【課題】 二つのバネで支持される光路変更板が、光路を変更させるための回転以外の振動しないようにする。
【解決手段】 光路変更板７と平行な回転軸の周りに光路変更板７および保持部材８が回転するように保持部材８を支持する回転軸と平行な２個の板バネ１４ａ、１４ｂと、保持部材８に設けられた開口８ａに取り付けられるコイル９と、コイル９に流れる電流を制御する駆動回路１０と、コイル９が存在する空間の少なくとも一部に磁界を発生させる磁界発生部１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂとを備え、少なくとも１個の板バネ１４ｂを、コイル９に作用する力の方向に垂直な平面である作用力垂直面に対して平行でない所定の角度をなすように配置する。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡を含む複数の光学装置に対して光源からの光を同時に供給、かつ瞬時にその光量を変更することができる光源装置と、これを有する光学装置を提供すること。
【解決手段】光源１１〜１４と、複数の光出力部４１〜４３と、それぞれの傾きが変更可能な複数の反射部材を有する反射光学部材３０と、前記複数の反射部材それぞれの傾きを制御する制御部３２とを有し、前記反射光学部材は、前記反射光学部材に入射した前記光源からの光束を、前記制御部により前記複数の反射部材それぞれの傾きを調整して前記光束を複数に分割して同時に前記複数の光出力部にそれぞれ射出することを特徴とする光源装置１と、これを有する光学装置。 （もっと読む）

【課題】色収差が良好に補正された屈折力可変素子を提供する。
【解決手段】互いに異なる屈折率を有する第１液体１０１と第２液体１０２とにより形成される第１界面１０７と、互いに異なる屈折率を有する第２液体１０２と第３液体１０３とにより形成される第２界面１０８との各形状を変化させることによって屈折力を変化させることができる屈折力可変素子１００であって、第１界面１０７の屈折力の符号と第２界面１０８の屈折力の符号とが互いに異なるように、第１界面１０７および第２界面１０８の形状をそれぞれ変化させる。 （もっと読む）

【課題】 トーションバー上に電気配線を設けることなく、可動部を適正に動作させることができ、電気配線の劣化による動作不良などを確実に防止することのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２およびこの固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４を電気的に遮断された領域に分割する固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６を設け、可動部４の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成され駆動コイル８の端部に接続された可動部側駆動用電極９と、固定部２の固定部側絶縁部５および可動部側絶縁部６により分割された領域に形成された固定部側駆動用電極１０とは、トーションバー３を介して電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来の光偏向器においては、ミラーの角度検出センサとしての圧電センサがミラーの側辺に固定されていたために、ミラーに分散する応力が比較的大きくてミラーの変形を招き、他方、圧電センサに分散する応力は比較的小さく、従って、圧電センサの変位量は小さく、圧電センサの圧電起電力は小さかった。
【解決手段】ミラー２は円形反射面を有し、支持体１の空洞部１ａ内に位置する。１対のトーションバー３、４はミラー２を揺動可能に支持する。トーションバー３に作用する圧電アクチュエータ５、６を設け、トーションバー４に作用する圧電アクチュエータ７、８を設ける。半環状の圧電センサ９、１０はミラー２の外周側にスリットを介してトーションバー３、４のミラー２側付け根に連結される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の上下面に形成された電極の導電性接着剤による短絡を確実に防止すると共に、圧電素子の駆動効率の向上を図ることができる光スキャナを提供する。
【解決手段】ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナにおいて、表面に導電性を有して前記ミラー部を揺動可能に支持する基板と、前記基板の表面に接着されて前記ミラー部を揺動軸回りに揺動させる圧電素子と、前記圧電素子の前記基板の表面に対向する面に形成された下部電極と、を備え、前記圧電素子は、該圧電素子の周縁部よりも内側に設けられた導電性接着剤によって、前記下部電極が前記基板表面に電気接続されて接着されると共に、前記導電性接着剤の周りに設けられた絶縁性を有するアンダーフィル材によって該基板表面に接着される。 （もっと読む）

【課題】ユーザが自身の頭部を、従ってユーザの目を所定の位置から外れて動かす場合、立体画像は歪められる。
【解決手段】本発明は、イメージング層９とレンズ層１０とを有する自動立体視表示装置に係る。レンズ層１０は、異なる内容を、イメージング層９からユーザの夫々左目及び右目まで投影する役割をはたす。レンズ層１０は、異なる屈折率を有する２つの流体１３，１４を封入するレンズセル１２を有する。流体間の界面の形状は、各レンズセル１２の側部において２つの個別に制御可能な電極２１，２２を用いてエレクトロウェッティングを使用して変更され得る。表示装置は、ユーザ頭部トラッキング装置、及び、検出されたユーザ頭部の位置に依存してレンズセルの電極を制御する手段を更に有する。これによって、表示装置は、ユーザが自身の頭部を動かす場合でも正確な３Ｄ画像を表示し得る。 （もっと読む）

【課題】ミラー部において光を精度よく反射させることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｙ１側に形成された端部３１ａと、Ｙ２側に形成された端部３１ｂと、端部３１ｂ側に形成された接続部３１ｃとを含み、Ｙ方向に沿って直線状に延びるとともに、片持ち梁状の駆動部３１と、駆動部３１の接続部３１ｃと接続され、駆動部３１の駆動時に接続部３１ｃと略同じ傾斜になるように構成されたミラー支持部３２と、ミラー支持部３２により接続部３１ｃにおける傾斜と略同じ傾斜になるように支持されることによって、Ｘ方向に延びる回動中心Ｒ２回りに回動されるＸ方向光走査部１０とを備え、回動中心Ｒ２は、駆動部３１の非駆動状態において駆動部３１の端部３１ａと接続部３１ｃとを結ぶＹ方向に延びる直線（接線Ｃ１およびＤ１）の略中央Ｒ４を通る位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、捩じり軸部の他端に支持されつつ、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、枠体に対して一端を固定されて弾性変形する枠側捩じり軸部と枠側捩じり軸部の他端に支持されつつ、静電力により電極に引き付けられて枠体に対して揺動する可動部と可動部に支持されて、可動部と共に基板に対して揺動する反射鏡とを備える。 （もっと読む）

【課題】支持部に対する回動軸の衝突を抑制でき、もって、円滑な動作を実現可能なミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラー１５０をチルト方向に回動可能に支持する支軸１１１の両端には、抜け止め用のＥリング１１７ａ、１１７ｂが装着されている。これら２つのＥリング１１７ａ、１１７ｂのうち、右側のＥリング１１７ａのみを磁性材料により構成する。このＥリング１１７ａとマグネット１３２との間に働く磁力により、支軸１１１が右側に付勢される。よって、ミラー１５０のパン方向駆動時に、支軸１１１が左右に移動するのが抑制され、軸受け１１６ａに対する支軸１１１の衝突を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部の磁石を設置するためのスペースを小さくする。
【解決手段】 可動部の上面に上部磁石が設置されており、下面に下部磁石が設置されている。上部磁石は、可動部から突出して可撓梁の上方または側方に可撓梁と離間して延在している上部延在部を有しており、下部磁石は、可動部から突出して可撓梁の下方または側方に可撓梁と離間して延在している下部延在部を有している。可動部が設置されていない領域（可撓梁の上方、下方、側方）に磁石（上部磁石、下部磁石）が突出しているので、磁石の平面方向の面積に対して、可動部の磁石を設置する部分の面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の平面度を改良した光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー部４は、金属基板１上にシリコン基材にミラー面が形成されたシリコンミラー８が弾性接着剤９を介して貼り合わせて形成されている。 （もっと読む）

【課題】可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部に永久磁石を設置することによって可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることを抑制する。
【解決手段】可動部に設置する磁石が上部磁石と下部磁石との２つの部材に分かれている。上部磁石は可動部の上面に設置され、下部磁石は可動部の下面に設置されるため、可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることが抑制される。また、上部磁石の第１磁極と下部磁石の第２磁極が可動部を介して対向しており、磁力によって上部磁石および下部磁石が可動部に固定される。可動部に磁石を固定するために用いる接着剤量を減少させることができるため、接着剤の重量によって可動部の重心が可動部の揺動中心からずれることが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 可動部の揺動動作による空気の流れが発生した場合でも、可動部を安定して揺動動作させることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部と、固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、可動部４の一面側に取付けられた整流部材５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 駆動コイルへの通電量を増やすことなく、可動部の大きな振幅を得ることができるとともに、可動部の揺動動作の微調整を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 枠状の固定部２と、固定部２の内側にトーションバー３を介して可動自在に支持された可動部４と、可動部４に設置され可動部４を駆動するための渦巻き状に形成された第１駆動コイル５と、固定部２に設置された揺動用コイル６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光偏向装置において、ミラー密着力とフィルファクターとを同時に高めることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と可動部とコア部と表面部材を備えている。可動部は、基板に対して揺動可能に支持されている。コア部は、可動部の一部から反基板側に伸びている。表面部材は、コア部の頂面を覆う部分と、可動部から立設しているとともにコア部を一巡するループに沿って伸びている側面部分と、その側面部分の上端から外側に向けて可動部の上面と平行に伸びている展開部を備えている。その表面部材は、コア部を形成するコア部形成材料と異なるとともに光を反射する材料で形成されている。その表面部材の少なくとも一部が、可動部を垂直方向から見たときに、可動部の輪郭の外側に至っている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、周囲温度が変化した場合であっても可動部の揺動角度を精度よく検出できるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状の固定部の内側にトーションバーで揺動可能に支持された可動部を有し、この可動部を揺動駆動するプレーナ型アクチュエータであって、可動部の揺動動作による応力の影響を受けて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ２と、可動部の揺動動作による応力の影響を受けても抵抗値が変化せず抵抗温度係数の小さい抵抗素子１３，１４とで構成したブリッジ回路２１を備え、ブリッジ回路２１は、一方の対辺２１ａ，２１ｃに抵抗素子１３，１４を配置し、他方の対辺２１ｂ，２１ｄにピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ２を配置し、ブリッジ回路２１の出力値Ｖｏｕｔに基づいて可動部の揺動角度を検出する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイス内の少なくとも１つの可動ミラーの動きを、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に基づいてモニタする。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス内の少なくとも１つの可動ミラーの動きを、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に基づいてモニタする方法であって、可動ミラーが平面ミラーの場合、可動ミラーを動かすために必要な駆動電圧に加えて、直流電圧をＭＥＭＳデバイスに印加するステップと、可動ミラーの動きに関連した容量変化に比例する電流を測定するステップと、測定電流に基づいて可動ミラーの動きをモニタするステップとを有する。また、可動ミラーがスタガミラーの場合、可動ミラーの動きに関連した電流を測定するステップと、測定電流において、ＭＥＭＳデバイスの容量の時間的変化に関連した複数のリップルを識別するステップと、識別された複数のリップルに基づいて可動ミラーの動きをモニタするステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】より大きな振幅が容易に得られる２次元光走査装置を得る。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面２を有する第１可動部４の外側に第２可動部６を設けて弾性を有する第１梁８，１０により連結し、また、第２可動部６の外側に第３可動部１２を設けて弾性を有する第２梁１４，１６により連結し、更に、第３可動部１２の外側に固定部１８を設けて弾性を有する第３梁２０，２２により連結する。第３可動部１２の可動電極２８ａ，３０ａと固定部１８の固定電極３６，４２とを対向して配置する。かつ、可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との間に電圧を印加して可動電極２８ａ，３０ａと固定電極３６，４２との間の静電気力により第３可動部１２を第３梁２０，２２の廻りに振動させて第１可動部４と第２可動部６とを共振させる加振制御部５０を備えた。 （もっと読む）

【課題】デバイス本体に不要な応力がかかるのを抑制しつつ、外部物体との接触によるボンディングワイヤの破損を防止することが可能なＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され複数のパッド１３を一表面側に備えたデバイス本体１、デバイス本体１の上記一表面側に接合された表面側保護基板２、デバイス本体１の他表面側に接合された裏面側保護基板３を有するＭＥＭＳチップＣと、ＭＥＭＳチップＣが実装された実装基板５とを備える。表面側保護基板２は、デバイス本体１の各パッド１３それぞれを全周に亘って露出させる複数の貫通孔２０２が形成され、且つ、各貫通孔２０２それぞれに各別に連通するととともに貫通孔２０２側とは反対側が開放されデバイス本体１のパッド１３と実装基板５の導体パターン５０２とを電気的に接続するボンディングワイヤを通す複数の溝部２０３が形成されている。 （もっと読む）