【課題】電極間の絶縁を維持しつつ、低コストで、構造を簡素化できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板５１に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４と所定のギャップＧを介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１に設けられた第１電極５６１と、第２基板５２に設けられ、第１電極５６１に対向する第２電極５６２と、を備える。第１基板５１は、第２基板５２に接合される第１接合面５１３を有し、第２基板５２は、第１接合面５１３に接合される第２接合面５２４を有する。第１基板５１には、第１接合面５１３、及び第１電極５６１の第２電極５６２に対向する面に絶縁性を有する第１接合膜５３１が形成され、第１接合面５１３及び第２接合面５２４は、第１接合膜５３１により接合された。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で反射膜同士の貼り付きを防止できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１と、第１基板５１に対向する第２基板５２と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４とミラー間ギャップＧ１を介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、を備え、第１電極５６１の一部と、固定ミラー５４の外周縁の少なくとも一部とが積層されて構成される第１積層ストッパー部６０を有する。 （もっと読む）

【課題】 透過状態及び非透過状態間の高速切替えを行うことができ、透過画像の品位に優れ、ユーザの姿勢の制限を低減することができるシャッタメガネを提供する。
【解決手段】 シャッタメガネは、第１パネル、第２パネル及び駆動部を備えている。第１パネルは、左目に入射される光を透過する透過状態及び左目に入射される光を遮蔽する非透過状態に切替え可能な複数の第１ＭＥＭＳ素子１５Ｌを有している。第２パネルは、右目に入射される光を透過する透過状態及び右目に入射される光を遮蔽する非透過状態に切替え可能な複数の第２ＭＥＭＳ素子１５Ｒと、を有している。駆動部は、第１パネルに第１駆動信号を供給して複数の第１ＭＥＭＳ素子１５Ｌを透過状態及び非透過状態に交互に切替え、第２パネルに第２駆動信号を供給して複数の第２ＭＥＭＳ素子１５Ｒを透過状態及び非透過状態に交互に切替える。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制できる光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】測色センサーは、固定反射膜５６を有する固定基板５１、固定基板５１に対向し、可動反射膜５７を有する可動基板５２、および固定基板５１に設けられた第一電極５４４を備えた波長可変干渉フィルター５と、モジュール基板３０と、波長可変干渉フィルター５およびモジュール基板３０を接合する異方性導電層３０１を備え、固定基板５１は、モジュール基板３０に対向する固定対向電極５１６Ａと、第一電極５４４および固定対向電極５１６Ａを電気的に接続する導電接続部５１６と、を有し、モジュール基板３０は、固定対向電極５１６Ａに対向するモジュール電極３０２を有し、異方性導電層３０１は、固定対向電極５１６Ａと、モジュール電極３０２とを導通させる。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、基板の傾きを抑制して、各基板に設けられる光学膜間の平行度を確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２によって支持される第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられた、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、支持部２２の、第２基板３０を支持する支持面の全領域上に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の被支持面上に設けられた第１接合膜よりも膜厚が薄い第２接合膜１０７との接合によって、第１基板２０と第２基板３０とが固着されている。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーが接触するスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ同士の傾斜端面を離した状態での光軸合わせを容易にすること。
【解決手段】本発明の光軸合わせ方法は、傾斜端面を有する第１の光ファイバを保持する第１の素子であって、前記第１の光ファイバの光軸に沿ってピンを保持するための第１の保持部を備えた前記第１の素子を固定すること、傾斜端面を有する第２の光ファイバを保持する第２の素子であって、前記第２の光ファイバの光軸に沿ってピンを保持するための第２の保持部を備えた前記第２の素子を準備すること、前記第１の素子の固定後、前記第１の光ファイバの傾斜端面と前記第２の光ファイバの傾斜端面とを所定間隔だけ離した状態で、前記１の保持部と前記第２の保持部に前記ピンを保持させること、及び前記第１の保持部及び前記第２の保持部に前記ピンを保持させた状態で、前記第２の素子を固定することを行う。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーがパチンと引き合うスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】作動温度の変化による可変焦点レンズの屈折力の変化を防止することができる、可変焦点レンズ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】内部に光学流体１６０で満たされた流体チャンバー１５０を有し、流体１１３を含有するＰＤＭＳからなるフレーム１１０と、フレームの上面に設けられた透明カバー１２０と、フレームの下面に設けられた透明な弾性メンブレン１３０と、弾性メンブレン上に設けられたアクチュエータ１４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板に設けられた第１電極と、可動部５２２を有する第２基板５２に設けられ、第１電極と対向する第２電極５６２と、第１電極から第１基板の外周縁に向かって延出して設けられた第１電極線と、第２電極５６２から第２基板５２の外周縁に向かって延出して設けられた第２電極線５６２Ａと、第１電極線と対向し、第２電極５６２と絶縁されて設けられた第１対向電極線５６２Ｂと、第１電極線及び第１対向電極線５６２Ｂを導通する第１導通部とを備え、第２電極線５６２Ａと第１対向電極線５６２Ｂとは、第２基板５２の厚み方向から見た平面視において、可動部５２２の中心点を中心とした仮想円の中心点を通り、仮想円を等角度間隔に分割する方向に延出して形成される。 （もっと読む）

【課題】微細機械的装置の光学的性質の操作により入射光を変調させ、優れた融通性をもたらすカラー方式を実現するため干渉変調装置及び干渉変調器のアレーを制御する方法を提供すること。
【解決手段】複数の干渉変調器を有し、該複数の干渉変調器が、着色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器と、白色光を射出するようになった少なくとも一つの干渉変調器とを有する干渉変調装置である。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターに温度センサーを設けた場合でも配線構成を簡単にできる光モジュール、および光測定装置を提供する。
【解決手段】光モジュールは、第一基板、第二基板、第一基板に設けられた第一反射膜、第二基板に設けられて第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、電圧印可によりギャップ寸法を変化させる静電アクチュエーター、静電アクチュエーターに接続された外側駆動電極線、および外側駆動電極線に接続された第一センサー配線５５１および第二センサー配線５５２を有する温度センサー５５を備えた波長可変干渉フィルターと、外側駆動電極線に接続されて静電アクチュエーターおよび温度センサー５５に電圧を印加する第一駆動回路７２、および第二センサー配線５５２に接続されて温度センサー５５からの温度検出信号が入力される温度検出回路７４を備えたフィルター駆動回路部と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】第一基板１２と、第二基板１１と、第一反射膜１７と、第二反射膜１６と、第一反射膜１７と第二反射膜１６とのギャップＧの大きさを変えることができるギャップ変更部１４と、を備え、第一基板１２は、第一反射膜１７が設けられた可動部１２１と、可動部１２１の厚み寸法よりも小さい厚み寸法に形成され可動部１２１を第二基板１１に対して進退移動可能に保持する保持部１２２と、を有する波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一基板１２に第一反射膜１７及びギャップ変更部１４を形成する第一基板製造工程と、第二基板１１に前記第二反射膜１６及びギャップ変更部１４を形成する第二基板製造工程と、第一基板１２の温度を第二基板１１の温度よりも高くした状態で、第一基板１２と第二基板１１とを接合する接合工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】色純度と光量とのバランスを可変とすることによりニーズの多様化に対応できるようにした照明装置及びこれを用いた投写型映像表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る照明装置１は、光源２から一方向に偏光方向が揃った偏光光２ａを射出し、これを光分割部材３により任意の比率で複数の偏光光３２ａ，３２ｂに分割する。そして、この複数に分割された偏光光３２ａ，３２ｂを、複数の光変換部材４を所定通りに切り換えることができるように構成された切換装置５により、複数の光変換部材４を切り換えながら複数の色光４ａ，４ｂを射出し、これを合成することにより色純度と光量のバランスを変化しうるようにしたものである。また、本発明に係る投写型映像表示装置はこのような照明装置１を用いたものである。 （もっと読む）

【課題】工程の増大がなく、製造時及び使用時のスティッキングや電流リークを防止できる光フィルター及び光機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、第１基板２と、第１基板２に設けられた第１ミラー４Ａと、第１ミラー４Ａの周辺に配置された第１電極６Ａと、第１基板２と対向した第２基板３と第２基板３に設けられ、第１ミラー４Ａと対向した第２ミラー４Ｂと、第２ミラー４Ｂの周辺に設けられ、第１電極６Ａと対向した第２電極６Ｂと、を少なくとも有し、第１ミラー４Ａ、及び第２ミラー４Ｂは誘電体多層膜９Ａ，９Ｂを含み、誘電体多層膜９Ａ，９Ｂが、第１電極６Ａ、または第２電極６Ｂの少なくとも一方を覆っている。 （もっと読む）

【課題】長波長域においても分解能を向上できる干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５４と、固定ミラー５４とギャップＧを介して対向配置される可動ミラー５５とを備える。固定ミラー５４は、１層のＴｉＯ_２膜５７と、１層のＡｇ合金膜５８とが積層されて形成される。また、可動ミラー５５は、１層のＴｉＯ_２膜５７と、１層のＡｇ合金膜５８とが積層されて形成される。 （もっと読む）

【課題】外的要因によるギャップの変動を抑制しつつ、所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること
【解決手段】第１基板５１に設けられた第１可動ミラー５６と、第１可動ミラー５６と所定のギャップＧを介して対向する第２可動ミラー５７と、ミラー間のギャップＧの寸法を変える静電アクチュエーター５４とを備える。第１基板５１は、第１可動ミラー５６が設けられた第１可動部５１２と、第１可動部５１２を基板厚み方向に移動可能に保持する第１連結保持部５１３とを備える。第２基板５２は、第２可動ミラー５７が設けられた第２可動部５２２と、第２可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する第２連結保持部５２３と備える。静電アクチュエーター５４は、各可動部５１２，５２２を相対的に移動させることで、ギャップＧの寸法を変更させる。 （もっと読む）

【課題】長期信頼性に優れた光学素子を提供する。
【解決手段】対向配置された平面基板２１，２２と、平面基板２１の内面２１Ｓに立設して複数のセル領域に分割する隔壁２４と、隔壁２４の壁面に互いに対向して配置された第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂと、平面基板２２の面２２Ｓに設けられた第３の電極２６Ｃと、各セル領域を複数のサブセル領域に分割する突起部２５と、平面基板２１と第３の電極２６Ｃとの間に封入され、互いに異なる屈折率を有すると共に界面を形成する極性液体２８および無極性液体２９とを備える。光学素子の姿勢に関わらず、極性液体２８および無極性液体２９は突起部２５により安定して保持される。第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂは、隔壁２４の一端から他端に至るまで連続して延在しており、同一セル領域における界面ＩＦが一括して変化する。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、光学膜間の平行度を安定した品質で恒常的に確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２に支持される第２基板３０と、第１基板２０の第２基板３０側全領域に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の第１基板２０側全領域に設けられた第２接合膜１０７と、第１基板２０の第１接合膜１０５上に設けられた第１光学膜６３と、第２基板３０の第２接合膜１０７上に設けられた第２光学膜７３と、第１基板２０の第１接合膜１０５上に設けられた第１電極６０と、第２基板３０の第２接合膜１０７上に設けられた第２電極７０と、を含み、第１接合膜１０５と第２接合膜１０７との接合により、第１基板２０と第２基板３０とが固着されており、第１光学膜６３、第２光学膜７３、第１電極６０及び第２電極７０が同一材質で構成されている。 （もっと読む）