【課題】製造効率性の低下を抑え、かつ反射膜の劣化を防止可能な干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５の製造方法は、固定基板５１に固定反射膜５４と第一接合膜５３１とを成膜して、固定基板５１を形成する第一基板形成工程と、可動基板５２に可動反射膜５５と、第二接合膜５３２とを成膜して、可動基板５２を形成する第二基板形成工程と、第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２を接合することで、固定基板５１及び可動基板５２を接合する接合工程と、を備え、第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２は、シロキサンを含有し、接合工程は、第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２に対して、Ｎ_２プラズマ処理またはＡｒプラズマ処理を行って表面を活性化させた後、これらの第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２をシロキサン結合により接合する。 （もっと読む）

【課題】応力関連の変形を最小限に抑えるように構成された支持構造を有するＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの実施形態は、上位の支持構造によって支持される移動可能層を含み、更に、下位の支持構造を含むことができる。１つの実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、移動可能層内の残留応力とが、実質的に等しい。別の実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、下位の支持構造内の残留応力とが、実質的に等しい。特定の実施形態では、実質的に等しい残留応力は、同じ厚さを有する同じ材料で形成される層の使用を通じて得られる。更なる実施形態では、実質的に等しい残留応力は、互いの鏡像である支持構造および／または移動可能層の使用を通じて得られる。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、基板１５０と、基板１５０に設けられた一対の駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと、基板１５０に固定された一対の固定部１０７と、一対の固定部１０７にそれぞれ接続された一対のヒンジ１１０と、一対のヒンジ１１０によって揺動可能に支持された接続部１０５と、接続部１０５に固定された支柱１０２と、支柱１０２に固定された可動板１０１とを有している。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向するように基板１５０から間隔を置いて支持されている。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向する第一の面に対向電極を有し、第一の面の反対側の第二の面に反射面１０３を有している。駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと固定部１０７とヒンジ１１０と接続部１０５は同一の層から形成されている。 （もっと読む）

【課題】視野角特性の問題を解消すること、あるいはシャッタの可動距離の確保を目的とする。
【解決手段】固定開口２４は、移動ライン３４を挟む両側の領域にそれぞれ配置された第１固定スリット２６及び第２固定スリット３０を有する。駆動開口３８は、移動ライン３４を挟む両側にそれぞれ配置された第１駆動スリット４２及び第２駆動スリット４４を有する。第１固定スリット２６及び第１駆動スリット４２は、第１ライン２８に沿って延びるように形成され、シャッタ３６が光を透過する位置にあるときに連通するように配置される。第２固定スリット３０及び第２駆動スリット４４は、第１ライン２８と交差する第２ライン３２に沿って延びるように形成され、シャッタ３６が光を透過する位置にあるときに連通するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】精度の良い分光スペクトルを迅速に測定可能な分光測定装置、及び分光測定装置の制御方法を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜、可動反射膜、及び電圧印加により反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、光の光強度を検出するディテクター１１と、測定対象光の分光スペクトルを測定する制御回路部２０と、を備え、制御回路部２０は、ピーク対応ギャップ量を検出するピーク検出部２３と、静電アクチュエーターに印加する電圧を設定するフィルター駆動部２２と、分光スペクトルを測定する分光測定部２４とを備える。フィルター駆動部２２は、ギャップ量を、定間隔ギャップ量及びピーク対応ギャップ量に段階的に変化させ、分光測定部２４は、各定間隔ギャップ量、ピーク対応ギャップ量に対する光強度を取得する。 （もっと読む）

【課題】静止摩擦の影響を低減し、ディスプレイ装置の光学的および電気機械的性能を改良する方法を提供する。
【解決手段】静止摩擦の影響を低減するとともにディスプレイ装置の光学的および電気機械的性能を改良する液体５３０に実質的に囲まれた構成要素を有する複数の光変調器を含むＭＥＭＳディスプレイ装置およびその組立方法。複数の光変調器５０３と、装置を通る光の透過を調節する複数のアパーチャとの対応関係を設定するためにＭＥＭＳディスプレイの構成要素をアライメントする方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の分野は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）に関し、より具体的には、ＭＥＭＳを備えるディスプレイに関する。
【解決手段】映像ディスプレイにピクセルを形成するのに適した光デバイス８００。光デバイス８００は、第１の屈折率を有する第１の層８０２と、第１の屈折率よりも低い第２の屈折率を有する、第１の層８０２の上の第２の層８０４と、第２の屈折率よりも高い第３の屈折率を有する、第２の層８０４の上の第３の層８０６と、少なくとも部分的に光吸収性である第４の層８１０とを含み、光スタック８０８および第４の層８１０は、デバイスが第１の状態のときは互いから第１の距離にあり、デバイスが第２の状態のときは互いから第２の距離にあり、第１の距離は第２の距離とは異なる。 （もっと読む）

【課題】帯電の少ない波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５０と、固定基板５０に対向し、固定基板５０に対して変位可能な可動基板６０と、固定基板５０の可動基板６０と対向する面に第１凹部７２が形成され、第１凹部７２に設けられた第１反射膜５３と、可動基板６０に設けられ、第１反射膜５３とギャップを介して対向する第２反射膜６３と、固定基板５０の可動基板６０に対向する面の第１凹部７２に設けられた第１電極５４と、可動基板６０に設けられ、第１電極５４と対向する第２電極６４と、を備え、固定基板５０における第１反射膜５３の下層に導電性を有するＤＬＣ膜５６が形成され、可動基板６０における第２電極６４および第２反射膜６３の下層に導電性を有するＤＬＣ膜６６が連続して形成されている。 （もっと読む）

【課題】充填された液体１６に生じた気泡４８を確認しやすくすることを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔を有して対向配置された一対の光透過性基板１０，１２と、一対の光透過性基板１０，１２を貼り合わせて、一対の光透過性基板１０，１２の間に封止空間を区画するシール材１４と、画像を光学的に表示するために封止空間に配置された複数のシャッタ２２と、封止空間に充填された光学等方性を有する液体１６と、一対の光透過性基板１０，１２の少なくとも一方と液体１６との間に配置された光学膜４６と、を有し、光学膜４６の屈折率は、一対の光透過性基板１０，１２の屈折率とは異なる。 （もっと読む）

【課題】十分な絶縁性を確保しつつ、低電圧で正確な駆動を実現することができる光学素子を提供する。
【解決手段】対向配置された第１および第２の電極と、第１の電極の、第２の電極と対向する面を覆うように順に積層された誘電体層、イオンバリア層および撥水層を含む絶縁膜と、絶縁膜と第２の電極との間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体および無極性液体とを備える。誘電体層は、イオンバリア層よりも高い誘電率を有するものであり、イオンバリア層は、極性液体に含まれるイオンの透過を抑制するものであり、撥水膜は、絶縁膜の最上層に位置し、無極性液体に対して親和性を示すものである。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴの信頼性向上を図りつつ、良好なコントラスト特性を得ることのできる表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の表示装置は、透光性基板と、前記透光性基板の一部に形成された不純物ドープ層と、前記不純物ドープ層及び前記透光性基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された複数のＴＦＴを含むＴＦＴ回路と、前記ＴＦＴ回路により駆動される複数のシャッターを有するシャッターアレイと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光干渉ＭＥＭＳディスプレイ素子を備えている光干渉変調器ディスプレイを提供する。
【解決手段】第一の電極７０２と可動物質７１４の間にかけられた電圧でＭＥＭＳデバイスが電気的に動作される。第一の電極から離れているラッチ電極７３０ａ、７３０ｂによってデバイスが動作状態に維持されうる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化に起因する反射膜間のギャップ精度の低下を防止する波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向し、固定基板５１に対して変位可能な可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２と対向する面に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを介して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５７と、可動基板５２に設けられ、第１電極５７と対向し正の熱膨張係数を有する第２電極５８と、第２電極５８に積層され、負の熱膨張係数を有する付加膜７０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】応答性の向上した波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２と対向する面に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを有して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１電極５６１と対向する第２電極５６２と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面に設けられ、固定基板５１と可動基板５２とを接合する接合部５３と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた溝部５８と、を備え、第１反射膜５４と第２反射膜５５との間のギャップを形成する空間と外部とが溝部５８を介して連通している。 （もっと読む）

【課題】設置姿勢に関わらず、励起光の照射位置の局所的な温度上昇を低減し、回転蛍光板の光変換率の低下や経年的な性能劣化を低減することのできる照明装置とこれを備えたプロジェクターを提供する。
【解決手段】本発明の照明装置は、励起光を射出する光源と、励起光を蛍光に変換する蛍光体層が設けられ、回転軸の回りに回転可能な回転蛍光板と、回転蛍光板の回転方向を切り替え可能な回転手段と、を備え、励起光が照射される回転蛍光板上の照射領域が回転軸の回りにかつ鉛直方向上方側に向かって移動するように回転蛍光板が回転することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】変形可能である光学素子と電極を備える圧電セラミック製の能動素子とを備えるバイモルフ光学装置に関し、１組の第１素子に関して圧縮運動を、１組の第２素子に関しては伸張運動を生じさせるよう、前記素子が対で反対に制御される。
【解決手段】装置は、光学素子１が光学活性の第１主表面６と、第１主要面に対向する第２主表面７とを、少なくとも第１および第２の対向する側面２，３と共に備えることと、セラミック能動素子が、前記第１および第２側面上で相互に対面する少なくとも２組の圧電セラミック棒（２１、２２；３１、３２）を備え、各組が光学素子の中立軸をなす中央面のいずれかの側で第１および第２側面の一方に配置される２つの棒（２１、２２；３１、３２）を備える。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性を向上させることができる表示装置を提供すること。
【解決手段】第一の基板２０と、第二の基板３０と、複数の画素ＰＩＸと、複数の画素ＰＩＸの各々に形成されたシャッタ機構部３２と、第一の基板２０と第二の基板３０との間に封入された流体Ｌと、第一の基板２０または第二の基板３０の一方の基板の流体Ｌとは反対側に形成された緩衝部４０とを有する表示装置１であって、シャッタ機構部３２は第二の基板３０に形成され、且つ、可動すると共に画素ＰＩＸの光透過率を制御するシャッタ部３１を有し、緩衝部４０は、一方の基板の流体Ｌとは反対側に対向する第三の基板４１と、一方の基板と第三の基板４１とを貼り合せるシール部４２と、一方の基板と第三の基板４１とシール部４２との間に形成された所定の間隙とを有する。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】垂直方向の光路を動的に切り替えることができる光スイッチ機能エレメントを並列配置して、波長ルーティング素子と接続することによって、光回路を構成する。
【解決手段】本発明の一実施態様は、波長周回性を有する１個の波長ルーティング素子と、経路切替光スイッチと、経路選択光スイッチ１３とを備えた光回路である。前記経路切替光スイッチおよび前記経路選択光スイッチは、光導波路が２層以上積層された光導波回路と、該光導波回路に挿入された中空構造マルチモード光導波路とから構成された光スイッチ機能エレメントを含む。前記中空構造マルチモード光導波路は、対向する２つのブラッグ反射鏡と、該ブラッグ反射鏡を支える２つの反射板と、前記光導波回路のコアの端面とに囲まれた中空光導波路を備え、前記中空光導波路の高さＨ_MMIを可変制御して、垂直方向に光路を切り替える。 （もっと読む）