説明

Fターム[2H147FF06]の内容

光集積回路 (45,729) | 製造条件(雰囲気、圧力、温度等) (947) | 温度 (668) | 200<T≦500℃ (149)

Fターム[2H147FF06]に分類される特許

1 - 20 / 149



【課題】石英系光導波路デバイスとフォトダイオードとが、同一基板上にモノリシックに集積できるようにする。
【解決手段】光モジュールは、シリコン基板100と、シリコン基板100の上に形成されたSiO2からなる下部クラッド層101と、下部クラッド層101の上の第1領域110に形成されたゲルマニウムフォトダイオード110aと、下部クラッド層101の上の第1領域110に連続する第2領域120に形成されたシリコンコア121と、第2領域120の一部から第2領域120に連続する第3領域130にかけて形成された石英コア131とを備える。また、ゲルマニウムフォトダイオード110a,シリコンコア121,および石英コア131の上に形成されたSiO2からなる上部クラッド層103を備える。 (もっと読む)


【課題】
電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板を利用し、補強基板に接着した場合でも、薄板や補強版の破損を抑制し、さらには微小なクラックによる光損失などの性能劣化も抑制した、光導波路素子を提供すること。
【解決手段】
電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板1と、該薄板には光導波路2が形成されており、該薄板に接着層5を介して接着された補強基板6とを有する光導波路素子において、該補強基板6の該薄板側の表面には、凹凸構造が形成され、該補強基板は、該凹凸構造が形成された後であり、かつ該薄板に接着する前に、キュリー温度以下の高温で熱処理されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光損失が少ない光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】下記(I)〜(III)の工程を含む光導波路の製造方法。(I)基板2上に形成された下部クラッド1上に、下から順に、光ラジカル開始剤及び重合性化合物を含有する光硬化性樹脂組成物層4、並びに水溶性非光硬化性樹脂組成物層3が形成される工程。(II)コア部8を形成するために、フォトマスク6を使用して上記光硬化性樹脂組成物層4を露光する露光工程。(III)上記光硬化性樹脂組成物層4の未露光部分及び上記水溶性非光硬化性樹脂組成物層3をアルカリ現像液で除去するアルカリ現像工程。 (もっと読む)


【課題】複数の光導波路を一度に製造する場合において、オーバークラッド層の上面が平坦な光導波路を、生産性よく製造することができる光導波路の製法を提供する。
【解決手段】基板A上を複数の光導波路Wに対応する領域に区画し、その領域ごとに、アンダークラッド層1を形成するとともに、隣接し合うアンダークラッド層1の間に、そのアンダークラッド層1と隙間をあけて、ダミーアンダークラッド層Dを形成する。ついで、アンダークラッド層1およびダミーアンダークラッド層Dの上面にコア2を形成した後、オーバークラッド層形成用の感光性樹脂を一面に塗布する。そして、複数の光導波路Wに対応する、感光性樹脂層3aの部分を選択的に露光し、その露光部分をオーバークラッド層3に形成することにより、アンダークラッド層1とコア2とオーバークラッド層3とからなる複数の光導波路Wを形成し、それらを基板Aから剥離する。 (もっと読む)


【課題】検出感度に優れる比色センサセルおよび比色センサを提供すること。
【解決手段】検知部30と、検知部30に隣接するサンプル配置部31とを備える比色センサセル1において、検知部30に、第1樹脂からなるアンダークラッド層3と、第2樹脂からなり、アンダークラッド層3に被覆されるコア層4とを備える光導波路を備えて、コア層4のアンダークラッド層3と接触する表層に、第1樹脂が第2樹脂に浸透されている樹脂混合層23を形成する。 (もっと読む)


【課題】接続パッドを備えた配線基板の上にコア層を十分なパターン精度で形成して光導波路を構成できる光電気複合基板の製造方法を提供する。
【解決手段】上面に接続パッドPを備えた配線基板10上の接続パッドPを除く領域に第1クラッド層40を形成する工程と、第1クラッド層40の上に帯状のコア層50を形成する工程と、コア層50を被覆する第2クラッド層60を形成することにより、コア層50が第1クラッド層40及び第2クラッド層60で囲まれた構造の光導波路Lを得る工程とを含む。第1クラッド層40の厚みは接続パッドPの厚みと同一に設定されて、接続パッドPの段差が解消される。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、寸法精度に優れた光導波路形成用フィルムおよびその製造方法、ならびに高品質な伝送性能を発揮することが可能な光導波路、光配線、光電気混載基板、電子機器を提供することにある。
【解決手段】本発明の光導波路形成用フィルムの製造方法は、フィルム基材の上に光導波路用塗布液を塗布して、膜状体とする製膜工程と、前記膜状体を加熱する加熱工程と、を有する光導波路形成用フィルムの製造方法であって、前記加熱工程における加熱温度での前記フィルム基材の長尺方向の加熱収縮率が0.5%以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】下地のポリマーに対する変質・劣化を抑制しつつ、単に塗布するのみで光伝送効率の高い光導波路を効率よく安価に製造可能な光導波路用塗布液、かかる光導波路用塗布液を用いて製造された光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路用塗布液30は、成分(A)としてカルボキシル基を含む水溶性または水分散性の水性樹脂と、成分(B)として前記水性樹脂を架橋する架橋剤と、成分(C)として水と、を含み、ポリマーで構成されたコア部14の少なくとも一部を覆うように、または、コア部14の周囲に設けられポリマーで構成されたクラッド部(各クラッド層11、12および各側面クラッド部15)の少なくとも一部を覆うように塗布することにより、光導波路1を形成するのに用いられることを特徴とするものである。また、光導波路用塗布液30は、成分(D)および成分(E)を含んでいてもよい。 (もっと読む)


【課題】 十分な光伝送能力及び十分に高いパターン形成精度を有する光導波路を形成することが可能な光導波路用樹脂組成物の製造方法を提供すること。
【解決手段】 テトラカルボン酸無水物とジアミンとの重合反応により得られる下記一般式(1)で示されるポリイミド前駆体と、光重合開始剤とを含有しており、前記重合反応においてリン酸トリエステルを溶媒として用いることを特徴とする光導波路用樹脂組成物の製造方法。
【化1】
(もっと読む)


【課題】感光性を有する樹脂層の所定箇所に光照射した後に光照射されていない箇所を現像液で除去するフォトリソグラフィーにより光導波路のパターンを形成する光導波路の製造方法において、十分な光伝送能力及び十分に高いパターン形成精度を提供する。
【解決手段】下部クラッド層を形成する工程と、前記下部クラッド層の表面上にコア材料からなるコア層を形成する工程と、前記コア層の表面上に上部クラッド層を形成する工程と、前記上部クラッド層の所定箇所に光照射した後に、現像液により光照射されていない箇所を除去して前記上部クラッド層のパターンを形成すると共に、該パターン形成がされた上部クラッド層をレジストマスクとして前記現像液により前記コア層及び前記下部クラッド層のパターンを形成して、下部クラッドと、前記下部クラッド上に形成されたコアと、前記コア上に形成された上部クラッドとを備える光導波路を得る工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】近接場光の伝達効率の減少を可及的に防止することを可能にする。
【解決手段】金属と無機酸化物とが3次元的に共に連続的な構造の複合体からなる近接場光導波部4と、近接場光導波部の一端に近接場光を導入する近接場光励起部6と、近接場光導波部の他端から近接場光を出力する近接場光出力部8と、を備えている。近接場光導波部4は、金属/無機酸化物の複合体からなっており、良好な導波効率を得るためには、酸化物の割合a(vol%)、金属の割合をb(vol%)とした場合に、70≦a≦95,5≦b≦30の高密度な構造体であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】1×2の多段構成の光スプリッタ用光導波路の入出力間の距離を低減する。
【解決手段】合波分岐光導波路構造150は、一方の側S1に湾曲する第1の軸線LA1に沿って形成された合波側の第1のコア部A1と、一方の側S1に湾曲する第2の軸線LB1に沿って形成された分岐側の第2のコア部B1と、他方の側S2に湾曲する第3の軸線LC1に沿って形成された分岐側の第3のコア部C1とを有する。軸線LA1,LB1,LC1は、互いに平行なそれぞれの接線と接する接点PA1,PB1,PC1を有する。更に、接点PB1,PC1は、第1の軸線LA1の接点PA1における接線TA1と垂直に第1の接点PA1を通って延びる垂直線LP1から分岐側の領域内に位置する。第3の軸線LC1の接点PC1は、接線TA1に対して他方の側S2に位置している。 (もっと読む)


【課題】光導波路のコア層またはクラッド層の膜厚を任意に制御できる光導波路形成用樹脂フィルム、およびこれを用いた光導波路、その製造方法並びに光電気複合配線板を提供する。
【解決手段】同一フィルム内に厚さが異なる部分を有する光導波路形成用樹脂フィルム、該光導波路形成用樹脂フィルムを用いて作製してなる光導波路、及び光導波路の製造方法、並びに該光導波路を、電気配線板に複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】光導波路を、容易に形成でき、例えばスポットサイズ変換の変換比が大きい場合であっても、変換効率が高く、短い距離でスポットサイズ変換を行なえる構造とする。
【解決手段】光導波路を、第1の幅を有する第1導波路コア部1と、第1の幅よりも広い第2の幅を有する第2導波路コア部2と、第1導波路コア部1と第2導波路コア部2とを接続するテーパ状導波路コア部3とを備えるものとし、テーパ状導波路コア部3を、第1導波路コア部1から第2導波路コア部2へ向けて幅が広くなるテーパ形状を有するものとし、第1導波路コア部1に接続される側の幅を第1の幅と同一にし、第2導波路コア部2に接続される側の幅を第2の幅よりも狭くする。 (もっと読む)


【課題】屈曲耐久性に優れ、光損失の少ないフレキシブル光導波路を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2、コア層6、上部クラッド層7が順に積層されてなるフレキシブル光導波路であって、コア層6が中間部より端部が厚く、かつ厚い部分から薄い部分にかけて傾斜を有し、上部クラッド層7がコア層6の傾斜面上で傾斜を有し、コア層6の傾斜角度が、上部クラッド層7の傾斜角度よりも大きいことを特徴とするフレキシブル光導波路、並びに前記フレキシブル光導波路を、フレキシブル電気配線板と複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】光導波路フィルムの無機基板に対する接着性に優れると共に、無機基板の種類に関係なく、有機材料を用いて同じ条件で製造することが可能な光導波路およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】光導波路は、シリコン基板を除く無機基板上に各々有機材料からなる下部クラッド層、光導波路コアおよび上部クラッド層が順次形成されており、無機基板と下部クラッド層との間に酸化シリコンまたはスピンオングラスからなるバッファー層が設けられている。この光導波路は、シリコン基板を除く無機基板上に酸化シリコンまたはスピンオングラスからなるバッファー層を設けた後、各々有機材料からなる下部クラッド層、光導波路コアおよび上部クラッド層を順次形成することより製造される。 (もっと読む)


【課題】 溶剤可溶性であって、複屈折と面配向性が共に低値のポリイミドを提供する。
【解決手段】 溶剤可溶性ポリイミドであって、633nm波長における複屈折の値(X)とIR測定から算出される面配向の値(Y)が、式(1) Y≦−1.49X+0.55かつ0≦X≦0.30を満足するものであるポリイミド。 (もっと読む)


【課題】光ファイバとの結合損失の低い光導波路を得る。
【解決手段】酸化層、Si層が積層された基板上に、光導波路となる領域に第1の酸化膜のマスクを形成し、第1の酸化膜をマスクとして前記Si層をエッチングする第1エッチング工程と、第1エッチング工程の後、Si層を覆う第2の酸化膜を形成する第2の酸化膜形成工程と、第2の酸化膜上の第1の酸化膜のマスクの両側となる領域に、光導波路の出力端に近づくに従い、相互に間隔が徐々に広がる2つのレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、レジストパターンをマスクとして、第2の酸化膜をエッチングする第2のエッチング工程と、第2のエッチング工程の後、熱酸化を行う熱酸化工程と、熱酸化工程の後、第3の酸化膜を形成する第3の酸化膜形成工程を有し、Si層を光導波路とすることを特徴とする光導波路の製造方法により上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】高屈折率樹脂組成物を光学部品、特に光導波路に適用したとき、光学部品中に無機粒子が均一に分散され、かつ、分散剤の残存率が低減された光学部品を得ることができる高屈折率樹脂組成物、および、優れた光学特性を発揮する光学部品を提供すること。
【解決手段】
本発明の高屈折率樹脂組成物は、加熱により脱水または脱アルコール反応する樹脂と、無機粒子と、50%重量減少温度が400℃以下である分散剤と、分散媒とを含有することを特徴とする。 (もっと読む)


1 - 20 / 149