【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第２の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して直交するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、第１圧電アクチュエータ３１及び第２圧電アクチュエータ５１の駆動で二軸周りに揺動する反射面２ａと、当該揺動を検知する第１検知部７１ｙ及び第２検知部７１ｘを有する第１支持部４とを備える。第２圧電アクチュエータ５１には、第１圧電アクチュエータ３１に導通する第１駆動配線Ｗｙと、第２圧電アクチュエータ５１に導通する第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知部７１ｙに導通する第１検知配線Ｗｍｙと、第２検知部７１ｘに導通する第２検知配線Ｗｍｘと、第１接地線Ｗｇｙとが並行に配置される。第１接地線Ｗｇｙは、第１駆動配線Ｗｙ及び第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知配線Ｗｍｙ及び第２検知配線Ｗｍｘとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】ブラックマスクが光を吸収し、電力を生成することができる電子装置を提供する。
【解決手段】複数の光学ディスプレイ素子を含む表示領域と、前記表示領域の前記光学ディスプレイ素子間の領域内に堆積され、基板と前記光学ディスプレイ素子との間に配置された光起電性ブラックマスクと、を備えている電子装置であって、前記光起電性ブラックマスクが、光を吸収するように構成された少なくとも１つの層、および電力を生成するように構成された少なくとも１つの層、を備えている電子装置。 （もっと読む）

【課題】応力関連の変形を最小限に抑えるように構成された支持構造を有するＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの実施形態は、上位の支持構造によって支持される移動可能層を含み、更に、下位の支持構造を含むことができる。１つの実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、移動可能層内の残留応力とが、実質的に等しい。別の実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、下位の支持構造内の残留応力とが、実質的に等しい。特定の実施形態では、実質的に等しい残留応力は、同じ厚さを有する同じ材料で形成される層の使用を通じて得られる。更なる実施形態では、実質的に等しい残留応力は、互いの鏡像である支持構造および／または移動可能層の使用を通じて得られる。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の揺動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、揺動軸まわりに揺動可能な板状の可動板２１と、可動板２１から延出し、かつ可動板２１の揺動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、可動板２１の板面に固着された磁石４１１、４１２と、通電により磁石４１１、４１２に作用する磁界を発生させて可動板２１を揺動させるコイル４２とを有し、可動板２１は、その板厚方向からの平面視にて、揺動軸に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、揺動軸に対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、磁石４１１、４１２は、突出部２１３、２１４に固着されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費の小さいマイクロミラー用の制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】第１の傾斜軸を中心にするマイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する第１の周波数（ｆ_ｈ）の第１の制御信号（Ｓ４）を形成するステップと、前記第１の傾斜軸に対して垂直の第２の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する、前記第１の周波数（ｆ_ｈ）よりも低い第２の周波数（ｆ_ｖ）の第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を形成するステップと、前記第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を、当該第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を前記第１の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、前記マイクロミラー（２０）の力入力素子（２１、２２、２３、２４）を、前記変調された第２の制御信号（Ｓ５）と前記第１の制御信号（Ｓ４）とで制御するステップと、を有するマイクロミラー（２０）の制御方法。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】機械的および電気的機能から分離された光学的機能を備えた微小電気機械デバイスを提供する。
【解決手段】微小電気機械（ＭＥＭＳ）デバイス（８００）が、頂部表面（８８）を有する基板（２０）と、基板（２０）の上方の可動エレメント（８１０）と、駆動電極（８２）とを備えている。可動エレメント（８１０）は、変形可能層（３４）および変形可能層（３４）に機械的に結合された反射エレメント（８１４）を備えている。反射エレメント（８１４）は反射表面（９２）を備えている。駆動電極（８２）は、反射表面（９２）から横方向に配置されている。可動エレメント（８１０）は、基板（２０）の頂部表面（８８）に概ね直角の方向に移動することによって、駆動電極（８２）と可動エレメント（８１０）の間に印加される電圧差に応答する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡便で、製造コストを小さくでき、解像度の低下を抑制する光走査素子を提供する。
【解決手段】アーム部１３ａ，１３ｂは、光を反射する平板状のミラー部１１と同じ水平位置に設けられ、梁部１２ａ，１２ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１１を第１の方向に揺動させる。フレーム部１５は、ミラー部１１と異なる水平位置に設けられたそれぞれ一対のワイヤ固定部１７ａ〜１７ｆを有し、アーム部１１を支持する。サスペンションワイヤ１８ａ〜１８ｆは、ワイヤ固定部１７ａ〜１７ｆにおいて、フレーム部１５が第１の方向と直交する第２の方向の揺動可能なように、フレーム部１５を支持する。圧電膜１４ａ〜１４ｄは、アーム部１３ａ，１３ｂに設けられ、変位することによりアーム部１３ａ，１３ｂを駆動して、ミラー部１１を第１の方向に揺動させる。 （もっと読む）

【課題】表示データをＭＥＭＳ表示素子に書き込む方法が電荷蓄積および経時変化差を最小にする。
【解決手段】逆極性でデータを書き込むことと、表示更新過程の期間にＭＥＭＳ素子を周期的に解放および／または作動させることを含むことができる。標準の表示データ書き込みの期間に用いられた電位差よりも高い電位差でＭＥＭＳ素子を作動させることも利用されることができる。ＭＥＭＳ表示素子を表示書き込み過程の第１の部分の期間は第１の極性の電位差で作動させ、ＭＥＭＳ表示素子を表示書き込み過程の第２の部分の期間は第１の極性とは逆の極性を持つ電位差で作動させることにより減少できる。 （もっと読む）

【課題】光源としての半導体レーザに供給されるバイアス電流の調整によって光出力の自動的な制御が行われる構成において、黒レベルが変化することを抑制し、良好で安定した画質を得る。
【解決手段】光源としての半導体レーザに供給されるバイアス電流及び変調電流を制御する電流制御部は、走査部によるレーザ光の走査位置が、走査部によるレーザ光の全走査領域のうち表示画像を形成する有効走査領域外である無効走査領域にある状態で、半導体レーザの電流−発光量特性に基づき、光検出部により検出された光量の最小値（黒レベル）が、あらかじめ設定された第１の目標値となるように、変調電流の変調幅を調整した後（Ｓ３１〜Ｓ３３）、光検出部により検出された光量の最大値（白レベル）が、あらかじめ設定された第２の目標値となるように、バイアス電流を調整する電流制御を行う（Ｓ３４〜Ｓ３６）。 （もっと読む）

【課題】液体レンズの周波数応答特性による影響を低減する様に液体レンズ用の駆動信号を生成する液体レンズの駆動方法及び液体レンズを用いた装置を提供する。
【解決手段】液体レンズ１０１において、２つの液体の界面を変動させることにより光学的パワーを変化させる。界面を変動させるために、搬送波に変調波を重畳した振幅変調信号の駆動信号により、液体を介在させて電圧を印加する。変調波の変調周波数の変化に対する振幅比の変化の傾きとは逆の符号を持つ様に変調周波数の変化に対して変調波の変調深さを変化させて駆動信号を生成し、これにより液体を介在させて電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】 ヒステリシス特性を利用して、より高い精度で焦点距離の制御が可能な液体レンズ及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 印加電圧の第１の閾値と第２の閾値との間に、印加電圧を大きくしていく第１の動作と、印加電圧を小さくしていく第２の動作とで焦点距離が異なり、印加電圧値の変化に対する焦点距離の変化率が第１の動作を行った時の方が第２の動作を行った時よりも小さい第１の範囲と、それと反対の第２の範囲とが存在するヒステリシス特性を有する液体レンズにおいて、
第２の範囲内の焦点距離に変化させる場合には、印加電圧値を一旦、第２の閾値以上の状態とした後に、目標電圧値に変化させる制御を行い、且つ、第１の範囲内の焦点距離に変化させる場合には、印加電圧値を一旦、第１の閾値以下の状態とした後に、目標電圧値に変化させる。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】複数の光変調器（９１）及び該複数の光変調器の反射面上の複数のフィルター素子（９５）を含む表示装置（９０）が提供される。
【解決手段】複数の光変調器（９１）が、第１の組の光変調器（９２）及び第２の組の光変調器（９４）を含む。複数の光変調器（９１）の各光変調器が、少なくとも第１状態、第２状態、及び第３状態の間で選択的に切り替えられるように構成される。各状態が、異なるスペクトル反射を有する。複数のフィルター素子（９５）が、第１の組の光変調器（９２）に対応する第１の組のフィルター素子（９６）及び第２の組の光変調器（９４）に対応する第２の組のフィルター素子（９８）を含む。第１の組のフィルター素子（９６）が、第２の組のフィルター素子（９８）と異なる分光透過率を有する。 （もっと読む）

【課題】目標の光学パワーを実現すべく電圧を制御する際に、ヒステリシスの影響を低減し、より高精度に液体レンズの光学パワーを制御できる技術を提供する。
【解決手段】液体レンズ２０９は、筐体２０３内の非導電性液体２０２及び導電性液体２０１と、導電性液体に電圧を印加するための電極２０６を有する。電極と導電性液体間の電圧を制御する制御手段が備えられ、２液体の界面２０８の形状を変化させて光学パワーを変化させる。制御手段は、界面形状を、ヒステリシスがある領域中の目標光学パワーの形状にもたらすとき、着目する液体の接触角が常に後退角で目標接触角に達するようにする。電圧を目標光学パワーを実現する方向に変化させる時に一方の液体の接触角が前進角となる場合には、電圧を、目標光学パワーを実現する２つの電圧の一方の電圧を超過し更に２つの電圧の他方の電圧を超過して変化させた後に逆方向に戻して一方の電圧にもたらす。 （もっと読む）

【課題】主走査方向と副走査方向との２方向の振幅をそれぞれ目標範囲に速やかに制御できる２次元光走査装置を得る。
【解決手段】第１可動部４を共振させる主走査駆動信号と、第２可動部６を共振させる副走査駆動信号とに応じた駆動信号Ｖを駆動部に出力して第３可動部１２を振動させて第１可動部４と第２可動部６とを共振させる信号生成部５０を備える。また、主走査駆動信号と副走査駆動信号との各制御パラメータのうち、第１可動部４の振幅変化への寄与が大きく第２可動部６の振幅変化への寄与が小さい第１制御パラメータと、第２可動部６の振幅変化への寄与が大きく第１可動部４の振幅変化への寄与が小さい第２制御パラメータとにより、駆動信号Ｖを調整し、振幅を制御する制御部６６を備える。制御部６６は検出される第１可動部４と第２可動部６との振幅に基づいて両制御パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でありながら、光の利用効率を高めることができる光学素子ユニット、レーザモジュール及び小型プロジェクタを提供する。
【解決手段】凹面ミラーＭＲにより、光源ＬＤから出射された光束を反射して、光導波路型ＳＨＧ素子の入射開口に集光させるので、簡素な構成で、部品点数が少なく、しかも結像位置以外での光の反射や吸収を抑えることができ、光のロスが少ない光学素子ユニットを提供できる。又、駆動装置ＤＲにより凹面ミラーＭＲを駆動するようになっているので、組み付け誤差に関わらず、光源ＬＤから出射された光束を、精度良く入射開口に集光させることができる。 （もっと読む）