【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いたトーションバーによる揺動部を有するマイクロ構造体において、トーションバーの位置を精度良く測定できるようにする。
【解決手段】マイクロミラー素子１は絶縁層を挟んで二つの導体層を積層したＳＯＩ基板を用いて製造される。マイクロミラー素子１はフレーム２とフレーム２内に一対のトーションバー４，４’で揺動自在に支持された揺動部材３を有する。フレーム２の上側領域２Ａに揺動部材３とトーションバー４，４’が形成され、フレーム２の下側領域２Ｂに揺動部材３の櫛歯電極３３に対応する櫛歯電極２１が形成されている。揺動部材３の一対のトーションバー４，４’の下部であって当該トーションバー４，４’の捩れ動作に干渉しない位置にそれぞれトーションバー４，４’の位置測定の基準面Ｓｒとなる構造体５，５’が形成されている。トーションバー４，４’の高さ方向における位置測定において、構造体５，５’の上面Ｓ１を基準面Ｓｒとすることで、位置測定の精度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】分散補償量を可変する場合に損失劣化を最小限に抑える。
【解決手段】入力光コリメータ４と、可変の群遅延特性を与える群遅延特性付与部５−１，５−２と、出力光コリメータ６と、入力光コリメータ４から導入された光をなす光信号について分散補償すべく、群遅延特性付与部５−１，５−２での前記群遅延特性を制御する群遅延特性制御部１３，１４と、入力光コリメータ４からの光が該複数の反射型エタロンのそれぞれの入射側面での反射を介して該出力光コリメータに向けて出力される際の光軸位置と該出力光コリメータとの相対位置関係を位置決めする位置決め部１１と、前記相対位置関係が、該群遅延特性制御部で制御する前記群遅延特性に対応づけて設定された位置関係となるように該位置決め部を制御する位置決め制御部１３，１４と、をそなえる。 （もっと読む）

【課題】 高効率で加工を行う。
【解決手段】 レーザ光源と、レーザ光源を出射したレーザパルスが入射する位置に配置され、回転中心の周囲に回転可能に保持され、入射したレーザパルスを回転位置に応じた方向に偏向して出射するビーム偏向器と、ビーム偏向器を回転中心を中心として回転させる回転駆動装置と、ビーム偏向器で第１方向に偏向して出射されたレーザパルスが入射する位置に配置され、入射したレーザパルスを出射する第１光学系と、ビーム偏向器で第２方向に偏向して出射されたレーザパルスが入射する位置に配置され、入射したレーザパルスを出射する第２光学系と、レーザ光源を出射するレーザパルスの出射タイミングと、ビーム偏向器の回転動作とを同期させて、ビーム偏向器に入射するレーザパルスを第１または第２方向に偏向して出射させる制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】スクリーンに走査される映像に生じるスペックルノイズを低減することができるプロジェクションディスプレイ装置を提供すること。
【解決手段】光源と、光源からの出射光が同じく変調された変調光を予め設定された時間範囲内でＮ（Ｎは２以上の自然数）回繰り返して出射する光変調器と、Ｎ回繰り返して出射される変調光を反射して毎回スクリーンの同一位置に走査するミラーと、変調光が走査される度に変調光の偏光方向を回転させる偏光回転部と、を含むプロジェクションディスプレイ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）

【課題】従来の測定方法ではポラライザの偏光軸に直交する直線偏光を入力する必要があり、偏波コントローラの制御に時間を要し、短時間での測定が困難という課題がある。本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、偏波コントローラの調整が容易であり、高精度かつ高速にＯＳＮＲを測定できる光信号対雑音比測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る光信号対雑音比測定装置は、信号光がポラライザを通過した後に信号成分とＡＳＥノイズとの光強度差を小さくなるような偏光状態を偏波コントローラで作り出し、偏波スクランブラを介した後の光のストークスパラメータからＡＳＥノイズを算出することとした。 （もっと読む）

【課題】
エンコーダの出力信号に含まれる高調波成分やスケールピッチの加工誤差に伴う検出誤差を補正する変位検出方法を提供する。
【解決手段】
変位検出方法は、駆動手段１を用いて可動部３を駆動するステップと、変位検出手段５を用いて可動部３の変位量６（検出角度θｍ’）を検出するステップと、変位検出手段５で検出した変位量６（検出角度θｍ’）の変位速度（ｄθｍ’／ｄｔ）が一定となるように、変位補正テーブルを用いて変位量６（検出角度θｍ’）を補正するステップと、変位補正テーブルにより補正された変位量（検出角度θｍ’’）を可動部３の変位量として検出するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】 所定の周波数の摂動電圧を用いた出力光強度安定化制御中に、出力光強度変動が出力光強度安定化制御に伴う正常値の範囲を超える異常値を示したときに、誤動作による出力光強度の変動を防ぐ。
【解決手段】 光スイッチに適用され、光パスを接続する複数のミラーの角度を設定する印加電圧（ＤＣ成分）に所定の周波数の摂動電圧（ＲＦ成分）を重畳してミラーを駆動し、各出力ポートにおける出力光強度を検出してミラーの角度を調整しながら出力光強度を安定化する制御を行う光スイッチ制御装置において、摂動電圧として少なくとも２つの周波数を合成した摂動電圧を用い、出力光強度から当該摂動周波数ごとの光強度信号を抽出し、各摂動周波数の光強度信号の変動が想定される正常範囲内にある摂動周波数を選択し、その摂動周波数の光強度信号に基づいて出力光強度の安定化制御を行う手段を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で製造されうるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、基板に形成された平板状の可動板(21)と、可動
板(21)の両端を基板に回動可能に支持する一対のトーションバー(24)と、可動板(21)の表
面に形成される反射膜(22)と、可動板の裏面に形成されるコイル(23)と、可動板(21)の一
部に形成されて該可動板(21)の表裏面を貫通する貫通孔部(31)とを備え、可動板(21)とト
ーションバー(24)の表面に形成される導電性膜によって反射膜(22)が形成され、該導電性
反射膜(22)とコイル(23)の一端とが貫通孔部(31)で接続され、該コイル(23)の他端がトー
ションバー(34)の裏面に延在する(28)。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で光導波路に指向性を持たせて、伝送される光の減衰を抑える。
【解決手段】光導波路２Ａは、円柱状または多角柱状の第１の導光部２０Ａの側面全周に、光透過率の異なる第２の導光部２０Ｂが設けられ、第１の導光部２０Ａと第２の導光部２Ｂとの境界面に、所定の割合で光を反射し残部を透過するビームスプリッタ２２が形成され、単一または方向の異なる複数の角度から第１の導光部２０Ａに入射される光が、第２の導光部２０Ｂの円周方向に単一または複数の指向性を持って出射される。光導波路２Ａの第１の導光部２０Ａに向けて光を出射するレーザダイオード３が、第２の導光部２０Ｂの外周に沿った所定の角度に配置され、第１の導光部２０Ａに入射される光の角度に応じた指向性に基づいて、第２の導光部２０Ｂの外周に沿った所定の角度にフォトディテクタ４が配置される。 （もっと読む）

【課題】ミラーを制御するためのＤＡＣの占めるコスト比率を低減すること。
【解決手段】本発明にかかるミラー駆動回路１００は、演算部１３０が、オフセット電圧および制御電圧を演算し、全体のオフセット電圧を印加する電源部１４０が、ＭＥＭＳミラー１１０のマイナス側（ＧＮＤ）にオフセット電圧を印加する。そして、コストの低い汎用ＤＡＣ部１５０によってプラス側に電圧を印加することにより、ＭＥＭＳミラー１１０を制御する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の側方に光源を配置でき、システムの小型化に対応できる光学素子及びそれを用いた光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】第１の面上において第１の方向に配列された、互いに平行な複数の第１の梁体と、前記第１の梁体のそれぞれの間に前記第１の梁体と平行に設けられた第２の梁体と、を備え、前記第１の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸減するように、隣接する前記第２の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第２の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸増するように、隣接する前記第１の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第１の方向にみた前記第１の梁体と前記第２の梁体との間の間隔が可変とされたことを特徴とする光学素子が提供される。 （もっと読む）

【課題】優れた光学特性を発揮することができる光学デバイスおよび光学ユニットを提供すること、さらに、この光学デバイスまたは光学ユニットを備え、高品位な画像を形成することができる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１Ａは、光反射性を有する光反射部２２１Ａが設けられた可動板２２Ａと、可動板２２Ａに連結され、可動板２２Ａを回動可能に支持する１対の連結部２３Ａ、２４Ａと、可動板２３Ａ、２４Ａを回動させる駆動手段と、光反射部２２１Ａに対向するように設けられ、光反射部２２１Ａで偏向または走査する光の通過を許容しつつ迷光を遮光する遮光部材４Ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】電流リークの発生を抑制するのに適し且つ駆動電極間に発生する駆動力の高精度制御に適したマイクロ可動素子を提供する。
【解決手段】可動部と、可動部を駆動するための第１および第２駆動電極とを備えるマイクロ可動素子であって、第１駆動電極と電気的に接続している導体部２１ａと、第２駆動電極と電気的に接続している第２導体部２２ａと、導体部２１ａ，２２ａ間の中間絶縁部２３ａとからなる部分積層構造部を含み、導体部２２ａは、導体部２１ａに対向する対向面Ｓ１と、側面Ｓ２と、当該対向面Ｓ１および側面Ｓ２の境界をなすエッジ部Ｅ１とを有し、導体部２１ａは、エッジ部Ｅ１を超えて導体部２２ａよりも延出する延出面Ｓ３を有し、導体部２１ａのエッジ部Ｅ１の少なくとも一部は絶縁膜５０で覆われており、第１および第２駆動電極の少なくとも一部は絶縁膜５０で覆われていない。 （もっと読む）

【課題】複数の潜像担持体を有するタンデム方式の画像形成装置において、光学的な調整を容易に行うことができ、しかも装置の低コスト化および小型化を図る。
【解決手段】２個のレーザー光源から光ビームが射出され、光走査素子６５に入射する。この光走査素子６５は、主走査偏向軸回りおよび切替軸回りに揺動自在に設けられて２本の光ビームを反射する偏向ミラー面６５１を有しており、主走査偏向軸回りに共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動させて２本の光ビームを一括して主走査方向に走査させるとともに、切替軸回りに非共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動位置決めして２本の走査光ビームを副走査方向に導いて複数の感光体のなかで走査光ビームが照射される感光体を切り替える。 （もっと読む）

【課題】複数の潜像担持体を有するタンデム方式の画像形成装置において、光学的な調整を容易に行うことができ、しかも装置の低コスト化および小型化を図る。
【解決手段】光源６２から光ビームが射出され、光走査素子６５に入射する。この光走査素子６５は、主走査偏向軸回りおよび切替軸回りに揺動自在に設けられて光源６２からの光ビームを反射する偏向ミラー面６５１を有しており、主走査偏向軸回りに共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動させて光ビームを主走査方向に走査させるとともに、切替軸回りに非共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動位置決めして走査光ビームを副走査方向に導いて複数の感光体のなかで走査光ビームが照射される感光体を切り替える。 （もっと読む）

【課題】 必要な波長の光を取り出すことができる小型化された分光ユニットを提供する。
【解決手段】 分光ユニット（３０）は、光学素子（ＣＬ）の光軸外の領域の光線を入射させるスリット（ＳＬ１）を有する遮光部（３４）と、スリット（ＳＬ１）を通過し光学素子（ＣＬ）で屈折した光線を入射させる開口（ＡＰ１）を有する開口遮蔽部（３５）と、開口（ＡＰ１）を通過した光線を受光する受光部（ＳＳ）と、光学素子（ＣＬ）及び遮光部（３４）と開口遮蔽部（３５）及び受光部（ＳＳ）とを相対的に移動させる駆動部（２４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】入射光に対する出射光の屈折角を大きくすることができる液体プリズム（光軸可変素子）を提供する。
【解決手段】液体プリズムでは、液界面は平面であり、液界面の最大傾斜線は、容器の角部のうち、互いに最も離れた２つの角部を通るように、導電性液体と電極の間に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）