説明

Fターム[2H147FA09]の内容

光集積回路 (45,729) | 膜形成、結晶成長 (3,006) | 膜形成方法、結晶成長方法 (2,523) | 気相成長 (1,163) | 物理的気相成長、蒸着 (696) | スパッタ (336)

Fターム[2H147FA09]に分類される特許

61 - 80 / 336


【課題】光回路のパターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高い光路を簡単な方法で形成することができ、耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体1は、凸部21および凹部22が形成された基板2と、基板2の上面に形成された金属層5と、凹部22内に形成され、コア層93の両面にクラッド層91、92を積層してなる光導波路9と、凸部21の外周の傾斜面に形成され、伝送光18を反射する反射面961と、基板3と、発光素子10と、受光素子11と、電子回路素子12とを備えている。コア層93は、コア部94とクラッド部95とを有し、コア部94は、活性放射線の照射と加熱とにより屈折率が変化する材料で構成されたコア層93に対し活性放射線を選択的に照射して所望形状に形成したものである。 (もっと読む)


【課題】 光電変換素子から伝達される熱による影響を低減させた光伝送基板および光モジュールを提供する光伝送基板を提供する。
【解決手段】 光伝送基板は、基板と、前記基板上に設けられた金属層と、前記基板上に設けられた光導波路と、上方に光電変換素子を設けて前記光導波路と光学的に結合させるための金属反射部であって、前記光導波路の光軸に対して傾斜した光反射面を有し、前記金属層と接して前記基板の上方に設けられた金属反射部と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】光リング共振器において光学素子による損失を低減する。
【解決手段】本発明の一実施形態によるリング共振器は、リング状光導波路と、リング状光導波路に光を入力する入力用の光結合器と、リング状光導波路から光を出力する1以上の出力用の光結合器と、リング状光導波路に配置された1以上の光学素子とを備える。1以上の光学素子は、入力用の光結合器から入力された光の伝搬方向において、入力用の光結合器とその次の出力用の光結合器との間の全損失が他の光結合器間の全損失の総和よりも小さくなるように配置される。あるいは、1以上の光学素子は、入力用の光結合器から入力された光の伝搬方向において、最後の出力用の光結合器と入力用の光結合器との間の全損失が他の光結合器間の全損失の総和よりも大きくなるように配置される。 (もっと読む)


【課題】電気通信システムなどで使用される光送信及び受信装置を提供する。
【解決手段】1つ又はそれよりも多くのレーザ4と、この1つ又はそれよりも多くのレーザ4の各々によって出力された放射線を強度変調する変調手段10と、変調手段によって生成された変調放射線を例えば光ファイバ22の中に出力するための出力手段とを含む送信装置2。装置は、使用時に1つ又はそれよりも多くのレーザ4から変調手段10まで及び変調手段10から出力手段まで放射線を案内する基板に形成された中空コア光導波路20を含む。また、基板に形成された少なくとも1つの中空コア光導波路により、放射線が1つ又はそれよりも多くの光ファイバから1つ又はそれよりも多くの検出器まで案内されることを特徴とする受信器。組合せ受信器/送信器装置も示される。 (もっと読む)


【課題】複数の受発光部が高密度に配置されていても、電気配線の導電性や電気配線同士の絶縁性を十分に確保しつつ、光導波路に対して良好な光学的接続を可能にする光素子搭載基板を提供すること。
【解決手段】 本発明の光素子搭載基板は、絶縁性基板と、前記絶縁性基板の第1の面側に設けられた受発光する複数の受発光部と、前記絶縁性基板の第1の面に設けられた第1の配線と、前記絶縁性基板の前記第1の面と反対側の第2の面に設けられた第2の配線とを有し、前記第2の面側において、複数のチャンネルを有する光導波路と積層されることにより、前記受発光部と前記複数のチャンネルとがそれぞれ光学的に接続されるよう用いられる光素子搭載基板であって、前記複数の受発光部は、平面視において、2列以上の並列する列状に配置され、前記受発光部は、前記第1の配線と前記第2の配線の両方に電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】選択的に可変である、共鳴波長の光線を反射することの出来るチューナブル共鳴格子フィルタを提供する。
【解決手段】フィルタは、回折格子3と、平面状導波路4と、フィルタをチューニングすることを許容し得るよう選択的に可変の屈折率を有する光透過性材料とを備え、該光透過性材料は、導波路に対するチューナブルクラッディング層5、好ましくは、液晶LC材料で形成する。回折格子3が平面状導波路4に対してチューナブル層5の反対側部に配置され、これによりフィルタのチューニング可能性に顕著に影響を与えずに、格子パラメータを所望のフィルタの帯域幅に特に合わせることができる。共鳴構造体1内にて、コア層4をチューナブル層と直接接触するか又はコアとチューナブル層との間に介在された相対的に薄い中間層と直接接触するチューナブル層5に近接する位置に配置することで、コア層4の有効屈折率を効率的に変化させることができる。 (もっと読む)


【課題】
モニタ光としてエバネセント波を利用する光導波路デバイス及びその製造方法において、汚染物質の除去が容易であり、あるいは、再汚染を抑制することが可能な光導波路デバイス及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】
焦電性又は圧電性を有する材料で構成された基板1と、該基板の一部形成された光導波路2とを有する光導波路デバイスにおいて、該光導波路を跨ぐように配置される受光素子3と、該受光素子と該光導波路との距離を調整するために、該基板上に形成された台座4とを備え、該台座は、膜体で構成され、少なくとも該受光素子に面した表面材料が、光触媒物質、導電性物質又は半導体物質のいずれかで形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光信号の伝送効率を向上することのできる技術を提供する。
【解決手段】光導波路基板11は、発光素子40、受光素子50に対する光信号の伝送を行う光導波路30を有している。また、光導波路基板11は、発光素子40と電気的に接続される配線パターン21と、光導波路30の端部側で配線パターン21上に設けられ、発光素子40を支持する部品41と、を有している。ここで、部品41が、発光素子30と配線パターン21とを電気的に接続する導通部42と、発光素子30と光導波路30間の光信号35を反射する平滑面43と、を有している。 (もっと読む)


【課題】高精度で且つ微細な光導波路の製造が可能な光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】この光導波路1の製造方法は、光信号を伝送するコア層16と、前記光信号を反射するミラー4、5とを備える光導波路1の製造方法であって、結晶性材料からなる基材2の所定の結晶面2a上に、所定形状にパターニングされたマスク層10を形成する工程と、前記マスク層10をエッチングマスクとするウェットエッチングプロセスにより前記所定の結晶面2aをエッチングして、前記基材2に複数の他の結晶面3a、3b、3c、3dを出現させて該他の結晶面3a、3b、3c、3dが内壁の一部もしくは全部となる溝部3を形成する工程と、少なくとも一つの前記他の結晶面3a(3b)に金属反射膜12を設けてミラー4(5)を形成する工程と、前記溝部3内にコア材料を充填してコア層16を形成する工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】効率的に製造することができ、光電気モジュール基板の組み立てに容易に利用できる光電気モジュールを提供する。
【解決手段】支持基板11の一方の面に光導波路24が形成され、光導波路24の一方側と他方側とにそれぞれ光素子32a、32bが搭載され、支持基板11の一方の面には接続パターン12a、12bが、他方の面には実装用のパッド14a、14bが接続パターン12a、12bと電気的に接続して形成され、光導波路24は、第1のクラッド層18a、コア20a、20b、第2のクラッド層18bが積層して形成され、光素子32a、32bは、光導波路24の表層である第2のクラッド層18b上に、コア20a、20bに位置合わせし、接続パターン12a、12bと電気的に接続して搭載されている。 (もっと読む)


【課題】低コストで安定した品質の薄膜を製造することができる薄膜製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜製造方法であって、基板20上に形成させる薄膜の原料溶液中に、基板20を配置する配置工程と、基板20の第1主面20aに光を照射することにより、第1主面20a上に薄膜を形成する形成工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】所定の角度をなす傾斜面を有する光導波路コアを効率的に製造することができ、前記傾斜面に選択的に金属膜を形成させることができる光導波路コアの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板11上に形成されたクラッド層12の表面に、コア部13を形成するコア部形成工程と、コア部13に、クラッド層12に対して略垂直な垂直面15aと、垂直面15aに対向し、クラッド層12の反対側から入射される光をコア部13内に誘導又はコア部13から出射される光をクラッド層12の反対側に導出するように、光を反射させるための傾斜面15bとを有する凹部15を形成する凹部形成工程と、凹部15に金属層16を形成する金属層形成工程と、垂直面15aに形成された金属層16aを選択的に除去することによって、少なくとも傾斜面15b上に金属層16bを残存させる金属層除去工程とを備える光導波路コアの製造方法を用いる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、信号伝送特性を向上させる要求に応える光導波路部材を提供するものである。
【解決手段】本発明の一形態にかかる光導波路部材6は、上記課題を解決するため、第1クラッド層15aと、該第1クラッド層15a上面に積層された第2クラッド層15bと、第1クラッド層15a及び第2クラッド層15bに取り囲まれ、第1クラッド層15a及び第2クラッド層15bよりも屈折率が高いコア層16と、を備え、コア層16は、第1クラッド層15a上面に面当接する第1当接面16a1を有する下面と、第2クラッド層16a2に面当接し、第1当接面16a1と少なくとも一部が平面視で重畳する第2当接面16a2を有する上面と、第1当接面16a1及び第2当接面16a2よりも外側に突出した突出部16bを有する側面と、を有するものである。 (もっと読む)


【課題】光結合デバイスの実装体積や実装構造上の制約のより少ない状態で、検査コストが低減できるようにする。
【解決手段】ウエハ段階までの製造工程を経た素子について、ウエハ段階検査を行う。まず、複数の光集積回路チップが形成されたウエハ121において、検査対象となる光集積回路チップ122の上に光ファイバ108の光入出射端を近設し、光集積回路チップ122内部より光導波路部コア144からなる光導波路を導波してきた光信号151を、回折格子部143よりなるグレーティングカプラで反射させて光ファイバ108に光結合させる。このようにして光ファイバ108に光結合した信号光を用い、光集積回路チップ122における光ICの特性検査が行える。なお、光IC部は、必要に応じ、通電用プローブによる電気信号の供給が行われて駆動されている。 (もっと読む)


【課題】出力側でのクロストークを低減し、分光された光がそれぞれ単一波長の光として、固有の出力側端面から出力することができる平面導波路素子を提供する。
【解決手段】それぞれの光導波路アレイにおける光導波路5,6においては、光導波路5,6の並ぶ方向において一方向に向かって、等価屈折率分布に勾配が形成されている。第1光導波路アレイおよび第2光導波路アレイの連結部は、光が第1光導波路アレイから第2光導波路アレイに伝搬する際に、mを整数として、この光が起こす光学的ブロッホ振動の位相が(2m−1)×π変化するように形成されている。それぞれの光導波路アレイの光導波路の長さの平均値は、それぞれの光導波路アレイを伝搬する光が、光学的ブロッホ振動において1/2周期の振動する間に、光導波路5,6を伝搬する長さに略一致している。 (もっと読む)


【課題】複数の受発光部が高密度に配置されていても、電気配線の導電性や電気配線同士の絶縁性を十分に確保しつつ、光導波路に対して良好な光学的接続を可能にする光素子搭載基板、および、かかる光素子搭載基板を備えた光電気混載基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】光電気混載基板1は、貫通孔110を有する絶縁性基板11と、2つの受発光素子71、72と、半導体素子8と、絶縁性基板11の上面に設けられた第1の配線15と、下面に設けられた第2の配線16とを有する。受発光素子71は、図2の紙面厚さ方向に沿って配列した複数の受発光部711を備えている。そして、受発光素子71は、絶縁性基板11の上面に設けられ、第1の配線15と電気的に接続されている。一方、受発光素子72も同様に複数の受発光部721を備えている。そして、受発光素子72は、貫通孔110内に設けられ、第2の配線16と電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】
DQPSK変調などに用いられる複数のマッハ・ツェンダー型導波路を薄型の基板上に集積化した光導波路素子において、on/off消光比を改善した光導波路素子を提供すること。
【解決手段】
電気光学効果を有する材料で形成された厚みが20μm以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路を有する光導波路素子において、該光導波路が複数のマッハツェンダー型導波路部を有すると共に、少なくとも2つ以上のマッハツェンダー型導波路部から出力される光波を合波する構成をし、該マッハツェンダー型導波路部(MZA)内の合波部には、出力用導波路(c1)と該出力用導波路を挟むように配置される2本の放射光用導波路(b1,b2)から構成される3分岐導波路が形成され、該3分岐導波路の該出力用導波路と該放射光用導波路との間には、高次モード光吸収領域(d1,d2)が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光回路にプリント配線板を精度良く、簡易に実装できる光回路アセンブリを提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態による光回路アセンブリは、導波路型光回路と、プリント配線板とから構成される。導波路型光回路は、平面基板上に形成された光導波路と、光導波路上に形成された抵抗発熱体と、抵抗発熱体と電気的に接続された電極とを有する。プリント配線板は、配線と、電極と、開口窓とを有する。導波路型光回路の電極とプリント配線板の電極とが電気的に接続されるようにプリント配線板の開口窓を設けることにより、光回路にプリント配線板を精度良く、簡易に実装することができるようになる。 (もっと読む)


【課題】光素子を外力が確実に保護するとともに、光導波路と積層した際には、光素子と光導波路との間を低損失で接続しつつ、光電気混載基板の薄型化を実現可能な光素子搭載基板、および、かかる光素子搭載基板を備えた光電気混載基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】光電気混載基板1は、光導波路21が形成された光回路層2と、その上方に設けられ、受発光素子(光素子)7を内蔵する光素子搭載基板(光電気複合モジュール)10とを有する。光素子搭載基板10は、平板状の第1の基板11と、第1の基板11上に設けられ、四角形の枠状をなす第2の基板12と、第2の基板12の内側に設けられた受発光素子7および半導体素子8とを有している。第1の基板11は、可撓性を有し、第2の基板12は、第1の基板11よりも剛性が高いものである。 (もっと読む)


【課題】従来の導波路型可変光減衰器は可変光減衰器の光減衰量を増やしたときに、光減衰器の偏波依存性が大きいという解決すべき点を有していた。
【解決手段】基板上に形成された導波路で構成される導波路型可変光減衰器において、前記可変光減衰器が、入力導波路、第1の光カプラ、第2の光カプラ、前記第1と第2の光カプラを結ぶ2本のアーム導波路、および出力導波路から構成されており、前記第1と第2の光カプラは前記2本のアーム導波路が近接する領域を含み構成される方向性結合器であって、特に、前記アーム導波路の長さを、使用光波長を導波路複屈折で割って求められるビート長の整数倍に設計する。 (もっと読む)


61 - 80 / 336