【課題】安価で作製可能な、曲面状の鏡面を有する反射鏡、または、曲率や形状が可変な反射鏡を備えるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ発振器から被加工物へのレーザビームの光路上には、反射鏡１が配置されている。反射鏡１は、鏡面を形成する板状部材からなり、板状部材に一方向の曲げモーメントを生じさせるように力を加えて該板状部材を湾曲させる荷重負荷機構１５によって鏡面が湾曲させられている。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いたトーションバーによる揺動部を有するマイクロ構造体において、トーションバーの位置を精度良く測定できるようにする。
【解決手段】マイクロミラー素子１は絶縁層を挟んで二つの導体層を積層したＳＯＩ基板を用いて製造される。マイクロミラー素子１はフレーム２とフレーム２内に一対のトーションバー４，４’で揺動自在に支持された揺動部材３を有する。フレーム２の上側領域２Ａに揺動部材３とトーションバー４，４’が形成され、フレーム２の下側領域２Ｂに揺動部材３の櫛歯電極３３に対応する櫛歯電極２１が形成されている。揺動部材３の一対のトーションバー４，４’の下部であって当該トーションバー４，４’の捩れ動作に干渉しない位置にそれぞれトーションバー４，４’の位置測定の基準面Ｓｒとなる構造体５，５’が形成されている。トーションバー４，４’の高さ方向における位置測定において、構造体５，５’の上面Ｓ１を基準面Ｓｒとすることで、位置測定の精度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。
【解決手段】ミラーアレイ２２０３ａ，２２０３ｂのミラー２０３の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー１５３の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】波長モニタ部における光信号の復旧の前後での制御の遅れによる影響を回避できる波長選択光スイッチを提供する。
【解決手段】複数の入力ポートから入力した波長多重分割信号光に対して各波長の光に分岐する第１の波長分岐部と、複数の入力ポートのいずれから、複数の出力ポートのいずれかに結合を経路選択制御する光信号処理部を有する波長選択光スイッチであって、前記複数の入力ポートの波長多重分割信号光のそれぞれの波長に対して１/Ｎ（Ｎは２以上の整数)の帯域の波長を持つモニタ光の光源と、前記モニタ光を前記入力ポートに入力する信号光に重畳する入力側カプラと、前記光信号処理部により経路選択された前記信号光とモニタ光を分離する出力側カプラと、分離したモニタ光を各波長の光に分岐する第２の波長分岐部と、分岐したモニタ光の強度を検出する検出部を有し、モニタ光の減衰率を検出することで、前記信号光の減衰率をモニタする。 （もっと読む）

【課題】 可動電極を配置することで駆動電圧を小さくすることが可能な光学装置を提供する。
【解決手段】 光学装置２は、基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４と規制部３０ａ，３０ｂを備えている。基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４には、それぞれ電極が形成されている。規制部３０ａ，３０ｂを配置することによって、外力が作用したときに可動電極層２４が上方向に変位し、可動電極層２４と基板１２との間の電極間距離が大きくなることを禁止することができる。可動電極層２４を配置することによって、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を２区画に分割し、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を小さくすることができる。可動ミラー４２を傾斜させるための駆動電圧を小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】液体レンズを有する表示装置の視野角を広げる。
【解決手段】本発明の表示素子は、光源を有する透過型の表示装置に備えられる表示素子であって、内部に液体レンズを有し、光源からの入射光を透過させて出射するセルと、液体レンズが入射光を焦点させる位置に形成され、光を吸収する吸収体と、セルから出射する光を拡散させる拡散部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スクリーンに走査される映像に生じるスペックルノイズを低減することができるプロジェクションディスプレイ装置を提供すること。
【解決手段】光源と、光源からの出射光が同じく変調された変調光を予め設定された時間範囲内でＮ（Ｎは２以上の自然数）回繰り返して出射する光変調器と、Ｎ回繰り返して出射される変調光を反射して毎回スクリーンの同一位置に走査するミラーと、変調光が走査される度に変調光の偏光方向を回転させる偏光回転部と、を含むプロジェクションディスプレイ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、固定フレーム４に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、ヒンジ３の側方にヒンジ３に沿うように形成されており、その先端部が、可動板２のヒンジ３が接続された部位に形成された凹部２ｅの内側に位置するように配置されている。可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が凹部２ｅの側縁部に接触し、可動板２の側方への変位が制限され、外部から衝撃が加わってもヒンジ３の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】長期駆動時の信頼性を向上させるとともに、下部電極と外部との電気的接続が容易な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、ベース部材１０と、ミラー部２１と、ミラー部２１を両側から揺動可能に支持するとともに下部電極として機能する可動部２２と、可動部２２を支持するとともにベース部材１０に取り付けられる取り付け部２３とが一体的に形成されたチタンからなる基板２０と、基板２０の可動部２２上に設けられるとともに、周期的な電圧が印加されることによりミラー部２１を振動させる圧電膜３２と、圧電膜３２上に設けられた上部電極３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わっても櫛歯電極が破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、可動板２と固定フレーム４との間に設けられた櫛歯電極５と、可動板２のうち櫛歯電極５の近傍部位に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、固定フレーム４に向けて突設されており、可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が固定フレーム４に接触し、可動板２の側方への変位が制限される。従って、外部から衝撃が加わっても、櫛歯電極５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能な光学装置を提供すること。
【解決手段】 光学装置２は、基板１０と支柱２０ａ，２０ｂと片持ち梁２２ａ，２２ｂとミラー構造体３８と電極１２ａ，１２ｂを備えている。ミラー構造体３８の表面に形成されているアルミニウム膜３６で光ビームを反射することができる。Ｄ１側に静電引力を作用させると、片持ち梁２２ａ，２２ｂを基板１０に近づく方向に湾曲させることができる。片持ち梁２２ａ，２２ｂの先端に固定されたミラー構造体３８は片持ち梁と同じ方向に傾斜する。ミラー構造体３８を揺動軸２６の周りに揺動させることによって、光ビームの進行方向を大きく変えることができる。片持ち梁２２ａ，２２ｂは揺動軸２６に直交する方向に伸びている。このために、片持ち梁の長さに制限されることなく光学装置２を小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】隣り合う素子における揺動部について近接配置するのに適した二軸型のマイクロ揺動素子、並びに、そのようなマイクロ揺動素子を備えるマイクロ揺動素子アレイおよび光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、揺動部１０と、フレーム２０と、揺動部およびフレーム２０を連結して揺動部１０の揺動動作の軸心Ａ１を規定する一対の連結部４０と、支持基部３０Ａおよびこれから揺動部１０の側に延出するアーム部３０Ｂを有するフレーム３０と、フレーム２０，３０を連結してフレーム２０の揺動動作の軸心Ａ２を規定する一対の連結部５０Ａ，５０Ｂとを備える。連結部５０Ａは、揺動部１０および支持基部３０Ａの間においてフレーム２０とアーム部３０Ｂとに接続し、連結部５０Ｂは、揺動部１０および支持基部３０Ａの間においてフレーム２０と支持基部３０Ａまたはアーム部３０Ｂとに接続している。 （もっと読む）

【課題】固定部から伸びる可動梁で反射面を支持するマイクロメカニカル構造体において固定部を高くして反射面の揺動可能角度度を拡大する。
【解決手段】犠牲エッチング層を除去して形成したマイクロメカニカル構造体であり、基板４２と、基板から垂直方向に立ち上がっている固定部１１３と、固定部に連なっているとともに基板から間隙Ｈを隔てた高さを基板に平行に伸びている可動梁１１２ａ，１１２ｂと、可動梁の先端に連なっているとともに基板となす角度が変化する揺動板１１１と、揺動板の表面に形成されている反射面１６１を備えている。可動梁１１２ａ，１１２ｂが伸びている方向に測定した固定部１３１の幅Ｌが、基板１０に垂直方向に測定した可動梁１１２ａ，１１２ｂの厚みＴよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アドレス・レゾリューションが改善されたパターン作成装置の提供。
【解決手段】本発明に係る装置は、ある種類の画素マップをパターン・フィーチャーの内部に、別の種類の画素マップをフィーチャーの外部に、中間画素マップを境界線上に作成するようにされる。境界線上の中間画素マップが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態を有する位相変調素子の画素を含み、加工品に投影される位相変調空間光変調装置の画素に比べて微細なアドレス・グリッドで境界線上の配置によって作成される。境界線の露光レベルが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態に設定する位相変調素子の能力を使って作られ、中間画素マップに一致する中間変調状態に設定された位相変調素子の微小領域素子から反射された光の複素振幅を一体化した光の複素振幅により、微細なアドレス・グリッド及び前記境界線の露光レベルが作成される。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を用いることなく、迅速に作動させることができ、使用環境の制約が少なく、作動温度をより厳密に決めることができ、繰り返し使用することが可能となる可動部をラッチする温度ラッチデバイスを提供する。
【解決手段】所定の温度に応じて可動部を特定された位置にラッチする温度ラッチデバイスであって、
前記可動部は、温度変化に応じて固相である状態と液相である状態の間で繰り返し可逆的に変化する熱活性部材により、少なくとも一部が被覆された可撓性部材によって構成され、
前記構成体は、前記熱活性部材が固相であるとき剛性を有し、前記熱活性部材が液相であるとき柔軟性を有する構造とされている。 （もっと読む）