【課題】ミラー面の汚損がなく、反射損失も低く、さらには変形時の破損拠点にもなりにくい、新規なミラー構造を有する光導波路を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路は、光路方向を定めるコア部と、該コア部より屈折率が低いクラッド部とを含むコア層および該コア層の両面に積層されたクラッド層を含む光導波路であって、該コア部の光路方向に沿った所定の位置に、該光導波路へ入射する光または該光導波路から出射する光の光路を変換するミラー面を画定する中空ミラー構造体を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広い波長域で良好な完全フォトニックバンドギャップを有し、製造が容易な３次元フォトニック結晶を提供する。
【解決手段】 ３次元フォトニック結晶は、第１の媒質により形成された構造体と該第１の媒質よりも屈折率が低い第２の媒質とが３次元方向に周期的に配置されて構成される。構造体が第１の方向に延びる第１及び第３層と、構造体が第２の方向に延びる第２及び第４層とが積層されている。各層の構造体は、積層方向での一端面としての平坦面と、第１の幅及び第１の高さを有する第１の構造部分と、第１の幅及び第１の高さよりも大きい第２の幅及び第２の高さを有する第２の構造部分と、幅及び高さが連続的又は段階的に変化する第３の構造部分とを有する。隣接２層のうち一方の層における第１の構造部分での平坦面が、他方の層における第２の構造部分の上記平坦面とは反対側の面に接している。 （もっと読む）

【課題】従来の光導波回路チップには、チップ上に厚さ調整用補強板を貼る際に導波路部や導波路端面に割れや欠けが生じやすく、機械的強度に課題あった。さらに、真空吸着によって強制的に反りを抑制しているため、光導波路に応力が加わり光導波回路の透過波長帯域や偏波依存性等の光学特性に影響が出やすいという課題があった。そこで、係る課題を解決するため、本発明は、基板とパターン層の熱膨張係数の差による反りのうち、光回路の部分の反りを残して光回路の光学特性を維持しつつ、チップ端面付近での反りを抑制でき、チップ端面の機械的強度の高い光導波回路チップの提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係る光導波回路チップは、光入出力導波回路の導波路に沿うように上部クラッド膜から基板に向けて溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤボンディングによる光導波路の損傷が回避される光導波路素子を提供する。
【解決手段】有機非線形光学材料を含む光導波路と、光導波路の一方の面側に配される第1電極と、光導波路の他方の面側に配される第２電極と、第２電極上に積層された保護部材であって、該第２電極に近い側の第1面に設けられ且つ該第２電極に接続された第３電極、該第２電極に遠い側の第２面に設けられた第４電極、及び該第1面と該第２面とを貫通すると共に前記第３電極と前記第４電極とを電気的に導通する導通部を有する保護部材と、を備えたことを特徴とする光導波路素子。 （もっと読む）

【課題】フォトニック結晶を用いた波長板の持つ設計の自由度が高く、耐熱性および耐光性に優れた特長を生かしつつ、製造歩留りを向上させた波長板を得る。
【解決手段】透明基板上に矩形形状からＶ字状の周期凹凸構造を製作する（Ｓ１）。透明基板上にＳｉおよびＴａターゲットを用い、スパッタリングとプラズマによるエッチングを組み合わせて、周期凹凸構造と同一形状の交互に多層膜４のフォトニック結晶を製作する（Ｓ２）。製作したフォトニック液晶波長板の位相差を測定し、調整が必要か否か判定し（Ｓ３）、調整要の場合（Ｓ３のＹｅｓ）、フォトニック液晶波長板のオリエンタルフラットを基準に回転ステージの回転角を測定し基準調整値（Δθｃ）を決定する（Ｓ４）。組み込む光学系の基準に対して、基準調整値を補正値とし、フォトニック結晶波長板を回転調整して切り出し、高精度の位相差の波長板を得る（Ｓ５）。これにより、製造歩留りを向上できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で高い屈曲性を有しつつ、光伝播と共に通電機能も果す光電混載の光導波路フィルム及びその製造方法、並びに、当該光導波路フィルムを備えた光送受信モジュールを提供すること。
【解決手段】クラッド１１４と、クラッド１１４に埋設された光導波路コア１１２と、を有する光導波路フィルム本体１１６を備えた光導波路フィルム１０において、光導波路フィルム本体１１６の２つの主面うち一方の主面１１６Ｂに電気配線層１２０が形成させる。 （もっと読む）

【課題】同一の基板上に発光素子及び受光素子や導波路が形成されている場合でも、漏れ光が基板上の様々な伝搬経路を経て受光素子に入射することを防ぐことが出来る光学装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学装置は、基板の主面に沿って設けられた発光素子及び受光素子と、発光素子及び受光素子の間の光の伝搬経路となる導波路と、を含み、当該発光素子と受光素子と導波路とのうちの少なくとも２つの間の基板の主面に沿った領域に形成された遮光領域を有する。当該光学装置の製造方法は、基板の主面に沿って発光素子及び受光素子を形成する工程と、発光素子及び受光素子の間の光の伝搬経路となる導波路を基板の主面に沿って形成する工程と、を含み、当該発光素子と受光素子と導波路とのうちの少なくとも２つの間の基板の主面に沿った領域に遮光領域を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】発明の目的は、光配線の高密度化を可能にすることによって、光配線によって半導体装置間の信号伝送を行う電子装置の信号処理速度を飛躍的に向上させることである。
【解決手段】
電気信号を処理する複数の半導体装置と、前記半導体装置の間で交わされる信号が電気から光に変換されてなる光信号を伝送する複数の光導波路によって構成される光配線を具備する電子装置において、隣接する前記光導波路の間で、コア断面の幅及び厚さの何れか一方又は双方が異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造が簡便であり、反射性能に優れた光路変換のための反射面を備える光導波路及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】光が伝播する導波路コアと、該導波路コアを包囲し、該導波路コアより屈折率の小さいクラッド部と、を有し、前記クラッド部が光進行方向の端部に切断面を有し、該切断面に、前記クラッド部とは異なる材質からなる基材上に金属膜を着膜したミラー部材を、該金属膜が光を屈曲させる反射面となるように貼付してなる光導波路である。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部（光路）を簡単な方法で形成することができる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路構造体９は、コア部９４と、該コア部９４より屈折率が低いクラッド部９５とを備えるコア層９３とを有する光導波路９０と、該光導波路９０の両面に設けられた導体層９０１、９０２とを有する。コア層９３は、主鎖と該主鎖から分岐し、分子構造の少なくとも一部が、主鎖から離脱し得る離脱性基とを有するノルボルネン系ポリマーを主材料として構成され、コア部９４とクラッド部９５とは、主鎖に結合した状態の離脱性基の数が異なることにより、それらの屈折率が異なっている。 （もっと読む）

【課題】放電や静電破壊を抑制しつつより高い電圧でポーリング処理を行うことが可能であり、より高い有機非線形光学材料の電気光学効果が引き出された光導波路素子、光導波路素子のポーリング処理方法を提供すること。および簡易な構成でＤＣドリフトの発生を抑制可能な光導波路素子を提供すること。
【解決手段】例えば、基板１０上に、下部電極１２（第１の電極）、下部クラッド層１４（第１のクラッド層）、光導波路層１６（光導波路１７）、上部クラッド層１８（第２のクラッド層）、上部電極２０（第２の電極）、及び保護層２２が順に積層されて構成させ、保護層２２に上部電極２０の少なくとも一部を露出する開口２２Ａを設ける。そして、当該開口２２Ａから露出する上部電極２０に対し電圧印加手段の端子を電気的に接続し、当該上部電極２０に電圧を印加してポーリング処理を施す。 （もっと読む）

【課題】複数の光路をミラーを用いて変換する多チャンネル光路変換素子において、低損失で信頼性の高い光路変換素子及び簡便な製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】垂直導波路と水平導波路の交差部に両導波路と略４５度の角度をなすＶ溝斜面を形成し、Ｖ溝の斜面間の角度と略一致する稜の角度を有する棒状体に反射膜を形成し、Ｖ溝斜面の導波路コア端部に反射膜が接するように貼り付け、ミラーとする光路変換素子の作製において、Ｖ溝を８μｍ以上２０μｍ以下の平均粒径を有するダイヤモンドブレードにより形成し、表面粗さＲａが１０ｎｍ以下の棒状体の面に反射膜を形成し、Ｖ溝先端部に対応する棒状体の稜をＶ溝先端の曲面部の量以上に面取し、Ｖ溝に接着剤で接着固定した光路変換素子の作製方法および、同作製方法で作製された多チャンネル光路変換素子。 （もっと読む）

【課題】静電破壊や放電を抑制しつつより高い電圧でポーリング処理を行うことが可能であり、より高い有機非線形光学材料の電気光学効果が引き出された光導波路素子及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１０上に、少なくとも、下部電極層１２と、下部クラッド層１４と、有機非線形光学材料を含み電気光学効果を有すると共に光の伝搬を行う導波路を有する導波路層１６と、上部クラッド層１８と、上部電極層２０と、を順次備え、２つの光の入出力端面と、該入出力端面と交わる２つの側端面とを有し、当該各面における下部電極層１２の一部又は全部が下部クラッド層で覆われている光導波路素子である。そして、この下部電極層１２を形成する際、素子状に切断する際の切断面と交わる領域の一部又は全部を下部電極層非形成領域１２Ａとなるように設けて、下部電極層１２を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でＤＣドリフトの発生を抑制可能な光導波路素子を提供すること。
【解決手段】例えば、基板１０上に、下部電極１２（第１の電極）、下部金属又は無機酸化物層１３（第１の金属又は無機酸化物層）、下部クラッド層１４（第１のクラッド層）、光導波路層１６（光導波路１７）、上部クラッド層１８（第２のクラッド層）、上部金属又は無機酸化物層１９（第２の金属又は無機酸化物層）及び上部電極２０（第２の電極）、が順に積層されて構成させ、光導波路層１６（光導波路１７）及び下部電極１２間の層構成と、光導波路層１６（光導波路１７）及び上部電極２０間の層構成と、を厚み方向において対称の層構成とする光導波路素子。 （もっと読む）

【課題】複数の光路をミラーを用いて変換する多チャンネル光路変換素子において、低損失で信頼性の高い光路変換素子及び簡便な製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数の垂直導波路と複数の水平導波路とその交差部に形成されたミラーからなる多チャンネル光路変換素子において、透明基板に平行に溝を形成し基板を溝と垂直にカットし、カット幅と略同じ厚みの透明基板端面に溝が形成された面を突き合わせ形成される孔にコア用樹脂が充填され、垂直導波路としたことを特徴とする、多チャンネル光路変換素子の作製方法。および、同作製方法で作製された多チャンネル光路変換素子。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でＤＣドリフトの発生を抑制可能な導波路装置及び導波路素子の駆動方法を提供する。
【解決手段】導波路素子１２が、基板２７上に、下部電極１３、下部クラッド層２１、導波路層１６、上部クラッド層１８、及び複数対の上部電極からなる上部電極群２０と、が順に積層されて構成されており、この上部電極群２０が、下部電極１３に対応する複数対の上部電極からなり、電圧印加部１４は、この上部電極群２０の各対をなす上部電極に対して値が同一で且つ逆極性の電圧を所定時間印加する。 （もっと読む）

【課題】従来の光導波モードを利用する技術よりも、安定かつ高い感度で被検出試料を検出できる光導波モードセンサーを提供する。
【解決手段】本発明は、ガラスとその上に形成した反射膜と、さらに該反射膜自身の表面を酸化して形成した光導波路層とからなる検出板を用いる。この検出板のガラス側から、反射膜に光を入射する光入射機構と、反射膜によって反射される前記光の反射光を検出する光検出機構と、を備える。入射光の一部又は全部が光導波路内を伝搬する光導波モードと結合することによって反射光強度が著しく増減する光入射角度領域を用いて、検出板の表面に検出対象となる物質が吸着又は付着した際に生じる反射光強度の変化を読み取ることによって、物質の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】モニタ用導波路のレイアウトの自由度の高い光導波路デバイス、及び、この光導波路デバイスを用いた光出力モジュールを提供する。
【解決手段】クラッド部２２の長方形角部には、第１ミラー面２４、第２ミラー面２６が構成されている。導波路コア３０は、一端が第１クラッド部２２の下面２２Ｄに、他端が第１ミラー面２４に配置されるように、クラッド部２２の厚み方向に配置されている。主導波路コア３２は、一端が導波路コア３０の第１ミラー面２４側の端部と連続され、他端が側面２２Ｂと対向する側面２２Ｅに至るように、上面２２Ａに沿ってクラッド部２２の長手方向に配置されている。モニタ用導波路コア３４Ａは、一端が導波路コア３０のミラー面２４側の端部と連続され、他端が第２ミラー面２６に配置されるように、クラッド部２２の短手方向に配置されている。 （もっと読む）

【課題】三層構造を形成するためのタクトタイムおよびコストを低減し、回路の薄型化を可能としつつ、煩雑な処理を必要とせずに汎用性を高めた光導波路の形成方法を提供する。
【解決手段】ベース板上にラミネートしたコアシートをパターニングして平行な複数本のコア層とし、クラッドシートをラミネートしてクラッド・コア接合体とし、該接合体からベース板を剥離し、反対面にダイシングテープを貼り付け、コア層の両端部でベベルカットして傾斜面を形成し、層間および最外部のコア層の外側でストレートカットしてクラッド・コア接合体個片とし、該接合体個片のコア層露出側をマスクし、マスクから露出した傾斜面に金属膜を形成し、マスク除去後にダイシングテープから剥離して接合体個片を個々に分離し、回路基板上に液状の接着剤を塗布し、接合体個片のコア層露出面側を液状接着剤に接触・位置決めし、液状接着剤を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】 電子集積回路装置間を接続する高密度配置された隣接する光導波路間のクロストークを低減した半導体装置を提供する。
【解決手段】 支持基板１と、支持基板上１に接続固定された電子集積回路装置２と、前記支持基板１上に位置し、電子集積回路装置２から出力される電気信号を光信号に変換する発光素子４と、支持基板１上に位置し、光信号を電気信号に変換して電子集積回路装置２に入力する受光素子５と、発光素子４と光学的に接続する第１の光導波路と、受光素子５と光学的接続し、光の伝搬方向が第１の光導波路における光の伝搬方向と逆方向であり、第１の光導波路と隣接する第２の光導波路と、を含み、支持基板１上に位置する一対の光導波路対と、を具備する半導体装置を提供することができる。 （もっと読む）