【課題】低コストで信頼性が高く、光の不要な反射を抑制することが可能なＭＥＭＳ光スキャナおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板（半導体基板）１００を用いて形成され、外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、第１のガラス基板２００を用いて形成されミラー形成基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、ミラー形成基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備える。第１のカバー基板２および第２のカバー基板３がミラー形成基板１と同じ外形寸法に形成され、第１のカバー基板２におけるミラー形成基板１とは反対の外表面側に、透光性樹脂もしくは低融点ガラスにより形成され光の反射を抑制する微細周期構造６を有する。 （もっと読む）

【課題】基板同士の接合強度をより向上させ、接合工程を容易にしつつ、所望波長を精度良く分光させることができる干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、及び干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】第１基板５１と、第１基板５１に対向配置され、第１基板５１に接合される第２基板５２と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、オプティカルコンタクトにより互いに接合される接合面５１３，５２４と、第１基板５１の接合面５１３に形成されて接合面５１３，５２４同士を接着する接着剤が流入する第１溝部５１４Ａと、第２基板５２に形成されて第１溝部５１４Ａと外部とを連通させる接着剤注入孔５２４Ａ及び接着剤排出孔５２４Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】正確な分光特性を測定可能な分光測定装置、および分析装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置３は、互いに対向する固定基板および可動基板と、可動基板に設けられる変位部と、変位部を初期位置に向かって付勢する連結保持部と、変位部および固定基板にギャップを介して対向配置される反射膜と、ギャップを調整する静電アクチュエーターと、ギャップ間隔を演算するギャップ演算手段８２３と、反射膜を透過した光の受光量を測定する受光部６と、変位部を予め設定された第一変位位置まで変位させるギャップ制御手段８２１と、変位部が初期位置に戻る復元過程で、透過光の光量測定、およびギャップの間隔の演算を同時に実施させる測定制御手段８２５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】簡単な配線構造で、接続信頼性を向上させることが可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】 エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、これらの基板間で互いに対向して設けられる一対のミラー５６，５７と、第一基板５１に設けられる第一電極５４１、および第二基板５２に設けられる第二電極５４２を有する静電アクチュエーター５４と、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１に接続される第一電極パッド５４１Ｂと、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１とは絶縁される第二電極パッド５４３と、を備える。そして、第一基板５１および第二基板５２は、導電性の接合部５４６，５４７により接合され、第二電極５４２および第二電極パッド５４３は、これらの接合部５４６，５４７を介して導通される。 （もっと読む）

【課題】 既存の表示装置より色表現を容易に行うことができる表示装置を提供する。
【解決手段】
本発明の一実施形態に係る表示装置は、第１基板、前記第１基板と対向する第２基板、前記第１基板と前記第２基板との間に配置されるメムス素子、前記第１基板と前記第２基板のいずれか一つと前記メムス素子との間に配置される色変換部材、および前記第１基板に向かって光を発する光源を含み、前記色変換部材は前記光源の光を吸収して、吸収した光エネルギーによって少なくとも一つの色を表示する光を発光する。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動範囲を制限するストッパを簡易に構成する。
【解決手段】角速度センサ１は、フレーム２と、フレーム２に対して揺動する振動子３と、振動子３の揺動を所定の揺動範囲に制限するためのストッパ５，５とを備えている。フレーム２、振動子３及びストッパ５，５は、同一基板上に複数の層が積層された１つの積層体として構成されている。ストッパ５，５は、フレーム２から延びており、反ることによって振動子３の揺動軌跡Ｔ上に位置している。 （もっと読む）

液体または気体の流体を含む保持部（１）に取り付けるための区域（２．３）と、非動作位置から可逆的に変形できる中央区域（２．１）とを含む変形可能ダイアフラム（２）と、取付け区域（２．３）と中央区域（２．１）との間の中間区域のダイアフラム（２）を動かして流体（４）を移動させるための作動手段とを有する光学デバイスに関する。作動手段は、複数のアクチュエータを受け取り、中央区域（２．１）を囲む連続圧電冠状部を含み、少なくとも中間区域（２．２）でダイアフラム（２）に取り付けられ、作動手段（５）と、それが取り付けられているダイアフラム（２）とが、少なくとも１つの圧電バイモルフ（Ｂ）を形成し、作動手段（５）が、ダイアフラムの中間区域（２．２）から中央区域（２．１）の方にまたは逆の方に流体（４）の移動をもたらし、中央区域（２．１）をその非動作位置に対して変形させるように作動の間半径方向に収縮または拡大する。
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本発明は、剛体エレメント（例えばミラーのような光学エレメント）を動かすためのアクチュエータに関する。エレメントは、曲げ可能な連結部を有するフレームに機械的に連結される。アクチュエータエレメントは、フレームとエレメントとの間で連結部上に載置される。連結部およびアクチュエータエレメントは、信号発生器から信号を受けるときに、エレメントに動きを提供するのに適している。 （もっと読む）

【課題】射出光の波長を可変させた場合でも、高透過率および高分解能を実現可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合され、可動部５２２、およびこの可動部５２２を基板対向方向に移動可能に保持する連結保持部５２３を有する変位部５２１を備えた第二基板５２と、第一基板５１に固定される固定ミラー５６と、可動面５２２Ａに固定される可動ミラー５７と、固定ミラー５６および前記可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、静電引力により可動部５２２を基板対向方向に変位させる第一静電アクチュエーター５４と、第一静電アクチュエーター５４の内側で、固定ミラー５６および可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、可動部５２２に変位方向と逆方向に応力を付与する第二静電アクチュエーター５５と、を具備した。 （もっと読む）

本発明は、一般に、光学装置および／またはレンズ付属物の分野に関し、特に、異なる状態の間で制御可能に切り換えられる光学パワースイッチ（ＯＰＳ）を提供する、光学装置および／またはレンズ付属物に関する。例えば、シリコンゲルのような軟質透明材料（１２）は、ガラスプレート（１０）の表面に堆積される。ガラスプレート（１０）は、レンズ本体（１０）の表面へとアクチュエータで動かされる。軟質材料要素（１２）がレンズ本体（１２）の表面に接触すると、この表面は、その光学特性を変える。
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【課題】一体化された光学補正構造物を有する空間光変調器及びこれの製造方法を提供する。
【解決手段】空間光変調器４０は、一体化された光学補正構造物、例えば、基板４２と複数の個々にアドレス可能な光変調素子４４との間に、又は、基板に関して光変調素子の反対側に配置された光学補正構造物４１、を具備する。該光変調素子は、透明基板内を透過された光又は透明基板から反射された光を変調するように構成される。該空間光変調器を製造する方法は、光学補正構造物を基板上方に製造することと、複数の個々にアドレス可能な光変調素子を該光学補正構造物上方に製造すること、とを含む。該光学補正構造物は、受動的光学補正構造物であり、補足的フロント照明源、ディフューザ、ブラックマスク、回折光学素子、カラーフィルタ、反射防止層、光を散乱させる構造物、マイクロレンズアレイ、及びホログラフィー膜のうちの１つ以上を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】低コスト、且つ、高い機能を有するＭＥＭＳ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】微細構造体からなるデバイス層６１と、基材９１とにより構成されるＭＥＭＳ１０１の製造方法であって、成形可能な材料を型５１により成形することにより、デバイス層６１、及び基材９１を成形する成形工程Ｓ４２と、成形工程により成形されたデバイス層６１と、基材９１とを接合する接合工程Ｓ４４と、成形工程で生じた残膜６１ａを、デバイス層６１より除去する除去工程Ｓ４５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】 背面照明を使用して光干渉変調器を照明するシステム及び方法。
【解決手段】 背面照明を用いた光干渉変調器アレイ装置が開示される。光干渉変調器アレイ装置は、複数の光干渉変調器素子を具備し、ここでは、光干渉変調器素子の各々は、光学的キャビティを具備する。光干渉変調器アレイは、光学的開口領域を含み、少なくとも１つの反射素子は、光学的開口領域を通過する光を受光するように、そして受光された光の少なくとも一部を光干渉変調器素子のキャビティの方へ反射するように、置かれる。複数の実施形態において、光干渉変調器素子は、光学的開口領域が隣接する複数の光干渉変調器素子の間に形成されるように、互いに分離されることができる。 （もっと読む）

【課題】反射膜間の距離を精度よく制御することができる波長可変光フィルターの提供。
【解決手段】厚み方向に変位可能な第１の可動部１１と厚み方向に変位可能な第２の可動部１２とを備えた第１の基板１０と、第１の基板１０との間で内部空間１３を形成し、第１の基板１０に接合された第２の基板２０と、第１の基板１０を挟んで第２の基板２０の反対側に配置された第３の基板３０と、第２の可動部１２と第３の基板３０との間に挟持された圧電素子５０と、内部空間１３に満たされた液体６０と、第１の可動部１１の面１４上に設けられた第１の反射膜１５と、第２の基板２０上に設けられた第２の反射膜２２とを備え、圧電素子５０の厚み方向の変位に応じて、第２の可動部１２が厚み方向の一方に変位することにより液体６０に加わる圧力で第１の可動部１１が厚み方向の他方に変位し、第１の反射膜１５と第２の反射膜２２との間の距離Ｇが変化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、２つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 （もっと読む）

【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイスを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイスであり、インターフェロメトリックモジュレータアレイが透明基板を通じて光を反射させるように構成されている。該透明基板は、シールを介してバックプレートに取り付けられており、該バックプレートは、該インターフェロメトリックモジュレータアレイを制御するための電子回路を内蔵することができる。該バックプレートは、該ディスプレイの状態を制御するために使用することができるデバイス構成要素（例えば電子構成要素、等）に関する物理的支持物となることができる。さらに、該バックプレートは、該デバイスに関する構造上の主支持物として利用することもできる。 （もっと読む）

ディジタル立体像投射機内に、第１偏向状態の偏光照明光を生成する光源サブシステムと、その光路上にある回動多部分ディスクを用い第１及び第２光ビームを交番的に生成するビーム分割サブシステムとを設け、その回動多部分ディスクの外寄りに透光部及び遮光部、内寄りに反射部及び透光部を互い違いに配する。第１又は第２光ビームの光路上にある偏向回転器でそのビームの偏向状態を第１偏向状態からそれと直交する第２偏向状態へと回転させる。光結合サブシステムにて、第１光ビームと第２光ビームを結合して結合光ビームを生成する。空間光変調器にて、立体像データに従い結合光ビームを変調しその偏向状態が略直交する第１及び第２変調像を生成する。投射サブシステムにてそれらの変調像を表示面上に投射する。
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