【課題】安価な構成で実現可能なレーザ光によるガラス基板加工装置を提供する。
【解決手段】この装置は、ガラス基板が載置されるワークテーブル２と、レーザ光出力部１５と、入力されたレーザ光を複数の点に集光させるための回折光学素子３２及び集光レンズ３５と、第１中空モータ１７と、１対のウェッジプリズム３４ａ，３４ｂと、第２中空モータ１９と、を備えている。第１中空モータ１７は、複数の集光点を、集光レンズ３５から出射される複数のレーザ光の中心軸の回りに回転させる。１対のウェッジプリズム３４，３４ｂは、複数の集光点の回転軸を、集光レンズ３５から出力される複数のレーザ光の中心軸から偏倚させる。第２中空モータ１９は、中心軸から偏倚された複数の集光点を、ワークテーブル２のガラス基板の表面に沿った平面内で、中心軸の回りに回転走査する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】水平駆動ミラーを形成すると共に、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは２つ以上の支持要素を介してフレーム構造（３）に接続し、このフレーム構造に対して水平方向に動作するミラープレート（１）を含むマイクロメカニカルミラー構造であって、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは全ての支持要素（２）とミラープレート（１）との接続領域（４）を、ミラープレートの外側縁（５）からミラープレートの中心（６）の方へと内側にオフセットさせて配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー素子を気密封止した後に正確な特性評価を行うことが可能な光スイッチモジュールを提供する。
【解決手段】MEMSミラーアレイチップ１３を内部に気密封止するパッケージ１２を有する。MEMSミラーアレイチップ１３は、可動反射体を有するマイクロミラー素子により入射光の反射方向を制御できるものである。前記パッケージ１２は、入射光および反射光を透過させる透過窓２２を備えている。この透過窓２２は、少なくとも二つの波長帯領域で光を透過させる反射防止コーティング２３が施されている。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバー(52)を介してミラー部がフレーム(53)に対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、
上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)を備え、この二つの層の屈折率を異ならせて交互に積層した積層構造から構成される応力制御反射層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

【課題】ポートアレイに結合する迷光が低減された波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、ｘｙ平面上にｘ軸に沿って並べて配置された入力ポート１１０ａと出力ポート１１０ｂを含み、入力ポート１１０ａからｙ軸に実質的に平行に光が射出されるポートアレイ１１０と、入力ポート１１０ａから射出される光をｚ軸に平行な方向に分光する分光素子１５０と、分光素子１５０によって分光された光を結像する結像光学素子１７０と、結像光学素子１７０によって結像された光束を出力ポート１１０ｂに選択的に結合するミラーアレイ２００とを有する。ミラーアレイ２００は、二次元的に傾斜可能な可動ミラー２２２を含むミラー基板２０２を有し、ミラー基板２０２は、ｙｚ平面を横切って配置され、結像光学素子１７０に対向する表面の部分がｚｘ平面に対してｘ軸に平行な軸の周りに傾斜角θを有するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】容易に駆動制御できるミラー装置およびミラーアレイを提供する。
【解決手段】定電圧印加部１１は、定電圧電極に一定の電圧を印加する。また、駆動電圧印加部１２は、駆動電極に所定の電圧を印加する。これにより、少ない数の駆動電極の電圧値を制御することでミラーの駆動を制御することができるので、より容易に駆動制御することができる。 （もっと読む）

【課題】構造、構成が簡素であり、ミラーをより大きな角度で傾けることが可能であり、しかも、Ｘ方向及びＹ方向の２方向への駆動の際、クロストークが生じ難いミラー構造体を提供する。
【解決手段】ミラー構造体１０Ａは、（Ａ）ミラー本体部２２、及び、該ミラー本体部２２の表面に設けられた光反射層２１を備えたミラー２０、（Ｂ）ミラー本体部２２の裏面２３に上端部３０Ａが固定された複数の支柱３０、（Ｃ）それぞれの支柱３０の下端部３０Ｂに一端部４０Ａが固定された変位部材４０、並びに、（Ｄ）変位部材４０の他端部４０Ｂを固定する支持部６０から成る。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの中心軸とレンズの光軸とを容易かつ確実に行うことが可能であるとともに、ケーシングとの絶縁を確実に確保することが可能な走査型光ファイバを得る。
【解決手段】固定部材１３０の第２の内周面１３７は、その軸方向に対して直角をなす断面において、圧電アクチュエータ１１０及び電源ケーブル１７０による半田付け部１８０の断面積よりも大きい断面積を有する。圧電アクチュエータ１１０の近位端側端部と第２の内周面１３７との間に、接着剤１６０が充填される。これにより、圧電アクチュエータ１１０の近位端側端部から延びる電源ケーブル１７０とシングルモード光ファイバ１２０とが固定部材１３０に対して固定され、半田付け部１８０の絶縁を確保できる。 （もっと読む）

【課題】温度や振動等の影響によりミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置を提供する。
【解決手段】主系統レーザ光を出射する主系統出射器１と、主系統レーザ光を伝送するための１以上の導光ミラー４，５，６と、ダイクロイックミラー１４，１５，１６と、主系統レーザ光の光路上に設けられたチルトミラー３と、第１計測系統レーザ光を出射する計測系統レーザ発生器８ｂと、第１計測系統レーザ光の位置を検出する検出部１０と、検出部１０の検出結果に基づいて導光ミラー４，５，６の各々における角度ずれを算出し、当該角度ずれに基づく光軸ずれを補正するための第１制御信号を生成する制御器１１ｂと、第１制御信号に基づいてチルトミラー３の角度調整を行うミラー駆動部１２とを備え、ダイクロイックミラー１４，１５，１６の各々は、主系統レーザ光を透過させるとともに、対応する第１計測系統レーザ光を反射させる。 （もっと読む）

【課題】 ミラー部を駆動させると共にミラー部の動きを検出可能とし、かつ、従来よりも小型化が可能な光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、外部から照射された光を反射する反射面Ａ２１及び上記光を通過させるピンホール２２ｂ，２２ｄを有するミラー部２１と、ピンホール光偏向器を通過した光を受光する受光部１１ｂ，１１ｄと、ミラー部２１を所定の回転軸２１ａで駆動させ反射面Ａ２１で反射した光を所定の方向に偏向させる駆動手段３０ａ，３０ｂと、を備える。受光部１１ｂ，１１ｄは回転軸２１ａに直交する方向に対して幅が異なる形状を有している。 （もっと読む）

共焦点パターン投影技術を使用して、対象物の表面の少なくとも一部の３Ｄ幾何学的形状を取得および／または測定するための手持ち式スキャナを開示する。口腔内走査およびヒトの耳の内部の走査の具体的な実施形態を与える。本発明に記載される方法および装置は、非接触型探査媒介物として光を使用して、対象物の３Ｄ表面登録を提供するためのものである。光は、光振動を提供する照射パターンの形態で、対象物上に提供される。パターンの変動／振動は、空間的、例えば、静的な市松模様パターンであってもよく、および／または、例えば、走査されている対象物にわたってパターンを移動させることによって、時変であってもよい。 （もっと読む）

【課題】水平面に画像を投影する。
【解決手段】光を放射する光源と、光を反射光線として反射させるミラー面を通るＡ軸およびＢ軸まわりに静止中立状態から回動するミラーと、反射光線を投影光線として出射することで、投影面上に投影させる投影レンズと、を有し、投影面は水平面であり、Ａ軸は、静止中立状態でのミラーから出射される中立反射光線と、当該中立反射光線と投影面とが交わる点を通る投影面の法線とを含む平面と直交し、 Ｂ軸は、平面に含まれ、前記ミラー面に平行であって、静止中立状態を基準として、ミラーのＡ軸まわりの回動角αの幅Δαとし、Ｂ軸まわりの回動角βの幅Δβとしたとき、Δα＜Δβである。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】マイクロミラー装置１０が走査するレーザ光のうち、カバーガラス底面において結像レーザ透過領域２１０の外側に向けて走査されるレーザ光は、カバーガラス底面に設けられた光反射膜により光検出部材に向けて反射される。このとき、第１の可動部１２０は、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間までレーザ光を走査するように制御され、第２の可動部１３０は、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を走査するように制御される。これにより、照射対象面に設けられた結像領域内に形成される情報、たとえば文字情報や画像情報をユーザが認識可能となる。 （もっと読む）

【課題】櫛歯状電極の数を増やすことなく大きな駆動力を生じる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂが伸びる方向に対して直角かつ鏡面３０１と平行な方向における長さを第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂの幅とすると、第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂの幅は、可動体３００との接続部において最も広い幅を有し、枠体２００に近づくにつれて線形に狭くなる。また、可動体３００の厚さ方向における第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂの長さは、可動体３００との接続部において、また枠体２００との最接近部において同じである。 （もっと読む）

【課題】使用環境や組付時の応力等による結像性能への影響が低減される光偏向装置、光学走査装置、及びこれらを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを偏向する反射面を有する単結晶シリコンからなるプレート部材６１を、プレート部材６１の被支持部７４の挟持面にならって当接部５の角度を変えるように回転可能に構成された当接部材２を有する固定具１により固定する、あるいは、略球体状の弾性部材１２を介して固定具１１により固定する、もしくは、プレート部材６１に弾性部材２２を一体化してそれを固定具２１で固定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光波長選択デバイスの温度変化による特性劣化を補償する。
【解決手段】光ポート１００から出射した光は、回折格子２００によって分光される。周囲温度が上昇すると、回折格子支持機構６００が回折格子２００を回動させるため、回折格子２００に対する光の入射角が大きくなるので、周囲温度の上昇によって回折格子２００の格子間隔が変化しても、光の分散角は周囲温度が変化する前と同じに保たれる。周囲温度が上昇すると、光路折り曲げミラー支持機構７００が光路折り曲げミラー５００を回動させるので、回折格子２００の回動による光路の変化が修正され、光路折り曲げミラー５００によって反射された各波長の光はそれぞれ集光レンズ３００を通過して対応する光素子４００−１〜４００−３に結合される。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置において、レーザ光の利用効率を容易に改善する。
【解決手段】レーザ光を偏向させる複数の偏向要素が配列された空間変調素子（２）と、この空間変調素子（２）に対しレーザ光を照射するレーザ照射部３と、空間変調素子（２）及びレーザ照射部３のうちいずれか一方（空間変調素子（２））を回動（矢印Ｒ１）させる第１の回動機構４と、空間変調素子（２）及びレーザ照射部３の両方を一体的に回動（矢印Ｒ２）させる第２の回動機構５と、を備える構成とする。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の構成素子であって、外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）であって、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）が少なくとも１つの外ばね（８１）を介してホルダ（５５）に結合されており、調節可能な部材（１０）が、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）と外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）との間での第１の電圧の印加を介して第１の回転軸線（１２）周りに調節可能である、外側のステータ‐電極コンポーネント（２８）及び外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）と、内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）であって、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）が、第１のウェブ（５０）、及び第１のウェブ（５０）に配置された少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）を備え、調節可能な部材（１０）が、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）の少なくとも１つの電極指（２６ａ，２６ｂ）と内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）との間での第２の電圧の印加を介して第２の回転軸線（１４）周りに調節可能である、内側のステータ‐電極コンポーネント（３０）及び内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）とを備え、内側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２６）が、外側のアクチュエータ‐電極コンポーネント（２４）に、第２の回転軸線（１４）に沿って配向された中間ばね（５２）を介して結合されている、マイクロマシニング型の構成素子に関する。さらに本発明は、マイクロマシニング型の構成素子のための製造方法に関する。
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【課題】１つの光源を用いて広範囲に渡って光を精細に反射することが可能なマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】描画装置１０は、光源部材であるレーザダイオード（ＬＤ）１１、光切替部材である切替ミラー１２、及びミラー部材である第１及び第２の描画ミラー１３、１４を備える。レーザダイオード１１はレーザ光を射出する。切替ミラー１２は、ＭＭＤから成り、平面かつ正方形の鏡面１５を有する。第１及び第２の描画ミラー１３、１４は、ＭＥＭＳから成り、平面かつ正方形の鏡面１６、１７を有する。描画装置１０は、照射対象面２０に向けてレーザ光を照射する。照射対象面２０は平面であって、レーザ光により任意の画像が描かれる長方形の描画領域２１と、描画領域２１の外側に設けられる光検出部材２２とを有する。 （もっと読む）

被加工物をマイクロマシニングするためのレーザ加工システムは、被加工物に機能部を加工するためのレーザパルスを生成するレーザ光源と、被加工物の表面に関して加工軌道に沿ってレーザビーム・スポット位置の第１の相対移動を付与する検流計により駆動される（ｇａｌｖｏ）サブシステムと、加工軌道と垂直な方向に沿ってレーザビーム・スポットを効果的に広げる音響光学偏向器（ＡＯＤ）サブシステムとを含む。ＡＯＤサブシステムは、ＡＯＤと電気光学偏向器との組合せを含んでもよい。ＡＯＤサブシステムは、機能部をディザ方向に選択的に形成（シェイピング）するために、ディザ方向に沿った偏向位置の関数としてレーザパルスの強度プロファイルを変化させてもよい。被加工物上の機能部を交差するためにシェイピングが用いられてもよい。ＡＯＤサブシステムはまた、ラスタリング、ｇａｌｖｏ誤差位置補正、パワー変調、及び／又はレンズを通した被加工物の視認、及び被加工物への位置合わせを提供してもよい。 （もっと読む）