【課題】対をなす作用点どうしの距離を短くでき、作用点の駆動力を大きくすることができ、さらに１部材によって作製可能にすることのできるバネの構造を提供する。
【解決手段】作動部材６３は第１の支持軸６５によって中央近辺を回動自在に支持されている。作動部材６３の左右両側には、支持軸６５を挟んで両側にそれぞれ連動部材６４ａ、６４ｂが配置されている。連動部材６４ａ、６４ｂは、第２の支持軸６９によって回動自在に支持され、また作動部材６３に回動自在に連結されている。支持軸６９は作動部材６３と６４ａ、６４ｂの連結箇所よりも支持軸６５に近くなっており、支持軸６９よりも支持軸６５に近い箇所に作用点部分７０が定められている。 （もっと読む）

【課題】あらゆる規模の光学系器材に適用でき、伝送するレーザ光に直接影響を与えず、温度や振動等の影響によりレーザ光を伝送するミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置の提供。
【解決手段】１以上の第１ミラー（アクチュエータ付きミラー６，９）と、ガイドレーザ光照射部２と、第１ミラーのいずれかに達するまでの光路上に設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射するミラー付きシャッタ５と、１以上の第１ミラーの各々の後段に対応して設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射する１以上の第２シャッタ（ミラー付きシャッタ７，８）と、反射されたガイドレーザ光の位置を検知する４象限検知器１２と、ガイドレーザ光の位置と予め設定された基準位置とに基づいて１以上の第１ミラーの各々における角度ずれを算出して補正するコントローラ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振器から照射されるレーザ光を機械的に制御することで、レーザ光のプロファイルを制御したり出力を制御したりすること。
【解決手段】レーザシャッタユニット１は、レーザ発振器２０から照射されたレーザ光Ｌを透過させる透過状態と、レーザ光Ｌを遮断する遮断状態とを切り替える。レーザシャッタユニット１は、レーザ発振器２０から照射されたレーザ光Ｌの一部を反射可能な前方反射ミラー１０ａと、レーザ光Ｌの残部を反射可能な後方反射ミラー１０ｂと、前方反射ミラー１０ａに設けられて前方反射ミラー１０ａを駆動する前方駆動部１５ａと、後方反射ミラー１０ｂに設けられて後方反射ミラー１０ｂを駆動する後方駆動部１５ｂと、を備えている。前方駆動部１５ａの前方反射ミラー１０ａを駆動する速度は可変となり、後方駆動部１５ｂの後方反射ミラー１０ｂを駆動する速度は可変となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型かつ低消費電力で、高感度の傾動駆動を実現できる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１の方向に延在し、駆動対象物３０を前記第１の方向の両側から支持する１対の中心梁４０、４０ａと、
前記第１の方向と略直交する第２の方向に平行に延在する複数の梁５７、５７ａ、５８の、隣接する端部同士が両端で交互に連結されたジグザグ状の梁群を含んで構成されるとともに、各梁が圧電素子２０を備え、該圧電素子の伸縮変形により前記第２の方向の傾き角度の蓄積が可能な１対の蛇行型梁５０、５０ａと、
前記駆動対象物、前記中心梁及び前記蛇行型梁を取り囲む固定枠１２０と、を有する圧電アクチュエータであって、
前記１対の蛇行型梁は、一端が前記固定枠に連結され、他端が前記固定枠との連結位置から遠い方の前記中心梁の端部に連結されるとともに、前記駆動対象物及び前記中心梁を両側から囲むように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】カバーガラス２００は、平板状の直方体であって、カバーガラス底面２０２には、ＣｄＳを蒸着して形成される光検出部材が設けられる。光検出部材は、第１から第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ１−ＰＤｘ６と、第１から第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ１−ＰＤｙ６とから成る。第１のマイクロミラー装置１０は、カバーガラス底面２０２上において、第１の可動部１２０が、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間まで、第２の可動部１３０が、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を反射するように制御される。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いて作製されるミラー構造体の両面に、より容易に所望とする形状の金属膜が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜１０６の表面に電着レジストを電着することで、電着レジスト層１０７を形成し、電着レジスト層１０７をフォトリソグラフィーによりパターニングし、ミラー部１３１の金属パターン１４１と対向する領域に、電着レジストパターン１７１を形成する。電着レジストパターン１７１は、ミラー部１３１の裏面側の金属パターン１４１に対向して形成する金属パターンの領域を被覆するように形成する。 （もっと読む）

【課題】自由空間伝搬を用いた光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸合わせを高い周波数応答性で行なうことができる可動鏡機構を提供する。
【解決手段】保持基板２６に固定された反射鏡２７と、保持基板２６を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータ２３と、上記保持基板と枢結し、上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段２２と、引っ張り手段２２とアクチュエータ２３とを持設する支持基板２１と、上記アクチュエータを制御する制御器と、を備えるものである。上記引っ張り手段と上記保持基板とを、円環状の板ばね等の回転対称性を有する板バネ、圧縮バネあるいは引っ張りバネなどで枢結してもよい。上記の制御器は、保持基板２６と引っ張り手段２２とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた固定電極と可動ミラーに設けられた可動電極とが可動ミラーの揺動軸と電極面が垂直となっている光学装置において、固定電極と可動電極の電極面を大きくすることと、可動ミラーのミラーサイズを大きくすることとを両立させる。
【解決手段】可動ミラーの下方に、可動ミラーが揺動する揺動軸と電極面が垂直となるように固定電極と可動電極を設置する。可動電極は可動ミラーの下面から下方に延びており、固定電極は基板から可動電極に向けて延びている。可動電極と固定電極が可動ミラーの下方に設けられるため、可動電極を設ける領域を可動ミラーの表面に確保する必要がない。材料基板の面積に対してミラー面積を大きく取ることができ、開口率を大きくすることができる。固定電極と可動電極は、可動ミラーの揺動角の検出装置や、静電駆動式アクチュエータとして利用できる。 （もっと読む）

【課題】従来の反射ミラー駆動機構は、コイル磁石から発生される磁力の向き及び大きさを制御して反射ミラーの角度を決定してレーザ光線を走査させるので、より確実に反射ミラーを回転揺動させるためにヒンジの反発力よりも大きな駆動力が必要となり、消費電力が大きくなっている。
【解決手段】本発明による反射ミラー駆動機構では、反射ミラー３０は、フレクチャヒンジ体２０を介して枠体１０に取付けられている。フレクチャヒンジ体２０には、トルカ４０と角度検出器５０とが設けられており、駆動制御部６０は、角度検出器５０からの角度信号５０ａに基づいてとるか４０への入力電流６０９ａを制御して、反射ミラー３０を共振周波数ｆ_０で回転揺動させる。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成でありながら、所望の光学的作用を高精度に調整することのできる可変焦点レンズを提供する。
【解決手段】 互いに対向配置された透明基板３２および透明変形部材３３と、これらの間に充填された透明材料からなる充填層３５と、透明基板３２の表面３２Ｓおよび透明変形部材３３の表面３３Ｓにそれぞれ設けられた透明電極層３６，３７とを備える。透明電極層３６，３７間に電圧を印加することにより、その層面に沿った方向に電界強度分布が形成される。その電界強度分布に応じて透明変形部材３３が変形するので、所望の非球面形状を高精度に確保しつつ、焦点距離を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数が充分に高く、且つ、揺動時に変形し難い揺動部材を備えたＭＥＭＳデバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】揺動軸周りに揺動可能な板状の揺動部材１１を備えるＭＥＭＳデバイス１であって、揺動部材１１は、肉抜部２２と非肉抜部２３とを同一平面上に有し、非肉抜部２３は、揺動軸と該揺動軸に直交する直交軸との交点Ｃを中心とする第１楕円２５ａが内接可能な内縁部２５と、該交点Ｃを中心とする第２楕円２６ａが外接可能な外縁部２６とを具備する補強部領域２７を有し、交点Ｃから第１楕円２５ａ及び第２楕円２６ａの径方向に延びる直線Ｌと揺動軸とが成す角度θ（但し、θは０°≦θ≦９０°）が大きくなるにつれて、直線Ｌに沿った第１楕円２５ａと第２楕円２６ａとの距離Ｄが小さくなることを特徴とするＭＥＭＳデバイス１を提供する。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳを用いた広角の光スキャナを実現する。
【解決手段】
光マイクロスキャナは、曲面反射板３０を用いて広い回転角を実現する。本光マイクロスキャナは、入射ビーム２５を受信し反射して反射ビーム３５を生成する可動ミラー３０と、可動ミラー３０の直線変位を発生させる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ４０とを含む。曲面反射板は、可動ミラーの直線変位に基づいて反射ビーム３５の角度回転θを発生させる。 （もっと読む）

【課題】梁の一部に形成されたステップ部、又はテーパ部にかかる応力集中が軽減される光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａ、３ｂと、駆動部４ａ〜４ｄと、固定部５と、延出部６ａ〜６ｄとを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面７を備える。可動梁３ａ、３ｂは、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとから構成される。延出部６ａ〜６ｄは、各々、反射面７に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ちＸ軸方向において、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとが連結する連結部ＣＰの近傍の両側から延出する。 （もっと読む）

【課題】制御帯域が広く高効率なミラーチルトアクチュエーターを提供する。
【解決手段】ミラーホルダ３は、ミラー２を保持する。ミラーホルダ３は、台座に、少なくとも２方向に傾斜可能に保持される。駆動手段は、ミラーホルダ３を台座から傾斜させる。トーションバー４は、一端がミラーホルダ３の中央部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、一端がミラーホルダ３の周辺部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ５ａ〜５ｄは、ミラー面と平行な面内に延在し、かつ、屈曲部を少なくとも１か所有する。 （もっと読む）

【課題】小さな駆動電圧で、光スキャナの大きな光学振れ角を得られる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａと、駆動部４ａ、４ｂと、固定部５とを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面６を備える。可動梁３ａは、第１梁部７ａと、第２梁部８ａ、８ｂとから構成される。第１梁部７ａは、反射ミラー２に連結する。第２梁部８ａ、８ｂは、第１梁部７ａ、及び固定部５に連結する。駆動部４ａ、４ｂは、各々、第２梁部８ａ、８ｂと固定部５とに跨って設けられ、可動梁３ａを振動させる。第２梁部８ａ、８ｂは、各々、反射面６に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ち、Ｘ軸方向において、第１梁部７ａと第２梁部８ａ、８ｂとが連結する連結部ＣＰの近傍における第１梁部７ａの連結梁１１ａ、１１ｂよりも幅広い。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡易な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器用アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 支持体４０に支持された圧電アクチュエータ４２ａ，４２ｂが、光源からの光を偏向する光偏向器を搭載する台座４３を並進振動させることにより、光偏向器による反射光に微小な光路差を付与する。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する構成のマイクロ構造体において、トーションバーの端部の形状不安定およびこれに伴うマイクロ構造体の特性ばらつきを抑制する。
【解決手段】マイクロ構造体１は、第１層からなる部分および前記第１層よりも下側の第２層からなる部分を含むフレーム３と、第１層からなる部分および第２層からなる部分を含む可動体２と、第１層からなりフレーム３の第１層からなる部分と可動体２の第１層からなる部分とを連結して可動体２を揺動可能に支持する揺動支持部４と、を備える。そして、揺動支持部４のフレーム３側の端部が、フレーム３の第２層からなる部分によって下方から支持され、揺動支持部４の可動体側２の端部が、可動体２の第２層からなる部分によって下方から支持されている。 （もっと読む）

【課題】駆動手段に入射した光による迷光を低減することのできる光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、外部から入射される光の分布範囲Ｂ内に配置され、当該光を反射する金属膜１１を有する可動板１０と、可動板１０を軸Ａ周りに揺動可能に支持する軸部材２０と、可動板１０に設けられる永久磁石６１と、永久磁石６１との間に電磁力を発生させ、可動板１０を揺動させるように構成されたコイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３とを備え、コイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３における光の分布範囲Ｂ内に含まれる部分が、光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている。 （もっと読む）

【課題】従来のフォトニック結晶を用いた光偏向素子と比較して、より大きな偏向角度が得られる光偏向素子を提供する。
【解決手段】第１方向で伝播された入射光Ｌ_inが入射する入射端面２０、入射端面２０から入射されて伝播する伝播光を反射する反射面２２、及び反射面２２で反射された伝播光が第１方向とは異なる第２方向に出射光Ｌ_outとして出射する出射端面２４を有するフォトニック結晶１８を備え、入射端面２０及び出射端面２４における２度のスーパープリズム効果により、第２方向と出射端面２４の法線とが成す出射角が、第１方向と入射端面２０の法線とが成す入射角又は入射光の波長に応じて変化して、光伝播方向を偏向する光偏向素子とする。 （もっと読む）

【課題】組み立て時の応力や、組立後の水分や温度変化よるミラー姿勢の変化を可及的に低減し、ミラー揺動軸の初期姿勢精度を向上させる。
【解決手段】 表面は反射面となっており共振振動により揺動する可動子を有するプレート部材と、可動子を共振駆動するアクチュエータと、プレート部材とアクチュエータを保持するホルダと、を備えた光偏向装置であって、前記プレート部材は金属支持部材を介してホルダに保持される構成で、プレート部材と前記金属支持部材がろう接によって一体的に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）