【課題】基板の位置決めの際に、基板に生じる傷を軽減できる基板移載ロボットを提供すること。
【解決手段】基板が載置されるハンドユニットと、前記ハンドユニット上に載置された前記基板の位置決めを行なう位置決め手段と、を備えた基板移載ロボットにおいて、前記ハンドユニットが、ハンド本体部と、前記ハンド本体部から上方へ突出し、前記基板が載置される複数の載置部材と、を備え、各々の前記載置部材は、その上端において回転自在に支持されて自由回転する回転体を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ保持ボートにおける任意の保持板との間で基板のやり取りを可能としつつ，保持板のピッチを従来以上に狭くする。
【解決手段】基板移載装置３００は，旋回及び昇降可能に構成された基台３１０と，基台に進退可能に設けられ，ウエハを載せて搬送するための搬送フォーク部３２２を有する第１アーム３２０と，基台に進退可能に設けられ，起倒可能な基板持ち上げ機構３４０を設けた持ち上げフォーク部３３２を有する第２アーム３３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供すること
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部１２を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部１２の開口を移動する支持部材４と、開口部１２を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５と、を備え、案内機構２２によって支持部材が移動しても、シールベルト５によって支柱の内部が外部に露出しないよう構成された基板搬送装置において、シールベルト５が、その両端を支柱内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラに巻装されて、開口部１２を封じるようにした。 （もっと読む）

【課題】教示作業が容易であり、且つ実動作でのタクトタイムを短縮できるロボット装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持するワーク保持部１０を有して往復運動する第１アーム１１、その第１アーム１１を連結して第１アーム１１と同じ方向に往復運動する第２アーム１２とで少なくとも構成されたアーム部２、及び、第１アーム１１の動作を第２アーム１２に優先して制御して、アーム部２を始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまで移動させる制御装置を備えたロボット装置１により、上記課題を解決した。前記の制御装置は、ロボット座標系としてＲ軸を設け、始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまでの距離ＲをＲ＝Ｒ１＋Ｒ２（Ｒ１は第１アーム１１の移動距離であり、Ｒ２は第２アーム１２の移動距離である。）の順機構解を定義し、ＲからＲ１，Ｒ２への割付を逆機構解として定義することが好ましい。 （もっと読む）

医療器具、特に腹腔鏡手術器具（１８）をロボット補助により取り扱うロボットマニピュレータ（１４）を備える医療処置を実施するための医療ロボットシステム（１０）。ロボットマニピュレータ１４は、基部（２４）、前記基部によって支持される垂直部分（２７）、及び前記垂直部分（２７）によって支持されるほぼ水平な部分（２９）を備えるマニピュレータアーム（２６）、前記マニピュレータアーム（２６）によって支持されるマニピュレータリスト（２８）、及び前記マニピュレータリストによって支持され、かつ医療器具を保持するように形状化されたエフェクタ装置（３０）から構成される。マニピュレータアーム（２６）にはマニピュレータリストを定位させるための円筒形ＰＲＰ運動構成が与えられる。より詳細には、ＰＲＰ運動構成には、ジョイントが下記順序、すなわち、ほぼ垂直な軸に沿った移行自由度を与えることによって垂直部分（２７）の高さを変えるプリズム型（Ｐ）第一ジョイント、ほぼ垂直な軸を中心とした回転自由度を与えることによって垂直部分（２７）と水平部分（２９）との間の回転角を変える回転型（Ｒ）第二ジョイント、及びほぼ水平な軸に沿った移行自由度を与えることにより水平部分の到達範囲を変えるプリズム型（Ｐ）第三ジョイントの順で配置される。

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【課題】 半導体や液晶パネルの製造工程における基板搬送を簡易な構造で、迅速かつ高精度で行えるようにする。
【解決手段】 第１スライダ２０と第２スライダ３０とが同期をとって伸長するリニアスライダ１０が収容される際、第１スライダ１０はベースハウジング１１内に完全に収容され、第２スライダ３０は収容状態の第１スライダ２０上まで縮退する。一方、第１スライダ１０は、ベースハウジング１１内に設けられた１対のプーリ間に掛け渡されたベルトＢの一部に固定された保持プレート２２によって、ベルトＢの走行方向に移動して伸縮するとともに、第２スライダ３０は、両端部がベースハウジング１１内の保持プレート２２に軸支された１対の従動プーリ２３，２４ととの間に掛け渡されたワイヤ１８の一部に固定された部位を介して第１スライダ２０の伸縮と同期してスライドする。 （もっと読む）

【課題】 各種用途に臨機応変に適応できるようにして汎用性を高める。
【解決手段】 位置が固定されるベース部６と、このベース部６を支点として旋回アーム７の一端７ｓ側を水平方向に回転させる水平回転機構８と、この旋回アーム７の他端７ｔ側から起立し、かつ支持部９をＺ軸方向へ移動させるＺ軸移動機構１０と、前アーム部３と後アーム部４を回動軸部１１を介して連結したアーム機構５を有し、このアーム機構５の後端５ｒ側を装着位置の変更可能な着脱部１２を介して支持部９に装着するとともに、アーム機構５の後端５ｒ側を回転させることにより、アーム機構５の先端５ｆに支持するチャック部２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構１３を具備する。 （もっと読む）

【課題】直動する距離以外の移動体の長さや余裕長さが不要であり且つ静粛性に優れた小型移載機を提供すること。
【解決手段】水平方向の進退動作と、水平面内での旋回動作が可能なロボットハンド１３０を有する小型移載機において、前記ロボットハンドは、駆動アーム１６０の揺動によって、水平方向の進退動作が行われ、回転テーブル１１０下側に前記回転テーブルと同軸上に水平駆動用モータ１５０と干渉しない位置に固設された半円強の旋回用ギヤ１７０と、旋回駆動用モータ１９０の回転軸に固設された駆動用ギヤ１８０との噛み合いにより水平面内での旋回動作が行われる構成としたことにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により、より正確な直線移動行程を実現できる直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット、さらにはハンドを２つ備えることによってワークの搬送効率を高めた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部２Ａ，２Ｂ材と、これら移動部材２Ａ，２Ｂを駆動する駆動機構３Ａ，３Ｂと、を備えた直線移動機構Ｂ１であって、駆動機構３Ａは、移動行程ＧＬを挟んで配置され、かつ同期駆動される一対の往復動機構を含んでおり、移動部材２Ａは、移動行程を挟んで離間する一対の連結部材２４ａにおいて、上記一対の往復動機構に連結されている。 （もっと読む）

【課題】 ワークを搬送するアームおよびハンド部の動作範囲に死角が生じないようにし、全方位に等しくワークを送り出し尚かつどの方位の作業ステーションからもワークを受け取ることができるようにする。
【解決手段】 ロボット移動ステーション１を中心として各作業ステーション２がワーク１０に対し組立・加工・洗浄等の各工程が行われる各作業ステーション２にワーク１０を送り出しあるいは各作業ステーション２からワーク１０を受け取り又はワーク１０に対して作業を行う産業用ロボットＭを載置する回転テーブル５と、回転テーブル５の中央に配置され、これと一体となって回転可能な回転軸３と、回転軸３近傍に配置した回転軸３を回転させる回転軸用駆動装置４とを備え、回転テーブル５を中心として各作業ステーション２がその周囲に配置されるとともに、産業用ロボットＭは、回転テーブル５とは独立の駆動ユニットとなっている。 （もっと読む）

【課題】 干渉領域が小さい真空用搬送ロボットおよびそのアーム構造体を提供することである。
【解決手段】 アーム用回転モータ８０によって、ベース体４３に対して第１アーム部材１１０を変位駆動するとともに、第１アーム部材１１０に対して第２アーム部材１１１を連動して変位駆動する。したがってベース体４３から移動方向Ｘに予め離れた位置へ半導体ウェハ３２を搬送する場合、１つのアーム部材で搬送する場合に比べて、各アーム部材１１０，１１１の長さを短くすることができる。これによって各アーム部材１１０，１１１を縮退させた状態では、１つのアーム部材を用いる場合に比べて、旋回半径を小さくすることができる。さらにアーム用回転モータ８０を非真空領域に配置することによって、搬送ロボット３０を安価に実現することができる。 （もっと読む）

【課題】基板を安定して移送することができ、基板の収納状態も感知することができる 基板移送装置を提供すること。
【解決手段】基板移送装置はハンド１３０ａ、１３０ｂがピックアップ位置から溝の位置に戻った時、ハンド１３０ａ、１３０ｂのポケット部１３２に配置された基板Ｗを把持する把持部材１４０を含む。この把持部材１４０は基板Ｗのエッジと面接触する湾曲部１４４ａを有し、そして少なくとも一つのハンド１３０ａ、１３０ｂの移動方向と同一の方向に移動可能に前記ベース上に設けられるプッシャー１４４及びプッシャー１４４が基板Ｗのエッジを側方に押すように弾性力を加える弾性体１４６を含み得る。 （もっと読む）

【課題】被製版ロールや印刷ロールを挟持して昇降自在・垂直面内に往復旋回自在・垂直面内に往復旋回自在・搬送自在であることにより、他の装置との間でまたは他の場所へ被製版ロールの受渡しを行える、ロールハンドリング装置。
【解決手段】走行台車装置に装着された旋回台に、昇降台装置を備えた支柱が立設され、昇降台に装着された垂直旋回台に基端を水平アームが固定され、水平アームには水平アームと一体に旋回する一対の挟持アームが互いに接近移動・離隔移動自在に設けられ、一対の挟持アームに一対のロール挟持具を備えている。被製版ロールを、一対のロール挟持具によりロールの面長方向中央部を挟持中心として挟持して昇降自在・垂直面内に往復旋回自在・垂直面内に往復旋回自在・搬送自在であることにより、他の装置との間でまたは他の場所へ被製版ロールの受渡しを行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は搬送構造を改善した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 本発明による基板搬送装置は、ベース部２０と；ベース部２０上に直線運動ができるように設置されて、回転体３２が備わっている運動部３０と；運動部３０の両側に並立設置されて、高さ調節が可能な一対のフレーム部４０ａ、４０ｂと；一対のフレーム部４０ａ、４０ｂの間に連結されて、フレーム部４０の高さ調節動作に連動して、上下直線運動する搬送部５０と；を含んで構成される。これにより、構造的な安全性を確保した状態で、簡便で精密に基板、特に大型基板を搬送させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】リンク機構のみで、大きなストロークを確保して大型のガラス板でも、ストッカーなどと干渉することなく、高速で移載できるようにした移載機を提供すること。
【解決手段】先端に搬器４を取り付けた２本一対の搬器支持リンク２と、先端側に搬器支持リンク２を枢着したＸ字形の主リンク１と、主リンク１の基端側と枢着し、基端側の駆動軸Ｐにて揺動可能とした２本一対の揺動リンク３とよりなり、揺動リンク３の揺動にて前記リンク機構の屈伸作用で、姿勢を制御しつつ、直線の移載方向の運行軌跡に沿って搬器４を移動するように構成する。 （もっと読む）