【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】広い波長範囲に亘ってシングルモードの高速な連続波長掃引が可能であり、且つ複数の出力光を出射できる波長掃引光源を提供する。
【解決手段】回動ミラー３０の反射面３２ａの角度変化に応じて共振器長を変化させ、半導体発光素子２２が出射する光の波長を所定範囲内で連続的に変化させるリトマン方式外部共振器型の波長掃引光源において、半導体発光素子２２から出射された光の一部を回折格子２５の所定入射位置Ｇに向けて反射させるとともに、回折格子２５から逆光路で戻された光の一部を半導体発光素子２２の低反射率面２２ａに向けて反射させ、残りの少なくとも一部を透過させるハーフミラー２４０と、回折格子２５から逆光路で戻されてハーフミラー２４０を透過した光を回動ミラー３０に対して非交差となる方向に反射させることにより第１の出力光Ｌ₁を外部に出射する第１の出力ミラー２４１を備える。 （もっと読む）

【課題】自由度連成振動系を構成した光走査装置において鏡面部の振動振幅を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、ミラー１３、内ジンバル１２、外ジンバル１１、支持部３、弾性連結部１６ａ，１６ｂ、弾性連結部１５ａ，１５ｂ、及び弾性連結部１４ａ，１４ｂが、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する３自由度連成振動系を構成する。このため、櫛歯電極部１７，１９と櫛歯電極部４ａ，４ｂとの間に電圧を印加して、固有の周期的外力を外ジンバル１１に作用させることにより、３自由度捻り振動子を共振状態にできる。そして、外ジンバル１１の回転角度が、外ジンバル１１に作用するトルクが最大となるときの外ジンバル１１の回転角度を含む予め設定された電圧印加角度範囲内（トルクが最大トルクの９０％以上となる範囲）にあるときに、電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】 厚さ寸法の異なるトーションバーまたは可動部を簡単にしかも高い精度で形成することのできるプレーナ型アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンからなる第１のウェハ１０の裏面側からエッチングして、トーションバー３，５または可動部４，６の少なくとも一方に対応する部位をトーションバー３，５または可動部４，６に応じた厚さが残るように除去して空隙を形成する工程と、第１のウェハ１０の裏面側に、シリコンからなる第２のウェハ１３を貼り合わせる工程と、第１のウェハ１０の表面をエッチングして可動部４，６、トーションバー３，５および固定部２以外の部分を除去する工程と、第２のウェハ１３の裏面をエッチングして固定部２以外の部分を除去する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高コストを招く恐れのある３次以上の高次関数を用いることなく、それらと同等の効果的なクロストークとRabbit Earの抑制を実現できる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】算出部１７は、制御変数Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための軸電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、そのＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する駆動電圧を算出して、この駆動電圧に対応する電極に印加する。比較器１３は、検出結果の目標値に対する偏差を求める。加算器１５は、その偏差に応じた補償量を制御変数Ｖｔに加算して、偏差を制御変数Ｖｔに負帰還する。これにより、２つの軸を有するミラーの動作を１つの制御変数Ｖｔによって高次関数を用いることなく制御することが可能となるので、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を両立するミラーの動作を、低コストで実現することができる。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバーを介してミラー部がフレームに対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)とを交互に積層した応力制御層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板１１と、光反射基板１１を支持する一対の梁１３と、を有する第１振動子１０と、第１振動子１０の一対の梁１３をねじれ変形させて光反射基板１１を一定の周波数で駆動させる磁石１４およびコイル１５と、第１振動子１０と同一面に設けられた副振動子２０と、副振動子２０を一定の周波数で駆動させる磁石２４およびコイル２５と、を備え、副振動子２０の駆動する周波数が第１振動子１０と同一で、かつ、位相が逆位相である。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板１１と、光反射基板１１を支持する梁１３と、を有する第１振動子１０と、可動基板２１と、可動基板２１を支持する梁２３と、を有する副振動子２０と、第１振動子１０および副振動子２０の梁をねじれ変形させて駆動軸Ｘまわりに駆動させる磁石１４，２４とコイル１５，２５と、を備え、第１振動子１０の駆動軸Ｘに沿って各梁１３，２３が配置されることで、第１振動子１０および副振動子２０が駆動軸Ｘに対して直列に配置され、副振動子２０の駆動する周波数が第１振動子１０と同一で、かつ、位相が逆位相である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の損傷を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と第一梁２を介して連結され、この第一梁２およびミラー部１の外周を囲う可動枠３と、この可動枠３と第二梁４を介して連結された支持体５と、第一梁２および第二梁４のそれぞれの中心軸を中心にミラー部１を反復回転振動させる駆動手段と、可動枠３のＸ軸方向またはＹ軸方向の少なくとも一方の振動を抑制する抑制手段とを備えたものとした。これにより本発明は、可動枠３の過剰な振幅を抑制でき、結果として光学反射素子の損傷を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】壁電極を用いるミラーアレイを備えるＭＥＭＳ素子が、より容易に製造できるようにする。
【解決手段】第１電極パターン１１３に溝部１１３ａを形成する。同様に、第２電極パターン（不図示）にも溝部を形成する。例えば、公知の技術となっているＳｉの深堀加工技術であるＤＲｌＥエッチング技術で、ＳＦ₆をエッチングガスとして用いることで、上述したエッチングが行える。ここで、溝部１１３を形成するエッチングでは、形成した溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残るようにエッチング時間を制御する。例えば、実験などにより、予めエッチングレートを測定しておき、このエッチングレートより、溝部１１３ａの底部に、第１電極パターン１１３（シリコン層１０３）が残る処理時間を算出し、この算出結果を上記エッチングに適用させればよい。 （もっと読む）

【課題】近赤外線に対する受光感度やダイナミックレンジを高めることを可能にして、車載用赤外線イメージセンサーに必要な高速性や、暗所監視イメージセンサーに求められる高感度化、高ダイナミックレンジ化を実現することが可能な撮像素子を提供する。
【解決手段】撮像素子１は、近赤外線ラインセンサー部２と近赤外線反射可動ミラー部３とからなる。近赤外線ラインセンサー部２は、ｐ型シリコン基板１１の上面１３側の一部にｎ型シリコン領域１２を形成してなるものであり、ｎ型シリコン領域１２は、ｐ型シリコン基板１１の側面１４側から入射する近赤外線の入射方向に沿って、その長さが数１０μｍ〜数１００μｍとなるように形成されている。シリコン層２４とシリコン基板２２との間にはミラー駆動用回路が形成され、ミラー駆動用電圧が印加されることにより、シリコン層２４の可動部２４ｂが斜め下方に傾く。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの磁石（２２）を備える投影露光システム用のアクチュエータであって、磁石を、マイクロ技術製造法により製造した磁石保持板（１２）で封入及び／又は支持し、これは、移動マニピュレータ表面（２３）を、付加的な接続材料を用いずに一体接続又は結合接続により磁石保持板で保持することにより、確実な接続を得るような方法で行う。 （もっと読む）

【課題】複数の微小なミラーを用いて、光源からの光をマルチビーム化する技術において、マルチビーム化された各ビームの位相を簡易な構造で制御する。
【解決手段】パターンを描画する描画装置１に、複数の微小ミラーを備えた空間光変調デバイス２、各微小ミラーに与える開始信号によって各微小ミラーの偏向動作の開始タイミングを制御するミラー制御部、および、位相を反転させる平行平面板４４を設ける。レーザ光を所定の周期Ｔで照射しつつ、各微小ミラーが偏向を開始するタイミングを個々のミラーごとにミラー制御部によって制御する。これにより各微小ミラーによって形成される各ビームの進行方向を制御して、正位相とするビームをアパーチャ４５に導くとともに、逆位相とするビームのみをアパーチャ４６および平行平面板４４に導いて位相を反転させる。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動式でミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光学装置において、駆動コイルの最外周配線長を長くし、揺動可能に支持された可動部の駆動トルクを大きくする。
【解決手段】電磁駆動式の光学装置において、可動部と離反させて駆動コイル設置部を設置する。ミラーは可動部の上方に固定されており、駆動コイル設置部は、可動部の下方に設置され、接続部によって互いに固定されている。磁界中で駆動コイル設置部に配線された駆動コイルに電流が流れると、駆動コイル設置部にローレンツ力が作用し、接続部によって固定された可動部と駆動コイル設置部とは一体となって揺動する。駆動コイルが設置される駆動コイル設置部は、可動部と別に設置されているため、駆動コイル設置部の外周を可動部の外周より大きくし、駆動コイルの最外周配線長さを大きくすることができる。これによって、可動部の駆動トルクを大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】遅延干渉計における遅延量の可変範囲が広く、かつ、外来振動等の影響を受けても所要の遅延量を安定して実現できる、差動位相変調信号光の復調装置を提供する。
【解決手段】復調装置は、入力されるＤＰＳＫ信号光をハーフミラー１１で２分岐して第１および第２の光路Ｐ１，Ｐ２にそれぞれ送る。第１の光路Ｐ１上には、ＭＥＭＳミラー１２、第１レンズ１３および階段状ミラー１４が配置されており、ＭＥＭＳミラー１２の角度に応じて階段状ミラー１４での光を折り返し位置が変わることで、第２の光路Ｐ２を往復した信号光に対する第１の光路Ｐ１を往復した信号光の遅延量を段階的に可変設定することができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーチップと電極基板の間隔のばらつきの発生や可動ミラー部の光学特性の低下が防止されたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、マイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０の間隔を規定するスペーサー１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０は、電極基板１３０に対向する面に設けられた４つの電極１２２を有し、電極基板１３０は、マイクロミラーチップ１１０に対向する面に設けられた４つの電極１３４を有している。これらの電極１２２，１３４は、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０の相対位置を一定に保つための静電引力を発生させるためのものであり、互いに対向している。 （もっと読む）

【課題】実在感に優れ、かつ高精細な空間像の形成が可能な空間像表示装置を提供する。
【解決手段】空間像表示装置１０Ａは、複数の画素２２を有し映像信号に応じた２次元表示画像を生成する表示部２と、画素２２の各々に対応して設けられ、画素２２の各々を通過する光を集光する複数のマイクロレンズ１１からなる第１レンズアレイ１と、この第１レンズアレイ１を通過して集光された光を平行光もしくは収束光に変換して射出する第２レンズアレイ３とを備える。表示部２の各画素２２を透過する光は、第１レンズアレイ１１によって集光されたのち、第２レンズアレイ３に向かう。このため、各画素２２から第２レンズアレイ３に入射する光は、あたかも点光源から射出された光のように振る舞い、第２レンズアレイ３において平行光または収束光に容易に変換される。 （もっと読む）

【課題】可動板を複数配列して構成した小型で安価なプレーナ型電磁アクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状に形成された一つのヨーク部材５の内側に、固定部１に夫々トーションバー２で回動可能に軸支され、間に少なくとも前記固定部１を介在させた状態で少なくとも一列に整列配置された複数の可動板３と、該各可動板３の周縁部に沿って敷設した駆動コイルと、前記複数の可動板３を間にして互いに反対磁極を対向させて前記固定部１の外側に設けられ、前記複数の可動板３の前記トーションバー２の軸線に平行な対辺部近傍の前記駆動コイル部分に静磁界を作用する一対の静磁界発生手段４と、を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】可動部の軽量化を十分に図ることが可能な光走査装置用揺動ミラー、及び、該光走査装置用揺動ミラーを備える光走査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】固定部３１ａ、３１ｂ、可動部３２、及び、固定部３１ａ、３１ｂに対して可動部３２を揺動可能に支持する支持部３３ａ、３３ｂを有する基板３と、可動部３２の一方の面側に設けられるミラー部４と、可動部３２とミラー部４との間に介装される平面コイル５とを備えることを特徴とする光走査装置用揺動ミラー２、及び、該光走査装置用揺動ミラー２を備える光走査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造でありながら、より自然な空間像を形成可能な空間像表示装置を提供する。
【解決手段】空間像表示装置１０では、映像信号に応じた２次元表示画像が表示部２によって生成される。表示部２における一群の画素２２に応じた表示画像光が、その一群の画素２２に対応する一の液体光学素子４１によって一括して波面変換され、かつ、一括して偏向される。このため、一の画素２２に対して一の液体光学素子４１を設けるようにした場合と比較した場合、表示部２におけるフレームレートを高めなくとも、より多くの異なった２次元の表示画像光が水平面内の異なる方向に向けてそれぞれ一度に射出されることとなる。 （もっと読む）