【目的】 一戸建て住宅又はマンションの水道管の洗浄に極めた好適な水道管洗浄方法及びその装置の提供
【構成】 給水口１３を有した水タンク１とポンプ１０とコンプレッサー２と水タンクよりポンプの作動で供給される水とコンプレッサーより供給される空気とを混合して渦巻状気泡水を得ることができると共に弁体３を介して開閉する気泡水吐出口４を有した混合機５とを具備し、更に混合機とコンプレッサーとの間にコンプレッサーより供給される空気が混合機に供給される電磁弁体１４を介在すると共に該電磁弁体には所望時間内に所望時間のエアー注入及びエアー停止が断続して行われるようにした作動時間を設定する作動時間ハンドル体１５とエアー注入時間作動ハンドル体１６とエアー停止時間作動ハンドル体１７を設けたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰＤの薄型化を可能にする実用的な技術を提供する。
【解決手段】 一対のガラス基板１の一方に電極１１を形成してガラス基板１をシール材１２を介して貼り合わせ、内部を封止した後、ガラス基板１の外面を機械研磨して厚さを薄くする。ノズル４に対して相対的に機械的に移動させながら、フッ酸より成る溶出液Ｌをノズル４からガラス基板１の外面に向けて噴射し、自重による加速度より大きな加速度を付けて０．５ｋｇ／ｃｍ^２〜３．５ｋｇ／ｃｍ^２の範囲で圧力で外面に吹き付ける。外面は溶出液Ｌにより溶出され、溶出液の衝撃による物理的作用を利用して外面が研磨される。 （もっと読む）

【課題】顧客及び業者の両者に満足感を与えると共に品質を維持保障した清掃方法を提供する。
【解決手段】建物内の汚れ状況を顧客に提示する現地確認工程１と、この現地確認工程１に基づいて品質を保証した個別の清掃設計を行い仕様を確立する工程２と、この確立された仕様に基づいて受注を確定した後、建物竣工当時の状況に近づけるまでの集中清掃作業を行う集中清掃工程５と、清掃前と清掃後の比較写真等を顧客に提示して初回清掃を終了する結果報告工程６と、前記集中清掃工程５の後、必要に応じ臨時的な清掃を行う巡回清掃工程７と清掃品質の維持を目的とした定期清掃を行う定期清掃工程８とから構成。 （もっと読む）

【課題】液体ＣＯ_２の消費量を抑えつつ基板を搬送しながら基板全体を均一に洗浄する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、ローラ２１にて基板９を搬送方向２２に搬送する搬送機構２、洗浄部４、ＣＯ_２供給源６１およびＮ_２供給源６２を備える。洗浄部４は洗浄部カバー４１に覆われ、洗浄部カバー４１内には搬送方向２２に垂直な方向に２列に配列された複数のノズル４２が設けられる。ノズル４２の各列は搬送方向に垂直な方向に基板９全体に亘って揺動する。各ノズル４２はＣＯ_２供給源６１およびＮ_２供給源６２から液体ＣＯ_２およびＮ_２ガスが供給される二流体ノズルとなっており、これらの流体のノズル４２内の流路への供給量が他のノズルから独立して予め調整されている。各ノズル４２から液体ＣＯ_２とＮ_２ガスとが混合されつつ搬送途上の基板９に噴射されることにより、ＣＯ_２の消費量を抑えつつ基板９全体を均一に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】処理液を用いて、プロセス装置の内面を洗浄する洗浄方法等において、当該プロセス装置が、第１末端３０６および第２末端３０７により規定されたパイプ部を有し、第１末端３０６および第２末端３０７により所定体積が規定され、かつ予め初期内圧を保持しているパイプ部を用いた洗浄方法等である。
【解決手段】そして、かかる洗浄方法によれば、パイプ部内の体積よりも実質的に少ない所定量の処理液を注入する工程と、パイプ部の第２末端３０７に実質的に近接した位置の内圧を減圧すると同時に、パイプ部の第１末端３０６に実質的に近接した位置の内圧を加圧することにより、パイプ部内に所定量の処理液を循環させる工程と、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、出口側にエンドホース（１８）を取り付けた濃厚物質搬送管（１０）をクリーニングするための装置であって、加圧状態にある流体を濃厚物質搬送管（１０）内へ導入させるための手段（２４）と、流体を付勢することにより濃厚物質搬送管（１０）の内面に全体が当接しながら濃厚物質搬送管（１０）を貫通するように搬送可能なクリーニング体（２２）とを有している前記装置に関わる。本発明によれば、前記装置は、濃厚物質搬送管（１０）の一部分内にある材料の稠性を検出するためのセンサ（２６）と、材料の稠性が変化したときにセンサ（２６）から信号を受ける制御ユニット（２８）と、制御ユニット（２８）が信号を受けたときに該制御ユニット（２８）により操作可能な、エンドホース（１８）を少なくとも部分的に閉鎖させるための閉鎖装置（３０）とを有する。
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本発明は、少なくとも１つの基板（３）、特にガラス基板をコーティングするために用いられる少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）をクリーニングする方法および装置に関する。この発明によれば、少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）は、コーティングプロセスの前に、調整パージガス（１５）によって洗い流される。 （もっと読む）

流体を帯状に吐出可能なスリット部が形成されたエアーナイフユニットを用いて、基板の主面に付着した付着物を基板の主面から除去する方法で、基板に対して複数のエアーナイフユニットを相対移動させながら、エアーナイフユニットと基板の主面との間に、前記移動方向と直交する方向に略均一な形状を有する流体導入路を形成し、前記エアーナイフユニットの後部に形成されたスリット部から流体を流体導入路に向けて吐出し、次いで、流体導入路を通過させてエアーナイフユニットの前部に対向して形成される壁面あるいはみかけ上の壁面に導き、さらに、流体導入路より大きい流路断面積を有してエアーナイフユニットと壁面との間に形成された流体導出路を介して、基板に付着した基板付着物が前記流体とともに基板の主面から遠ざかるように導出する。 （もっと読む）

洗浄すべき対象物の表面から汚染物質を除去するための、高圧ガス供給源に流体的に接続されるように適合した洗浄装置（１０）。この装置は、ガスを加速するための高圧出口（２１）を備えた所定の微小な横方向スケールの少なくとも１つの高圧通路（２２）を備える。該高圧出口は少なくとも１つの狭いリップ（１２）によって特徴付けられ、出口および狭いリップは活性表面を画定している。洗浄装置の活性表面が、表面から所定の微小な間隙を空けてそれにほぼ平行に離されたとき、したがって狭いリップと洗浄すべき対象物の表面との間の喉部を画定し、ガスを喉部のところでほぼ音速まで加速したとき、汚染物質に作用する横方向の空気力学的な除去力が生成される。 （もっと読む）

【課題】圧縮空気を用いる清掃工具において、十分な吸引力を達成し、使い勝手を向上させる。
【解決手段】清掃工具１は、異物が通過する通路２を備えた筒体３と、筒体３の後端に着脱可能に取り付けられた異物の収納箱５と、逆止弁８と、収納箱５に設けた通気孔９と、筒体３の先端部において噴射口１１ａが筒体３の外方を向くよう配置された第１の噴射管１１と、筒体３の先端部の内部で噴射口１２ａが筒体３の内方を向くよう配置された第２の噴射管１２と、両噴射管に接続された切り替え弁１３を有する。空気圧を吹き飛ばし又は吸い込みのいずれか一方のみに使用するので強い作用が得られる。筒体の開口先端の内部に内向きに空気を噴射するので特に吸い込み力が強い。集めた異物は収納箱に閉じ込めるので、ホースを引き回す必要がなく使い勝手がよい。収集した異物の廃棄が容易である。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物を変形や損傷させずに、この被洗浄物の有する貫通孔を効果的に洗浄する洗浄方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】洗浄装置１のチャンバー２内を仕切るように、ステンシルマスク６７をホルダー１１により固定配置してＡ室とＢ室に分離し、この両室を連通するバイパス３の弁３ａを開き、Ａ室の排出口６を閉じてチャンバー２内をＣＯ₂の臨界温度以上に保ち、Ｂ室に供給口４から臨界温度以上に加熱したＣＯ₂ガスを供給し、ＣＯ₂ガスを更に供給して圧力を高め、両室を等圧力の超臨界ＣＯ₂で満たした後に、バイパス弁３ａを閉じ、Ｂ室へ超臨界ＣＯ₂を加圧して供給し、Ａ室内との圧力差を形成する。これにより、高圧力のＢ室側から低圧力のＡ室側へステンシルマスク６７の貫通孔５９を通る超臨界ＣＯ₂の流れが生じ、この超臨界ＣＯ₂の運動エネルギーによって貫通孔５９を損傷させずに、貫通孔５９内のパーティクル２７を洗浄できる。 （もっと読む）

【課題】小型で、しかも安価でありながら、汎用性に優れた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理部ＰＳでは、それぞれが互いに異なる現像処理を施す２つの現像処理ユニット１０Ａ、１０Ｂと、現像処理された基板に超臨界乾燥処理を施す超臨界乾燥処理ユニット２０と、これらの処理ユニット１０Ａ、１０Ｂ、２０に取り囲まれるように配置された主搬送ロボット３０とが設けられている。この主搬送ロボット３０は未処理基板Ｗを受け取ると、該基板Ｗに形成されているレジスト膜の膜材料に対応する現像処理ユニットに基板Ｗを搬送する。そして、現像処理が完了すると、いずれの現像処理ユニット１０Ａ、１０Ｂで現像処理されたのかを問わず、主搬送ロボット３０は現像処理を受けた基板Ｗを超臨界乾燥処理ユニット２０にウェット搬送する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、鋼帯の洗浄能力及び清浄度を向上して、鋼帯の品質を高めるとともに、生産性を向上することのできる鋼帯の連続焼鈍設備を提供する。
【解決手段】 連続焼鈍設備の鋼帯３入側に気体溶存洗浄液生成装置４を設置し、次いで入側ルーパー５、連続焼鈍炉６、出側ルーパー７を連設した鋼帯の連続焼鈍設備である。 （もっと読む）