最短導通経路は、モニター素子１７の下部電極層２１から共通の外部電極までの距離より長いものとした。これにより本発明は、モニター素子１７の検出精度を高め、光学反射素子８を高精度に自励駆動させることができる。 （もっと読む）

【課題】デバイス特性に関わらず、マイクロミラーを効果的に大きく傾斜させる。
【解決手段】トーションバー１４Ａ、１４Ｂを介してマイクロミラー１２が揺動可能に支持されるマイクロミラーデバイス１０において、櫛歯状の可動電極部２０Ａ、２０Ｂ、固定電極部３０Ａ_１、３０Ａ_２、３０Ｂ_１、３０Ｂ_２をそれぞれマイクロミラー１２、支持フレーム１６に形成する。そして、可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_６、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_６、固定電極３６Ａ_１〜３６Ａ_６、３６Ｂ_１〜３６Ｂ_６をＸ軸に沿って交互に配置する。このとき、各可動電極はマイクロミラー側に隣接する固定電極に近接配置する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の波長に対応した透過ガラスを有するＤＭＤユニットを選択可能とする。
【解決手段】複数波長のレーザ光を出射可能なレーザ発振器３１と、レーザ光の夫々の波長に対応する光学透過板４０で覆われた複数のＤＭＤユニット３７ａ，３７ｂと、複数のＤＭＤユニット３７ａ，３７ｂを搭載するスライドホルダ３６を有し、このスライドホルダ３６を移動させて所望のＤＭＤユニット３７ａ（又は３７ｂ）がレーザ光路上に配置されるように選択的に切替えるスライダ制御部１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 強力なレーザビームの放射にさらされ、基本光周波数ω_１の入射ビームを光周波数ω_２の出力ビームに変換できる少なくとも一つの周波数変換非線形光学系の寿命を伸ばす装置を提供すること。
【解決手段】 本発明は、強力なレーザビームの放射にさらされた周波数変換非線形光学系（１９）の寿命を伸ばす装置に関し、前記非線形光学系（１９）はビームに対して傾斜した平坦かつ平行な表面を有する二つのプレート（２、３）と、第１のプレートの傾斜角範囲（ｉ_２^０ ±δｉ_２）に対して出力ビーム（３７、４７）の移動の振幅を最小にしながら光学系（１９）に対して入射ビームを移動するように角度範囲（ｉ_２^０ ±δｉ_２）内で第１のプレートの傾斜角を変更するのに適した前記プレート（２、３）を横回転する手段とを含む。発明はまた一つ以上の非線形結晶（１、１６）を含む非線形光源への前記装置の応用に関する。 （もっと読む）

【課題】初期駆動に必要な印加電圧を抑えながら、マイクロミラーを容易に傾斜させる。
【解決手段】トーションバー１４Ａ、１４Ｂを介してマイクロミラー１２が揺動可能に支持されるマイクロミラーデバイス１０において、マイクロミラー１２と一体的に形成された櫛歯形状の可動電極部２０Ａ、２０Ｂに、Ｘ軸に沿ってその先端部がマイクロミラー１２に向けて延びる可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_４を設ける。一方、支持フレーム１６と一体的に形成された櫛歯形状の固定電極部３０Ａ_１、３０Ａ_２、３０Ｂ_１、３０Ｂ_２に、Ｘ軸に沿ってその先端部が支持フレーム１６に向けて延び、可動電極２６Ａ_１〜２６Ａ_４、２６Ｂ_１〜２６Ｂ_２とそれぞれ交互にピッチ間隔ｓで近接配置される固定電極３６Ａ_１〜３６Ａ_４、３６Ｂ_１〜３６Ｂ_４を設ける。 （もっと読む）

【課題】可動部をアレイの並び方向に直交する軸回りに傾斜せしめる駆動電極の電極面積を広くとれ、駆動効率を向上できる光偏光器アレイを提供すること。
【解決手段】支持部材と、可動部と、前記可動部の少なくとも一面に設けられた反射面と、前記可動部の前記反射面とは反対側の面に設けられている可動部対向電極と、前記支持部材と前記可動部に連結され、少なくともアレイ方向と直交する軸の回りに前記可動部を傾斜可能に支持する少なくとも１対の弾性部材と、アレイ方向と直交する軸の回りに前記可動部を傾斜せしめる第一の駆動電極と、前記第一の駆動電極ごとに印加する電圧を個別に制御する第一の電圧制御手段と、を有し、前記第一の駆動電極は、隣接する前記軸どうしの間で、かつ隣接する前記可動部にまたがるように形成され、前記第一の電圧制御手段は、前記可動部を傾斜させるときは、隣接する前記第一の駆動電極間に所定の電位差を付与する。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーであって、ミラーがその最上面ＴＯＰＳよりも下に形成されている。また、少なくとも１つの段差付き静電櫛歯アクチュエータを有するＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法では、絶縁層Ｉを除去することによりミラー板１０Ｂの表面１０ＢＳが露出される。 （もっと読む）

【課題】温度変化に対応しながら効率よく静電型アクチュエータを駆動することが可能な静電型アクチュエータ制御装置を得る。
【解決手段】静電型アクチュエータ２００は、バイアス電圧の値が上昇するに従って、共振周波数が上昇する特性を有する。バイアス電圧は、ピークツーピーク電圧を増減することにより増減される。そのため、ピークツーピーク電圧を増減することにより、静電型アクチュエータ２００の共振周波数を制御できる。言い換えると、交流電圧の振動中心値を増減することにより、静電型アクチュエータ２００の共振周波数を制御できる。つまり、ピークツーピーク電圧を増減すると、従来技術における直流バイアス値を増減させたのと同様の効果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】クロストークを許容値以下にし、かつ、Rabbit Earの発生を抑制することができる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】比較器１３は、検出結果の目標値に対する偏差を求める。加算器１５は、その偏差に応じた補償量を制御変数Ｖｔに加算して、偏差を制御変数Ｖｔに負帰還する。算出部１７は、制御変数Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、そのＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する駆動電圧を算出してこの駆動電圧に対応する電極に印加する。これにより、２つの軸を有するミラーの動作を１つの制御変数Ｖｔによって制御することが可能となるので、より容易に、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造方法により、横ずれが少ない長寿命のアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、基体２と、基体２上に固定された微細構造体３とを有する。微細構造体３に、相対向する第１の支持部４と、相対向する第２の支持部５と、Ｖ字状の弾性連結部６を介して第１の支持部４に回動自在に連結され基体２から浮く回動板７と、回動板７の端部に設けられた櫛歯状の可動電極群１１と、ばね部８を介して第２の支持部５に連結され基体２に固定された固定部９と、固定部９の端部に可動電極群１１とかみ合って設けられた櫛歯状の固定電極群１０と、基体２・微細構造体３を位置決めする位置決め部１４とを備える。固定電極群１０を含む固定部９は、第２の支持部５よりも肉薄で、自重とばね部８の変形とにより可動電極群１１を含む回動板７よりも下方に変位して基体２に固定され、可動電極群１１は固定電極群１０よりも上方にずれて位置する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）を回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心として回動させるためのカスケード接続されたマイクロマシニング型のアクチュエータ構造体に関する。本発明によれば、トーションばね装置が設けられており、該トーションばね装置が、一方で保持体（ＶＳ）に取り付けられていて、他方でマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）に取付け可能であり、トーションばね装置が、複数のトーションばね（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）を有しており、該複数のトーションばねが、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に沿って延びているかまたは回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に対して平行に延びており、回動駆動装置が設けられており、該回動駆動装置が、複数の回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）を備えており、該回動駆動体が、トーションばね装置（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）に結合されており、各回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）が、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心とした１つのマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）の全回動角に数分の一ずつ寄与するようになっている。
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【課題】静電力が可動部の揺動方向に働く位置関係に容易に電極を配置できる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】鏡面１２４と同じ方向を向く可動部側電極１２３ａの面と、裏面１２５と同じ方向を向く可動部側電極１２３ｂの面には、可動部膜１２７ａ、１２７ｂが蒸着される。可動部膜１２７ａ、１２７ｂはＳｉ_３Ｎ_４から成る。Ｓｉ_３Ｎ_４は所定の条件下で２１０ＭＰａの引張応力を発生する。そのため、可動部側電極１２３ａは、その先端が裏面１２５の方向へ向くように湾曲し、可動部側電極１２３ｂは、その先端が鏡面１２４の方向へ向くように湾曲する。同様に、固定部側電極１１１ａと固定部側電極１１１ｂも固定部膜１１２ａ、１１２ｂが蒸着されて湾曲する。 （もっと読む）

【課題】山状の電圧−損失特性を持つMEMSマイクロミラー装置を用いて、安定した光出力パワーの制御を実現する。
【解決手段】加算器１１は、目標値に対する検出結果の偏差を求め、補償量算出部１２は、その偏差に基づいて現在の電圧に対する補償量を算出し、傾き符号算出部１３は、現在の電圧における電圧の変化に対するパワーの変化率の符号を求め、乗算器１４および加算器１５は、その符号に応じて補償量を現在の電圧に加算または減算して、現在の電圧に偏差を負帰還した電圧を次回の電圧として算出し、電極電圧変換部１６は、その次回の電圧から駆動電圧を算出する。これにより、正帰還に陥ることなく、光パワーの調整可変範囲を狭めることなく、目標通りの光出力パワーとするように自動制御することができ、安定した光出力パワーの制御を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結して可動部２０の回転変位の軸心Ａ２を規定する連結部４２，４３が形成されている基板Ｓ１と、基材Ｓ２と、基板Ｓ１のフレーム３０および基材Ｓ２の間に介在してこれらに接合するスペーサ部、並びに、当該スペーサ部を覆ってフレームおよび支持基材に接合する接着剤部、を有する少なくとも一つの強固定部７０Ｃ，７０Ｄとを備える。フレーム３０は、軸心Ａ２の延び方向において可動部２０と対向する第１領域部３０Ａおよび第１領域部３０Ａ外の第２領域部３０Ｂを有する。強固定部７０Ｃ，７０Ｄは、フレーム３０における第２領域部３０Ｂに対して接合している。 （もっと読む）

【課題】可動部を固定部に対して一対のトーションバーで揺動可能に軸支するアクチュエータを、高調波成分を含む波形の駆動信号で駆動する場合に、高調波成分に起因する可動部の共振振動を抑制する。
【解決手段】波形データを格納する波形メモリ１と、可動部の振れ角情報に基づいて駆動信号の振幅を演算する振幅演算部２と、振幅演算部２からのデジタル駆動信号をアナログ駆動信号に変換するＤ／Ａ変換器３と、可動部が共振振動する共振周波数成分を前記アナログ駆動信号から除去するノッチフィルタ４と、ノッチフィルタ４のフィルタ出力に基づいて可動部に駆動信号を供給する駆動信号供給部５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】接着部材による圧縮応力を低減することによって、光走査体の共振周波数等の固有値の変化を抑制することができる光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光走査体は、入射した光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから相反する方向に延びる一対の梁と、一対の梁を支持する固定部と、反射ミラーを揺動駆動する駆動体とを有する。光走査装置は、光走査体と、光走査体の固定部に接着部材で接着され、光走査体を支持する台座と、を備えている。光走査体の固定部における台座への接着領域、又は台座における光走査体の固定部への接着領域に、接着部材を逃がす凹部が形成された。 （もっと読む）

【課題】捩れ運動が繰返されるトーションバー部分に設けた引出し配線の金属疲労を低減する。
【解決手段】固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバー３に、可動部側の駆動コイルと固定部側の電極端子を接続する引出し配線６を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、シリコン基板で形成しその上面に引出し配線６を設けたトーションバー下層部３Ａ上に、ガラス材で形成したトーションバー上層部３Ｂを陽極接合することにより、捩り応力の小さいトーションバー中心位置に引出し配線６を設ける構成とした。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）におけるマイクロミラーアレイ（２２）のマイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して各傾斜角度（α_ｘ、α_ｙ）で傾斜可能である。２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対してマイクロミラー（２４）を傾斜させるために、マイクロミラー（２４）には、制御信号（Ｕ_１、Ｕ_２、Ｕ_３）によりそれぞれ駆動され得る３つのアクチュエータ（Ｅ_１、Ｅ_２、Ｅ_３）が割り当てられる。それぞれが１つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に割り当てられると共に両方が非摂動傾斜角度（α_ｘ、α_ｙ）に割り当てられる、２つの制御変数（ＳＧ_ｘ、ＳＧ_ｙ）が指定される。２つの制御変数（ＳＧ_ｘ、ＳＧ_ｙ）の任意の所望の組み合わせに関して、２つの制御変数（ＳＧ_ｘ、ＳＧ_ｙ）に応じて、３つのアクチュエータのうちの１つ（Ｅ_１）が選択され、その制御信号（Ｕ_１）が一定値、特にゼロに設定される。制御信号（Ｕ_１、Ｕ_２、Ｕ_３）が他の２つのアクチュエータ（Ｅ_２、Ｅ_３）に印加されるとマイクロミラー（２４）が２つの制御変数（ＳＧ_ｘ、ＳＧ_ｙ）の関数として非摂動傾斜角度（α_ｘ、α_ｙ）を採用するように、制御信号（Ｕ_１、Ｕ_２、Ｕ_３）が求められる。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）