【課題】ミラーが帯電することを防止してミラー同士の貼り付きをなくすことのできる光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の光フィルター１は、互いに対向配置された第１基板２および第２基板３と、第１基板２の第２基板３側に設けられた第１ミラー４Ａおよび第１電極６Ａと、第２基板３の第１基板２側に設けられた第２ミラー４Ｂおよび第２電極６Ｂと、を備え、第１ミラー４Ａと第２ミラー４Ｂとが配線１０Ａ，１０Ｂを介して接続されている。 （もっと読む）

本発明の方法及びデバイスは、複数の活性化モードを有するように構成されたアナログ干渉モジュレータの活性化をキャリブレーション及び制御ための方法及びデバイスである。また、本発明の方法及びデバイスは、印加された電圧の関数として応答するようにアナログ干渉モジュレータをキャリブレーションするためのデバイス及び方法である。
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【課題】より少ないピン配置(fewer pin outs)で、更により高いビット深度(higher bit depth)を実現できる干渉系変調器を提供する。
【解決手段】光変調器は干渉系表示エレメント４０の行列のアレイとして配列されている。各エレメントは、サブ行のサブエレメント４２、４４、４６に分割される。アレイ接続線は、アレイ中の表示エレメントの１行に対応する１接続線と共に、表示エレメントに操作信号を伝える。サブアレイ接続線(sub-array connection lines)は、各アレイ接続線に電気的に接続する。グレースケール変調(gray scale modulation)をもたらすために、スイッチ５６、５８は、各アレイ接続線からサブ行に操作信号を伝える。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、可視光領域での波長分離を高精度に行うことができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動部２１の第２の構造体３側の面上に設けられた第１の駆動電極２８と、第２の構造体３上に第１の駆動電極２８に対向するように設けられた第２の駆動電極３３とを有し、第１の構造体２および第２の構造体３は、金属を主材料として構成された金属層４を介して接合され、かつ、金属層４を導体として第１の駆動電極２８と第２の駆動電極３３との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提
供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に
有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられ
ており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部
２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部
２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し
、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を
外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板をパッケージングするための方法及び装置。
【解決手段】干渉変調器をパッケージングするパッケージ構造及び方法である。薄膜材料が、干渉変調器及び透明基板を覆って堆積されて、干渉変調器を封入する。干渉変調器と薄膜との間のギャップ又はキャビティは、その中で干渉変調器の機械的部品が移動できる空間を提供する。ギャップは、干渉変調器を覆って堆積された犠牲層の除去によって創り出される。 （もっと読む）

【課題】小型化されたアクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明のアクチュエーター２００は、基板１８上に、いずれも櫛歯状を成し、互いの開放端側で対向する第１固定電極１１及び第２固定電極１２と、第１固定電極１１と第２固定電極１２との間に配置され、第１固定電極１１と第２固定電極１２との間を移動可能とされた平面視蛇行形状の可動電極１３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる波長を有する射出光を同時かつ個別に取り出すことができる光フィルター及びそれを備えた光モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の光フィルター１は、互いに高さの異なる段部３１、３３からなる複数個の段差部３２、３４、３６を有する第１の基板２と、これに対向して接合され、段部２１からなる可動段差部２２が形成された第２の基板３と、前記各段差部にそれぞれ大きさの異なるギャップＧ１、Ｇ２を介して設けられた第１のミラー対４と第２のミラー対５と、これらミラー対の周囲に設けられた一対の電極対６と、第１の基板２に形成されたダイアフラム部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カラーフィルタを利用せずにカラー映像を実現することができるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明のディスプレイは、金属薄膜と、金属薄膜から所定間隔離隔されて配置された誘電性多重薄膜とを含む。ディスプレイの各画素は、それぞれ複数個のサブ画素を含み、それぞれのサブ画素において、金属薄膜と誘電性多重薄膜との間の所定間隔を異ならせてカラーを実現し、各サブ画素別に電源を印加してブラックモードを実現する。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳアレイなどの二重軸ミクロミラーと、平行プレート静電動作で使用されるヒンジにおいて、正味の縦横変位を同時に制限しながら、コンプライアントなトーション回転を可能にする。
【解決手段】 円形ミラー（１２）は、対向しているが中心軸からずれた位置（３６）および（３７）で、複合縦ヒンジ（４０）および（４２）によってジンバル（４４）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の損傷を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と第一梁２を介して連結され、この第一梁２およびミラー部１の外周を囲う可動枠３と、この可動枠３と第二梁４を介して連結された支持体５と、第一梁２および第二梁４のそれぞれの中心軸を中心にミラー部１を反復回転振動させる駆動手段と、可動枠３のＸ軸方向またはＹ軸方向の少なくとも一方の振動を抑制する抑制手段とを備えたものとした。これにより本発明は、可動枠３の過剰な振幅を抑制でき、結果として光学反射素子の損傷を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの実装において、ＭＥＭＳ要素を外力による衝撃から守る様々な特性を盛り込む。
【解決手段】実装されたデバイスは、基板１０１、該基板１０１に形成されたインターフェロメトリックモジュレータディスプレイアレイ１１１及びバックプレート１２１を、具備する。上記バックプレートは、ディスプレイアレイ１１１の上に、上記バックプレートと上記ディスプレイアレイとの間のギャップ１２４を挟んで配置される。上記ギャップの深さは、上記バックプレートの全体に渡って変化する。上記バックプレートは、湾曲され得るか、または上記ディスプレイアレイに対向するその内表面にリセスを有し得る。上記バックプレートの厚さは可変し得る。上記デバイスは、上記バックプレートと一体化された強化構造を含み得る。 （もっと読む）

【課題】開口率を高めることが容易であり、かつ高速動作が可能な光制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の光制御装置１００は、基板と、基板を貫通して形成された貫通孔と、遮光性を有するとともに貫通孔の内側に少なくとも一部が配置されたフラップと、を備えており、貫通孔に入射した光の遮断状態では、フラップが前記基板の厚さ方向に対して斜めに配置されて前記貫通孔を遮蔽する一方、通過状態ではフラップが遮断状態よりも貫通孔の内壁側に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微小電子機械デバイスと、微小電子機械デバイスを作成する方法を提供する。
【解決手段】プレート間にスペーサを備えた微小電子機械システム(MEMS)デバイスを製作する方法と、その方法によって形成されたMEMSデバイス。一実施形態では、MEMSデバイスは、事前形成された構成要素を各々が有する、前面基板と保持体を積層することによって製作される。前面基板には、その上に重ねて形成された静止電極が提供される。その上に重ねて形成された可動電極を含む保持体は、前面基板に結合される。いくつかの実施形態の保持体は、可動電極を前面基板に移転させた後で除去される。他の実施形態では、保持体は、前面基板上に留まり、MEMSデバイスのための背面板として機能する。フィーチャは、付着およびパターン形成、型押し、またはパターン形成およびエッチングによって形成される。スペーサは前面基板と背面板の間に提供されてそれらの間隙を維持する。 （もっと読む）

【課題】パッケージ構造と、干渉変調器をパッケージ化するための方法。
【解決手段】透明基板810の上部に干渉変調器830が形成されている。バックプレーン820はシール840を使用して透明基板810へ接合され、干渉変調器は、バックプレーンまたはシール内の開口部850を通して、周りの環境に露出されている。透明基板とバックプレーンとを接合し、望ましい乾燥剤、剥離材料、および／または自己整合性単分子膜をパッケージ構造800内へ取入れた後で、開口部をシールする。 （もっと読む）

【課題】本発明はミアンダ形振動子の駆動効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、複数の振動板１１上には、それぞれドライブ素子１５が設けられ、これらのドライブ素子１５は、振動板１１の一方の端部側であって、隣接する振動板１１上に設けられたドライブ素子１５とは反対の端部側に片寄って配置されたものとした。これにより本発明は、ミアンダ形振動子全体としてはつづら折り状となるように駆動し、従来と比べてエネルギーロスの少ない自然な動作モードとなる。そしてその結果、高い駆動効率を実現できる。 （もっと読む）

【課題】ミラー間のギャップを可変させた場合においても分光特性に優れた光を取り出すことができ、しかも取り出す光の分光特性を低下させることなく良好に維持することができる光フィルタ及びそれを備えた光モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の光フィルタ１は、第１の基板２と、これに対向して接合され、第１の凹部５及び第２の凹部７が形成された第２の基板３と、第１の凹部５に第１のギャップを介して設けられたミラー４Ａ、４Ｂと、ミラー４Ａ、４Ｂの周囲に第２のギャップを介して設けられた一対の電極６Ａ、６Ｂと、第１の基板２に形成された第１のダイアフラム部８と、第１のダイアフラム部８の内周側に形成された第２のダイアフラム部９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスの実装パッケージを変形させることができる物理的な力は、該電子デバイスを損傷させる可能性がある。デバイス内（例えば、微小電気機械デバイス内）及び／又はインターフェロメトリックモジュレータの機械的構成要素は、損傷を特に受けやすい。従って、実装システム、物理的損傷に抗する実装された電子デバイス、該実装された電子デバイスを製造するための方法、及び、電子デバイスを物理的損傷から保護するための方法の提供。
【解決手段】電子デバイス７００に関する該実装システムは、該電子デバイスがバックプレート７５０と接触することに起因する該電子デバイスの損傷を防止するかまたは低減させる１つ以上のスペーサー７３０を含む。いくつかの実施形態においては、スペーサーを具備する該実装された電子デバイスは、スペーサーを具備せずに製造された同等の電子デバイスよりも薄い。 （もっと読む）