【課題】被処理物の大面積化に対応できるとともに、異常放電を起こすことなく正規の放電処理開始地点での処理の良好性確保できる大気圧プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】大気圧プラズマ処理装置の第１ステージ部２１の露出された第１金属表面２１ａ上に被処理物Ｗを設置する。第１ステージ部２１の外側の第２ステージ部２２の第２金属表面２４ａには固体誘電体層２５を設ける。電極１１が、第２ステージ部２２に対応する第２移動範囲Ｒ２とその外側の第３移動範囲Ｒ３とに跨る所定位置より第３移動範囲Ｒ３側に位置するとき、該電極１１への電圧供給を停止し、上記所定位置より第１移動範囲Ｒ１側に位置するとき、該電極１１に電圧を供給しプラズマ放電Ｄ２，Ｄ１を形成する。 （もっと読む）

本発明は、動物の収容設備の床を清掃する装置（１）に関する。装置は、空気流生成装置（８）と、装置の操作を制御する制御装置（６）とを備えている。装置は、制御システムの制御で、床上で移動可能で床の清掃を行なう。制御装置は、最初に空気流生成装置を作動し、次に空気流生成装置を停止するようにプログラムされて床の清掃を制御する。動物の収容設備の床を清掃する方法は、第１清掃工程として、空気流を生成し、空気流を床に向けて、床上の剥がれた物質を除去する。動物の収容設備の床を清掃する装置は、空気流生成装置と、装置の操作を制御する制御装置とを備えている。装置は、制御システムで制御され、床上で移動可能で床の清掃を行なう。装置は、主装置（２）と、主装置（２）に対し移動可能な移動装置（３）とを備えている。床清掃装置（７）及び空気流生成装置は、装置の残りの部分に対し移動可能な移動装置に設けている。
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【課題】製造ラインの運転中においても効率的にローラ表面の異物を除去でき、ウエブの品質故障の発生を低減できるだけでなく、複数の工程をウエブが連続搬送される際に、その中の特定の工程において、ローラ表面の異物を除去できる。
【解決手段】
帯状のウエブ１４を搬送するローラ表面の異物除去方法において、両面に粘着層５７、５８が形成されたクリーニングシート３６をアルミウエブ１４のローラ３１、３１…側の面に貼り付けて、ウエブ１４をローラ３１、３１…と接触させながら搬送させることにより、クリーニングシート３６でローラ３１、３１…表面の異物３５を捕捉する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生電極を管軸方向に相対的に移動させてゆくことで、管体の内周面に、洗浄、滅菌、表面処理などの所定の処理を行う管用プラズマ処理装置において、小径の管体に対応できるようにする。
【解決手段】プラズマ発生電極１の内、管体１０内で相対的に移動させる電極を内側電極の陽極１１のみとし、外側電極の陰極１２を、電気絶縁性の材料から成る管体１０の外周面に臨む環状に形成する。そして、管体１０をチャック５２Ａ，５２Ｂによって架台上に固定し、移動台４１に前記陰極１２および陽極１１が先端に取付けられたケーブル３の基端３４を固定し、矢府Ｆ方向に移動させることで、陰極１２内に管体１０を、その管体１０内に陽極１１を、連動して挿入してゆく。したがって、従来では外側電極の外周以上の径に制約されていた処理可能な管体１０の内径を、大幅に小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 部品点数の削減等を図れると共に、操作性及び取扱性に優れ、然も、ガス冷却室の水噴霧ノズル周囲の壁面に付着・堆積したダストを迅速に除去できる。
【解決手段】 ガス冷却室２の壁部３に設けたノズル取付け用管台４に挿着されるガイド体７と、ガイド体７に挿通された支持体８と、支持体８に挿通された回転軸９と、回転軸９の先端部に揺動可能に取り付けられ、壁部３の内壁面に沿う掻き取り位置を取り得る掻き取り板１０と、回転軸９の基端部にこれを回転操作する操作位置と回転操作しない非操作位置とに亘って揺動可能に取り付けた操作ハンドル１１とから成る簡易ダスト除去装置１であって、前記操作ハンドル１１の基端部に、操作ハンドル１１の揺動操作により掻き取り位置にある掻き取り板１０を掻き取り位置にロックし得ると共に、そのロックを解除し得るカム板１１ｃを設ける。 （もっと読む）

【課題】紫外線による劣化がなく、保存安定性に優れ、かつ、異物除去性能および搬送性能に優れたクリーニング機能付搬送部材を提供すること。
【解決手段】クリーニング機能付搬送部材１００は、搬送部材１０と、搬送部材の少なくとも片面に設けられたクリーニング層２０とを有する。クリーニング層２０は、９５％以上のゲル分率を有するポリエチレン系樹脂を含む。好ましくは、クリーニング層２０は、エネルギー線照射により架橋したポリエチレン系樹脂を含む。クリーニング層２０の融点は１８０℃以上であり、ビッカーズ硬度は２０以上である。 （もっと読む）

【課題】 より簡便な設備を使用し、より簡易な作業により、熟練を要せずに、ピグを用いて配管の清掃または塗装ができる配管更生方法を提供しようとする。
【解決手段】
従来の配管更生方法にかわって、配管の他方の端部から内部の流体を負圧で吸引する負圧吸引工程と、配管の一方の端部を大気に開放する大気開放工程と、配管の一方の端部を大気に開放するのを止める大気閉止工程と、配管の一方の端部にピグを投入するピグ投入工程と、配管の一方の端部に加圧した気体を案内する加圧気体案内工程と、を備え、前記負圧吸引工程を実施中に、前記大気開放工程を実施した後で、前記ピグ投入工程を実施してから所定時間が経過するまでにピグが他方の端部に到達しないときに、前記大気閉止工程と前記加圧気体案内工程とを実施するものとした。 （もっと読む）

【課題】管部材内を移動するピグの位置を比較的簡単に且つ容易に監視することができるピグの位置監視方法を提供すること。
【解決手段】管部材内を移動するピグによって発生する移動音を集音マイク６で集音し、集音した移動音の周波数のうち特定周波数範囲の音成分の単位時間当たりの発生回数を周波数測定装置２０でもってカウントし、単位時間当たりの発生回数のカウント値に基づいて管部材の曲折部を判定し、この曲折部情報を利用してピグの位置を監視する。移動音の特定周波数範囲は８００〜１２００Ｈｚ以下の周波数範囲であり、管部材の曲折部をピグが移動するときには、この曲折部に衝突して接触しながら移動するので、ピグの移動音には周波数の小さい成分が多く含まれるようになり、従って、周波数測定装置２０のカウント値も大きくなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置のクリーニング方法において、耐熱性樹脂材からなるクリーニング材を装置内に搬送して被洗浄部位に接触させることを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法、特に耐熱性樹脂材のガラス転移温度が１５０℃以上である上記構成の基板処理装置のクリーニング方法、またクリーニング材がシート状または搬送部材の形状である上記構成の基板処理装置のクリーニング方法である。 （もっと読む）

【課題】乗物における天井やこれに設けてある多数のルーバーの清掃を行うに当たって、作業効率をアップできてしかも作業時間を短縮することのできる清掃装置を提供すること。
【解決手段】乗物の床面上を移動する台車１０と、この台車１０に対して垂直方向に伸縮可能に立設した支柱２０と、この支柱２０上に設けられて台車１０に対して回転自在にした第一支持台３０ａと、この第一支持台３０ａに対して横方向へ往復動可能に組み付けた第二支持台３０ｂと、この第二支持台３０ｂに組み付けた少なくとも１本の回転モップ４０と、この回転モップ４０を回転駆動すべく第二支持台３０ｂに設けたモータ５０とにより構成したこと。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の使用量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０に，保持ブロック１１０を取り付け，保持ブロック１１０の内部には，回転ロール９０の外周面の円周に環状に接触するシールリング１１１を設ける。保持ブロック１１０は，移動機構１２０により回転ロール９０の軸方向に移動自在にする。回転ロール９０の汚れを除去する際には，保持ブロック１１０が回転ロール９０の一端部側から他端部側に移動する。これにより，シールリング１１１が回転ロール９０の表面の汚れを掻き取って除去する。回転ロール９０の他端部側に移動されたシールリング１１１は，ノズルからの洗浄液により洗浄される。 （もっと読む）

円筒部材の保守装置は、網状のスチールケーブル等の円筒部材（１３）の周囲を閉じるための２つのヒンジで連結されている半ハウジング（１１、１２）から成るハウジング（１０）を備えている。回転螺旋ブラシアセンブリ（２１）及び回転縦ブラシアセンブリ（２２）がハウジング内に配置されており、ハウジングの軸を中心として回転可能である。各回転ブラシアセンブリは、同軸の分割リング（２３、２６）を備え、分割リングの間には、回転円筒ワイヤブラシ（２５、２８）が接続され、それ自体の軸を中心として独立して回転可能である。ノズル（２９）は、円筒部材に洗浄液又はペンキを吹き付けるために、ハウジング内部に配置されている。ハウジングの開口部（３２）は、環境汚染を避けるために、破片、洗浄液、及びペンキを除去するための吸引装置に接続するためのものである。ハウジング上のループ（１８）は、ハウジングを円筒部材に沿って動かすためにケーブルに取り付けるためのものである。
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【課題】高層ビルで自動窓拭き機と管理端末と自動窓拭き機格納ステーションを設置し、汚れ検知センサーを全窓取り付けることにより自動的に汚れを検知し汚れた窓を清掃する。更に、自動窓拭き機の清掃用具は格納ステーションの予備格納部へセットしておくと清掃用具寿命検出で自動的に交換を行う。
【解決手段】本発明の窓拭き自動システムは、日数管理を行う管理端末と、窓の汚れ検知を行い管理端末に通知する汚れ検知センサーと、所定の日数経過時又は汚れ検知時に管理端末から受けた命令に基づいて窓の清掃を自動実行する自動窓拭き機と、自動窓拭き機を格納する格納ステーションとを具備する。更に、格納ステーションは、自動窓拭き機の清掃用具の予備が格納されている予備格納部と、自動窓拭き機の使用済みの清掃用具と予備の清掃用具とを交換する清掃用具交換部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプの保護管に付着したスケールを効果的に洗浄でき、洗浄液を容易且つ確実に供給できる紫外線ランプ保護管清掃装置及び紫外線殺菌装置を提供すること。
【解決手段】紫外線ランプ８５と、紫外線ランプ８５の保護管８７の外周表面を保護管８７の長手方向に向けて移動することで拭うワイパー部７１を設けたワイパー機構とを具備する。ワイパー部７１は保護管８７表面を拭う２つのワイパーブレード７３の間に洗浄液溜り７５を設けて構成する。洗浄液溜り７５への洗浄液の供給は洗浄液供給チューブ２０をワイパー機構に接続することで行う。洗浄液供給チューブ２０は洗浄液供給チューブ２０の動きに応じて回転するドラム１０に巻きつけられる。ワイパー機構の移動と一体に移動するワイヤー２５をドラム１０に巻きつけておくことで、ワイヤー２５の動きに応じてドラム１０を回転する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング部材又はシートを提供する。
【解決手段】支持体に、耐熱性樹脂からなるクリーニング層が設けられてなるクリーニング部材又はシート、特にクリーニング層が、ガラス転移温度が１５０℃以上の耐熱性樹脂からなる上記構成のクリーニング部材又はシート、また支持体が、被洗浄装置内に搬送される搬送部材である上記構成のクリーニング部材、さらにシート状支持体に耐熱性樹脂からなるクリーニング層が設けられてなるクリーニングシートが、被洗浄装置内に搬送される搬送部材に設けられてなるクリーニング部材である。 （もっと読む）

【課題】管の内壁を清浄する管内清浄装置において、管内の周面を清浄する際の周回運動のためのモーター等の動力源を管の外側の周囲に設けることなく、また、管内を清浄するとともに殺菌をも行うことができるようにすることである。
【解決手段】管内にプラズマ生成手段を設け、前記プラズマ生成手段によって生成したプラズマによって前記管の内壁の清浄および殺菌を行う。 （もっと読む）

【課題】配管内の付着物を効率よく除去することができる。
【解決手段】
配管２０内に挿入して清掃する配管清掃具３０であって、配管清掃具３０が配管２０の内壁面とほぼ接する大きさの径を有し且つその前端が縮径していると共に、配管清掃具３０の外周面上に、配管清掃具３０の前端まで貫通していない１以上の溝３２が配管清掃具３０の軸線ｐに対して角度を有するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】異物除去性能および搬送性能に優れ、かつ、所定の粒子径を有する異物を特に効率よく除去し得るクリーニング機能付搬送部材を提供すること。
【解決手段】本発明のクリーニング機能付搬送部材は、搬送部材と、該搬送部材の少なくとも片面に設けられたクリーニング層とを有する。クリーニング層は、算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であり、かつ、最大高さＲｚが１．０μｍ以下である凹凸形状を有する。好ましくは、クリーニング層の平面１ｍｍ^２あたりの実質表面積は、シリコンウェハミラー面の平面１ｍｍ^２あたりの実質表面積の１５０％以上である。 （もっと読む）

【課題】被加工物を覆うカバーの清掃のためにレーザ溶接装置の運転を停止することなく、定期的に、自動でカバー清掃を行い、その後、清掃されたかどうかを自動でチェックし、清掃されたことを確認した後、再び自動で溶接を再開できるレーザ溶接装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】レーザを照射するレーザ部２と、溶接される被加工物１１を保持し、回転させる複数のワーク保持部３と、被加工物１１の溶接近傍をカバーするカバー４と、前記カバー４と被加工物１１間にカバーガスを噴出するガス供給部５と、ワーク保持部３を搬送する搬送部６とからなるレーザ溶接装置１において、前記搬送部に、回転するブラシを有し、カバー４を清掃するブラシ部７を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】磁性を有するスラリーや粒体等の磁性物質を、管の内壁をすりながら周回させることによってその内壁を清浄する管内清浄装置において、磁性物質を動かすための磁石に周回運動をさせることなく、磁性物質に周回運動をさせることが可能なようにすることである。
【解決手段】管内に磁性物質を設けるとともに、前記管の外側に、通電時に前記磁性物質を前記管の内壁に引き寄せるように磁界を発生する複数の電磁石を配置し、前記複数の電磁石のうち通電する電磁石を異ならせていくことによって前記磁性物質を前記管の内壁に沿って移動させ、該磁性物質の移動によって前記管の内壁の清浄を行う。 （もっと読む）