【課題】本発明の目的は、光伝送性能が高く、また、パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部（光路）を簡単な方法で形成することができる光導波路の製造方法、この製造方法により製造された光導波路、および、これを備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】光導波路９０の製造方法は、完全に固化または硬化に至らない状態のクラッド層用の第１の層を得る工程と、第１の層上に、活性放射線の照射によりまたはさらに加熱することにより屈折率が変化するものであり、完全に固化または硬化に至らない状態のコア層用の第２の層を得て積層体とする工程と、積層体に対して活性放射線を選択的に照射することまたはさらに加熱することにより、第２の層において活性放射線の照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせ、これにより２つの領域のいずれか一方をコア部９４とし、他方をクラッド部９５とする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、多芯の光接続時の光軸ずれを抑えて、光接続効率の高い、安価な光路変換コネクタを提供する。
【解決手段】光路変換コネクタは、光導波路のそれぞれが、第１コア端面から第１コアを通ってミラー面に至り、ミラー面で方向を変えられて第２コアを通って第２コア端面に至る連続した光路に構成される光路変換デバイス２と、光路変換デバイス２が第１端面を露出するように収納された収容穴１２、および第２端面にマトリックス状に露出する第２コア端面を露出させる光入出射窓１３が設けられた外装部材５Ｄと、を備える。ピン挿入穴６ａが穴方向を第１コアの光軸と平行として収納穴１２の開口側に開口するように外装部材５Ｄに形成され、ピン挿入穴６ｂが穴方向を第２コアの光軸と平行として光入出射窓１３の開口側に開口するように外装部材５Ｄに形成されている。 （もっと読む）

【課題】シリコン導波路を伝搬する光を偏波に無依存でかつ高い結合効率で受光素子に結合することが可能な、小型のグレーティング結合器を提供する。
【解決手段】グレーティング結合器は、シリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）構造のシリコン層（１２）に形成した導波路（１３）と、前記導波路（１３）の上面に形成したグレーティング（１５）と、前記グレーティング（１５）を被覆する透明誘電体被膜（１６）と、前記透明誘電体被膜を介して前記グレーティング上に設置された面受光型の受光素子（２）と、を備え、前記グレーティング（１５）を、溝周期が（０．４００±０．０２０）×（前記導波路を伝搬する光の中心波長）、溝深さが（０．０９７±０．０３２）×（前記導波路を伝搬する光の中心波長）である複数の周期的な溝で構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】石英系光導波路の作製方法において、作製される光導波路の光学特性を良好に保ちつつ、コア層に対する引っ張り応力による亀裂の発生を抑制すること。
【解決手段】まず、シリコン基板上に下部クラッド層をＦＨＤ法を用いて作製する（ステップ１）。次に、反応性スパッタ法を用いてＳｉＯＮコア層を堆積する（ステップ２）。そして、フォトリソグラフィー及び反応性イオンエッチング法を用いて、１ミクロンから２００ミクロンまでコア幅を変化させたコアパターンを形成する（ステップ３）。その後、１２００℃で熱処理を行う（ステップ４）。最後に、上部クラッドの形成を行う（ステップ５）。コアパターンに作用する応力は、コア層を光導波路（コアパターン）へと加工することによって大幅に軽減されるため、コア層の状態での熱処理では亀裂が入ってしまう場合でも、コアパターン加工後に熱処理を行うことで亀裂の発生を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】チャネル導波路アレイとスラブ導波路との界面付近のアレイ導波路間に、スラブ導波路から離れていくに従って膜厚が薄くなっていく縦テーパ状のコア層を容易にかつ再現性良く作製するための製造方法を提供すること。
【解決手段】アレイ導波路間の間隔をスラブ導波路から離れるに従って広がっていくように設計されたコアパターンを、フォトリソグラフィー技術とエッチング技術により形成する。この段階では、縦方向のテーパ構造を形成する必要はないので、再現性の良い通常のフォトリソグラフィー技術とエッチング技術が使用できる。次に適切な温度での熱処理を行ってコアを変形させ、コアとコアの間に接続層を形成するが、アレイ導波路間の間隔をスラブ導波路から離れるに従って広げていくように設計しておくことにより、熱処理を施すだけで、コアとコアの間の接続層の厚さをスラブ導波路から離れるに従って徐々に薄くすることができる。 （もっと読む）

【課題】スポットサイズを変換する光導波路を用い、より効率的に光結合ができるようにする。
【解決手段】この光導波路は、第２コア１０３を、スポットサイズ変換領域１１２の開始端（導波領域１１１の側）にかけて先細りに形成したところに特徴がある。このように、第２コア１０３が、スポットサイズ変換領域１１２の開始端にかけて先細りに形成されているので、導波領域１１１かとスポットサイズ変換領域１１２との界面で生じる、導波光の反射および損失をより小さくすることができるようになる。この結果、より効率的に光結合ができるようになる。 （もっと読む）

【課題】光コネクタにおいて、平面型光導波路のコア位置精度を向上させることである。
【解決手段】並列に配列された複数のコアと、複数のコアを囲むクラッドとを有する平面型光導波路１４を保持する光コネクタ１０は、合成樹脂で形成されるコネクタ本体１２を備え、平面型光導波路を挿入する光導波路挿入口と、光導波路挿入口と連通し平面型光導波路を挿通する光導波路挿通路と、光導波路挿通路と連通し平面型光導波路の先端を露出させる光導波路露出部２２とを含み、光導波路露出部に設けられ、光導波路挿通路の通路底面から平面型光導波路の挿通方向に対して略直交方向に突出して形成され、平面型光導波路を嵌合してコネクタ本体に位置決めする嵌合突起３８と、平面型光導波路の先端面に設けられ、複数のコアにおける隣接するコア間のクラッドに平面型光導波路の光軸方向に対して略直交方向に溝状に形成され、嵌合突起と嵌合される嵌合溝４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】一体化される光導波路基板に形成すべき導通ビアのファインピッチ化を実現可能にするとともに、導電性材料の充填不足による歩留りの低下を防止すること。
【解決手段】配線基板１０上に積層された第１クラッド層２１にビア開口を行い、その開口されたビアを導電性材料で充填して、第１クラッド層２１の面からきのこ状に突出した形状を有する第１の導体部分２４（導通ビアの一部）を形成する。さらに、この第１の導体部分２４と共にコア層２２及び第１クラッド層２１を被覆して形成された第２クラッド層２３にビア開口を行い、その開口されたビアを導電性材料で充填して、第１の導体部分２４と接続される第２の導体部分２５（導通ビアの残りの部分）を形成する。 （もっと読む）

【課題】光導波路を、容易に形成でき、例えばスポットサイズ変換の変換比が大きい場合であっても、変換効率が高く、短い距離でスポットサイズ変換を行なえる構造とする。
【解決手段】光導波路を、第１の幅を有する第１導波路コア部１と、第１の幅よりも広い第２の幅を有する第２導波路コア部２と、第１導波路コア部１と第２導波路コア部２とを接続するテーパ状導波路コア部３とを備えるものとし、テーパ状導波路コア部３を、第１導波路コア部１から第２導波路コア部２へ向けて幅が広くなるテーパ形状を有するものとし、第１導波路コア部１に接続される側の幅を第１の幅と同一にし、第２導波路コア部２に接続される側の幅を第２の幅よりも狭くする。 （もっと読む）

【課題】光軸のずれが抑制された高精密な光導波路基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子と、該光学素子に光学的に接続された光導波路３と、を備える光導波路基板を作製する方法において、エッチング可能な基板４と、該基板の一方の面に設けられたエッチングストップ部材２と、を有する複合基板を準備し、上記エッチング可能な基板上に、所望のパターンを有するマスクを形成する。その後、上記エッチング可能な基板に異方性エッチングを施して上記エッチングストップ部材まで上記基板を腐食させ、所望の幅となった時点でエッチングを停止して、当該基板に溝部３を形成し、上記溝部内に光伝播部５を形成する。 （もっと読む）

【課題】官能性置換基を有するポリノルボルネンをバルク重合で合成できる感光性組成物を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性組成物は、光酸発生剤と、該光酸発生剤が放出するプロトンの作用により分子構造の少なくとも一部が離脱し得る離脱性基を有するノルボルネン系モノマーと、該ノルボルネン系モノマーの付加重合のための触媒とを含んでなり、該離脱性基をexo位に有するexo体ノルボルネン系モノマーが、該離脱性基をendo位に有するendo体ノルボルネン系モノマーよりも過剰に存在する。 （もっと読む）

【課題】光導波路フィルムの無機基板に対する接着性に優れると共に、無機基板の種類に関係なく、有機材料を用いて同じ条件で製造することが可能な光導波路およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】光導波路は、シリコン基板を除く無機基板上に各々有機材料からなる下部クラッド層、光導波路コアおよび上部クラッド層が順次形成されており、無機基板と下部クラッド層との間に酸化シリコンまたはスピンオングラスからなるバッファー層が設けられている。この光導波路は、シリコン基板を除く無機基板上に酸化シリコンまたはスピンオングラスからなるバッファー層を設けた後、各々有機材料からなる下部クラッド層、光導波路コアおよび上部クラッド層を順次形成することより製造される。 （もっと読む）

【課題】光変調部において厚さ１０μｍ以下の薄板を採用して速度整合を図った光変調器において、光変調器と外側の光ファイバとの間の結合損失および光変調器内部での結合損失を抑制することである。
【解決手段】光変調器１０Ａは、支持基板１、電気光学材料からなる変調用基板３、この変調用基板３の一方の主面側３ａに設けられている光導波路４、変調用基板３の他方の主面３ｂ側に設けられており、光導波路を伝搬する光を変調するための電圧を印加する電極、および変調用基板３の一方の主面３ａを支持基板１へと接着する接着層２を備える。変調用基板３が、少なくとも光導波路４を伝搬する光の変調を行うための厚さ１０μｍ以下の変調部７と、変調部７よりも厚い光ファイバ結合部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】波長よりも小さい厚みでコアに光を閉じ込めることができる光導波路を提供する。
【解決手段】光導波路１１のコア１３は第１屈折率の第１材料から形成される。クラッド１２、１５は第１屈折率よりも高い第２屈折率の第２材料から形成される。コア１３の有効屈折率は第１屈折率を超える。コア１３の厚みが光の波長よりも小さくても、光は確実に閉じ込められる。光のスポットは光の波長よりも小さく絞り込まれることができる。波長よりも小さい径のスポットは確立されることができる。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ高位相で高速な変調度を持つ光変調器に接続される接続路と、そのような光変調器および接続路で構成された光通信システムと、それらの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の接続路３０は、光変調器の外部に設けられた光導波路と光変調器を接続し、接続路３０の内部には、第１導電型を呈するようにドープ処理された半導体層８の少なくとも一部と、第２導電型を呈するようにドープ処理された半導体層９の少なくとも一部とが誘電体層１１を挟んで重なり合って設けられている。また、第１導電型の半導体層８と、第２導電型の半導体層９と、誘電体層１１とが、光変調器から光導波路に向かってテーパー形状または逆テーパー形状を有するように幅および／または高さが変化している。 （もっと読む）

【課題】光配線板内の導波路にミラー反射膜を形成する際に、必要最小限の金属使用量で、しかも比較的簡単な設備と手法で、ミラー反射膜を安価かつ容易に形成することのできる方法を提供すること。
【解決手段】光配線板内の導波路にミラー反射膜を形成する方法であって、基材、金属層、接着層の順に積層された積層フィルムを使用し、前記導波路に設けられたミラー反射膜形成用の傾斜面に、前記積層フィルムの接着層を介して金属層を転写接着させる。 （もっと読む）

【課題】光集積回路と光ファイバとの結合が容易となる光集積回路要素、及び、光デバイスを提供する。
【解決手段】光スイッチ等の光路制御用の光集積回路に適する成分を含む膜をガラス等の材料の上に付け、薄膜の上からレーザ等による光を照射して、薄膜の中に所定の熱処理相を形成する。前記レーザ光は、主に基板においてそのエネルギーが吸収され、その吸収されたエネルギーによる熱で、薄膜を熱処理する。パターンニングが可能で、光スイッチ等の光デバイスに応用できる。基板は、所定の範囲の波長の光を吸収でき、耐熱性があり、熱膨張が低い材料からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】コアのそれぞれに対応した光源を用いなくても、本構成を有しない場合に比べて、押圧位置の検出にとってノイズとなる光を低減することが可能になり、タッチパネルに利用することができる光導波路、光導波路型タッチパネル、及び光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】バックライト３１から発せられた光は、遮光板３２の開口３２ａを透過して第１の反射面２２Ａで反射し、第１のコア２０Ａを伝播して第１の受光素子４Ａに入射する。バックライト３１からの光は、拡散光であるため、第１の反射面２２Ａで反射した光のうち一部の光が、第１のコア２０Ａを外れてクラッド２１を伝播するが、その光は第３の反射面２３Ａで上方に反射する。 （もっと読む）

【課題】金属層による反射が設けられた傾斜面を有する光導波路において、光硬化型の接着剤に対して効率よく光を照射すること。
【解決手段】光が伝搬する導波路コア１１と、導波路コア１１を囲繞し、導波路コア１１より屈折率が小さいクラッド部１２と、少なくとも一方の長手方向の端部に傾斜面と、該傾斜面上に金属層１３と、クラッド部１２の外側表面のうち傾斜面と鋭角をなす面のうち傾斜面の下側方向に位置する部分に溝１４と、を有する光導波路１０。また、前記光導波路１０を作製する工程と、光導波路１０および光素子２０を、光導波路１０の溝１４を有する箇所において接触させつつ、溝１４に光硬化型の接着剤を毛細管現象により充填する工程と、接着剤を露光により硬化させる工程と、を有する光モジュールの製造方法。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモンポラリトンベースデバイスと誘電体ベースデバイスとの高度混合集積を実現し、多種類の制御可能な光電気集積デバイスを実現すること。
【解決手段】本発明は、誘電体基板層と、前記誘電体基板層上に位置する誘電体導波路層と、前記誘電体導波路層上に位置する結合整合層と、前記結合整合層上に形成された、ショートレンジ表面プラズモンポラリトンを伝導するためのショートレンジ表面プラズモン導波路部とを含むことを特徴とする、ショートレンジ表面プラズモンポラリトンと一般誘電体導波路との混合結合構造である。また、本発明は、下から上に向けて、それぞれ、誘電体基板層と、誘電体導波路層と、結合整合層と、ロングレンジ表面プラズモン導波路部とを含むことを特徴とする、ロングレンジ表面プラズモンポラリトンと誘電体導波路との結合構造である。 （もっと読む）