【課題】簡明な構成で、異なる波長の光を任意に選択して出力可能な出力波長選択型のレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、波長変換部に複数の波長変換光学素子を有し、レーザ光出力部から出力された基本波レーザ光を波長変換して出力するレーザ装置である。そのうえで、複数の波長変換光学素子を透過して出射される複数波長の多成分光を個々の波長の光に分光するプリズム５１と、プリズム５１を回動させる回動ステージ５５と、回動ステージ５５の作動を制御するステージ制御部８０とを備え、ステージ制御部８０は、選択された波長の光が出力ポート３ｐから出力されるように回動ステージ５５の作動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 温度変化があっても分散特性の変化が十分に小さい分光装置とそのような分光器を使用した波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光器は、分散素子と、温度変化に対して出射光線の角度が変化するプリズムと、プリズムと分散素子の間に配置された入射光線の入射角度を比例拡大した角度で光線を出射する光線角度拡大光学系と、を備えることを特徴とする。また、本発明に係る波長選択スイッチは、上述した分光器を含んで構成されることを特徴とする。これにより、温度変化があっても分散特性の変化を十分に小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動精度を保ちつつ、可動部に対する給電を円滑に行い得るミラーアクチュエータおよびこのミラーアクチュエータを搭載したビーム照射装置を提供する。
【解決手段】ミラーアクチュエータ１は、支軸２４について回動可能なミラーユニットフレーム１１と、支軸１７に配されたミラー１９と、マグネットユニット２０とミラーユニットフレーム１１とを連結するサスペンションワイヤー２６ａ〜２６ｆと、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７とを連結するサスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄとを備える。サスペンションワイヤー１６ａ〜１６ｄ、２６ａ〜２６ｆにより、ミラーユニットフレーム１１に装着されたチルトコイル１１ｂと、支軸１７に装着されたパンコイル１２ｂ、１３ｂに給電でき、ミラーユニットフレーム１１と支軸１７に対し、一定かつ安定的な抗力が付与される。 （もっと読む）

【課題】波長選択スイッチにおいて、チャネルに依存しない波長ずれの変動を簡単な構成で補正する。
【解決手段】波長多重通信システムで使用される波長選択スイッチは、入力ポートに入射した波長多重信号を分波する波長分波部と、前記分波された各波長の光が入射する複数のスイッチング素子の配列を含み、前記各波長の光を任意の入力ポートから任意の出力ポートへ結合させる経路制御部と、前記出力ポートに結合された信号の一部をモニタする光チャネルモニタ部とを有し、前記光チャネルモニタ部は、前記波長多重信号の短波長側と長波長側の少なくとも一方の側でＡＳＥ光の一部を検出するＡＳＥ光検出部と、前記検出されたＡＳＥ光の中心の基準波長からのずれ量を算出するＡＳＥ光信号処理部とを有し、前記経路制御部は、前記ずれ量に基づいて、前記スイッチング素子配列に対する前記各波長の光の入射位置を相対的にシフトさせる駆動部、をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い共振周波数で駆動を行った場合であっても、非線形線振動の発生を低減しつつ、発生する応力を低減させ、ミラーの変形を防ぐことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー支持部２０を軸方向両側から捻れ梁３０により支持し、該捻れ梁３０の捻れにより前記ミラー支持部２０を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置であって、
前記捻れ梁３０には、前記軸方向に略平行なスリット３１が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのばねに懸架されたプレートを少なくとも１つの回転軸回りに面外で回転させる磁気アクチュエータを提供する。
【解決手段】磁気アクチュエータは少なくとも１つの第１回転軸４回りに回転可能に支承されたプレート３と該プレート３の下に配置されたマグネットヨークとを備える。プレート３は主延在面を有しており、回転軸４は主延在面に平行であり、プレート３は主延在面に平行に少なくとも１つの導体ループ１０a,１０ｂを有する。マグネットヨークは磁束をガイドするＵ字形レールと、Ｕ字形開口部に対して垂直な磁化方向を有する硬磁石とを有する。マグネットヨークの開口部がプレートの主延在面の方を向くように互いに向き付けられており、Ｕ字形レールは第１回転軸と平行な主延在方向を有しており、プレートは少なくとも１つの導体ループへの通電により少なくとも１つの回転軸回りに振れるようにする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、画素毎のずれが発生することなく、フルカラーの鮮明な画像を投影する投影装置、及び色覚検査装置を提供する。
【解決手段】投影装置１００は、楕円鏡１１、光源１２、ライトパイプ１３、スリット１４を備え白色光を射出する光源部１０と、白色光の回折光を色分解された光束として発生する回折格子２０と、前記光束を偏向走査して各色の光束を時分割するガルバノミラー３０と、前記偏向走査された光束を結像する結像光学系４０と、前記結像光学系の結像位置に配置され、画像信号に基づいて入射する各色の光束を画素毎に変調して画像を生成する画像形成素子５０と、投影光学系とを備えた。また、色覚検査装置は、前記投影装置１００と、照明光を受ける拡散板を備えた。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】光源から出る多波長光のうち、所望の波長の光を容易に選択することができるようにした露光波長調節装置及びそれを利用した露光機を提供する。
【解決手段】本発明による露光波長調節装置は、光源から出射される多波長の光の入力を受け、分離屈折させて多数の波長を出力する分離屈折部；前記分離屈折部で分離屈折されて入射される多数の波長の光経路を変化させるミラー；及び前記ミラーで反射される多数の波長の光の一部を通過させる部分光通過部を含む。 （もっと読む）

【課題】屈折力可変素子の境界面の形状を変化させたときの色収差の変動を低減する。
【解決手段】屈折力可変素子１は、互いに屈折率が異なる第１の媒質Ａと第２の媒質Ｂとにより形成される境界面３の形状を変化させることによって、屈折力を変化させることができる。ここで、第１の媒質Ａと第２の媒質Ｂとのｄ線における屈折率をそれぞれｎ_Ａ、ｎ_Ｂとし、第１の媒質Ａと第２の媒質Ｂとのｄ線におけるアッベ数をそれぞれν_Ａ、ν_Ｂとするとき、
−０．０２３≦｛（ｎ_Ａ−１）／ν_Ａ−（ｎ_Ｂ−１）／ν_Ｂ｝／（ｎ_Ｂ−ｎ_Ａ）≦０．０２３
の条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】重力方向や温度等に変化が生じた場合でも安定した光学特性を得ることが可能な光学素子を提供する。
【解決手段】この光学素子１は、互いに屈折率が異なる複数の液体５、６により形成される境界面７の形状を変化させることによって屈折力を変化させることができる液体レンズ２と、光透過面における屈折率分布を変化させることが可能な補助ユニット３と、重力方向と温度との少なくとも一方が変化したときの液体レンズ２の光学特性の変化を補正するように、液体レンズ２と補助ユニット３とを制御する制御手段２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加を招くことなく、簡単かつ低コスト、軽量コンパクトな構成としながら、光減衰のある状態での透過帯域特性劣化を抑制する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】入力部１０１と、入力部１０１からの光を受光し前記光を分散させる分散素子１０３と、集光要素１０４と、集光要素１０４からの前記分散光を波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子２００を有する光偏向部材１０５と、光偏向部材１０５によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部１０１と、を備えた波長選択スイッチ１００であって、複数の反射光学素子２００の各々が分散素子１０３によって波長ごとに分散される方向の少なくとも一方の端部２０２の面法線と、中心部分２０１の面法線とが、異なった角度を向いていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】倍率色収差の発生を低減し、更には、倍率色収差と軸上色収差との同時補正を可能とするズームレンズを提供する。
【解決手段】ズームレンズ１００は、絞り１０３の物体側に配置される第１の屈折力可変面１０１ｂと、該第１の屈折力可変面１０１ｂと同符号の倍率色収差を生じさせ、絞り１０３の像面側に配置される第２の屈折力可変面１０５ｂと、第１、第２の屈折力可変面１０１ａ、１０５ｂと異符号の倍率色収差を生じさせる第３の屈折力可変面１０５ａとを含む。第３の屈折力可変面１０５ａが、絞り１０３の物体側に配置されている場合は、第１の屈折力可変面１０１ｂの広角端における倍率色収差、又は、絞り１０３の像面側に配置されている場合は、第２の屈折力可変面１０５ｂの広角端における倍率色収差をＬＡＴ_１とし、第３の屈折力可変面１０５ａの広角端における倍率色収差をＬＡＴ_２としたとき、
│ＬＡＴ_１│＜│ＬＡＴ_２│
なる条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】トルク定数と慣性モーメントの比を向上させ、駆動に必要な電流を小さくして駆動時の消費電力の低減を図る。
【解決手段】回転中心となる軸１０と該軸周りに配置され該軸の円周方向に複数極に分極された永久磁石１１で構成される回転子と、該回転子の外側に空隙を介して配置されたコイル１３とヨーク１４とアウターケース１５とで構成される固定子とを有し、回転子が所定の角度範囲内で揺動するガルバノスキャナ１において、永久磁石１１には回転軸方向の溝５０を周方向に隣り合う永久磁石１１の磁極に跨って形成し、当該永久磁石１１は分割線６０によって１極あたり２個以上に分割した。 （もっと読む）

【課題】長期信頼性に優れた光学素子を提供する。
【解決手段】対向配置された平面基板２１，２２と、平面基板２１の内面２１Ｓに立設して複数のセル領域に分割する隔壁２４と、隔壁２４の壁面に互いに対向して配置された第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂと、平面基板２２の面２２Ｓに設けられた第３の電極２６Ｃと、各セル領域を複数のサブセル領域に分割する突起部２５と、平面基板２１と第３の電極２６Ｃとの間に封入され、互いに異なる屈折率を有すると共に界面を形成する極性液体２８および無極性液体２９とを備える。光学素子の姿勢に関わらず、極性液体２８および無極性液体２９は突起部２５により安定して保持される。第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂは、隔壁２４の一端から他端に至るまで連続して延在しており、同一セル領域における界面ＩＦが一括して変化する。 （もっと読む）

【課題】可動部を低い駆動力で揺動させることが可能な光偏向装置を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部２２０と、可動部２２０の端部２４２ａに接続されている突出部２４１ａと、突出部２４１ａと同一の中心軸２４０を有するように、可動部２２０の端部２４２ｂに接続されている突出部２４１ｂと、基板上に設置されており、突出部２４１ａの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ａと、基板上に設置されており、突出部２４１ｂの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ｂと、可動部２２０を揺動させる固定電極２０４ａ、２０４ｂと、を備える。規制部２５０ａで突出部２４１ａが支持されており、規制部２５０ｂで突出部２４１ｂが支持されていることで、可動部２２０が基板の上方に離反した位置で中心軸２４０の周りに揺動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】所定のミラー振れ角あたりの所要駆動電圧を小さくすることができる光スキャナを提供する。
【解決手段】
光スキャナ１００は、固定部品２００と固定されて設置される光スキャナ１００であって、ミラー部１１１と、梁部１１２Ａ、１１２Ｂと、本体部１１３と、を有す構造体１１０と、駆動部１２０と、を備え、構造体１１０を支持する支持面１３２Ｆを有し、第３方向Ｚのミラー部１１１から離間する向きに延びる支持部１３２と、支持部１３２と接続され、第１方向Ｘを含み、第２方向Ｙに平行な面上で延びる台部１３３と、を有す台座１３０と、を備え、台部１３３の第３方向Ｚにおける変形量が支持面１３２Ｆの第３方向Ｚにおける変形量より小さい領域にて、台部１３３の第３方向Ｚにおいて対向する２つの面のうち構造体１１０がある側とは反対側にある面１３３Ｆと固定部品２００とは固定される。 （もっと読む）