【課題】真空処理装置内で使用される基板搬送ロボットであって、ロボットアームの関節部は、一方のアーム部材に形成した上下方向に貫通する軸支孔と、軸支孔に装着したベアリングと、他方のアーム部材に固定した、ベアリングに挿入される支軸とを備えるものにおいて、ベアリングでの発塵で生ずるパーティクルによる真空処理装置内の汚損を防止できるようにする。
【解決手段】一方のアーム部材３１_１の下面に、軸支孔５１を下方から覆うカバー７が着脱自在に取り付けられる。また、支軸５３が他方のアーム部材３２_１上方に突出する上部軸部５３ａを有し、一方のアーム部材３１_１に、上部軸部５３ａが挿入される上部ベアリング５５を装着した筒部５４を設ける場合には、上部ベアリング５５の内輪と他方のアーム部材３２_１との間に介設するカラー５７の下端に、外周に立上り部５７ｂを有するフランジ部５７ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】 可動部に設けられた押圧ローラおよび離間ローラの交換作業が容易になるロボットを提供すること。
【解決手段】 ロボットＡに、開口１５を備えたケース部材１０と、開口１５を塞ぐシャッタ５０と、ケース部材１０に移動可能に取り付けられたテーブル本体３１と、テーブル本体３１の移動方向の両側でシャッタ５０を開口１５の縁部側に押圧する押圧ローラ３２ａと、押圧ローラ３２ａ間でシャッタ５０を開口１５の縁部から離間させる離間ローラ３２ｂとを設けた。そして、テーブル本体３１の一方側に設置される押圧ローラ３２ａと離間ローラ３２ｂと、テーブル本体３１の他方側に設置される押圧ローラ３２ａと離間ローラ３２ｂとを一対の支持部材３３で支持し、一対の支持部材３３をそれぞれねじ３７を用いてテーブル本体３１の移動方向の一方側および他方側からテーブル本体３１に対して着脱可能にした。 （もっと読む）

【課題】昇降部の上昇動作に伴って基台本体部内で舞い上がる粉塵が昇降部と基台本体部との隙間から上方へ放出されることを、ファンや排気口による排気機能や、シール部材によるシール機能に依存することなく、しかも昇降部の昇降速度を制限することなく、防止・抑制可能なロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームを支持する基台を、基台本体部３と、基台本体部３の天井壁３２に形成した開口部３ａを通じて基台本体部３に対して昇降可能な昇降部４と、基台本体部３の内部空間３Ｓの上部及び下部に連通して内部空間３Ｓの空気を循環させる流路６とによって構成し、流路６のうち基台本体部３の内部空間３Ｓの上部に連通する上側流路口６１の開口断面積を、天井壁３２に形成した開口部３ａと昇降部４との隙間の断面積よりも大きく設定した。 （もっと読む）

【課題】シートが伸びたことを検知し、作業者に報知することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、可撓性のシートとを有する。スライドユニット３０は、その移動方向に沿って、シートを収容し、スライドベース３１と、方向転換部とを有する。スライドユニット３０には、シートが所定の長さ以上の伸びを発現したときに該シートの過剰な伸びを作業者に報知する報知手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】シートの交換作業を容易に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、これらの上面を覆う防塵用の可撓性のシートとを有する。スライドユニット３０は、スライドベース３１と、その移動方向に沿って防塵用のシートを収容し、シートの方向を転換するためのローラからなる第１の方向転換部４１と第２の方向転換部４２とを有する。スライドベース３１には、それぞれシートに向かって開口し第１の方向転換部材を支持する第１の支持部３１ｃと、第２の方向転換部材を支持する第２の支持部３２ｃが形成される。第１の方向転換部材４１及び第２の方向転換部材４２は、第１の支持部３１ｃと第２の支持部３２ｃに容易に着脱可能に嵌合する。これによって、スライドベース３１上にワークや工具などが搭載されていても、シートの交換が容易である。 （もっと読む）

【課題】 ケース部材の開口縁部とシャッタとの隙間からケース部材の内部に塵埃や異物が浸入することを防止できるロボットを提供すること。
【解決手段】 軸方向に沿う一面が開口したケース部材１０と、ケース部材１０の軸方向に移動可能な状態でケース部材１０に取り付けられた可動部材２０と、可動部材２０を移動させる駆動装置４０と、ケース部材１０の開口１５を塞ぎ可動部材２０に位置する部分が開口１５の縁部から離間されるシャッタ５０とを備えたロボットＡを構成した。そして、可動部材２０の移動方向の両端に、シャッタ５０の外面と開口１５の縁部とに接触するワイパ３４を着脱可能に設けた。ワイパ３４の可動部材２０への取り付けを、可動部材２０に係合部３６を設けるとともに、ワイパ３４に被係合部３７を設けて、ワイパ３４を係合部３６に対してスライドさせることにより行った。 （もっと読む）

【課題】 塗料ミストなどの吸着性に優れ、かつ塗装ロボット動作時に破れることがない塗装ロボット用保護カバーを提供する。
【解決手段】 塗装ロボット用保護カバーは、合成樹脂からなるフィラメント糸をニット編みしてなる伸縮可能な編物地に、半固体状組成物を含浸させて付着させてなる。半固体状組成物は、ペトロラタム、又はペトロラタムとポリエチレングリコールとの混合物からなるとよい。保護カバー１は、例えば、塗装ロボット２のアーム部２１や、塗装ガン２２などを被覆する。 （もっと読む）

【課題】直線的に移動する部材を有するリニア軸においてその近傍からファンを無くすとともに、リニア軸の近傍からファンを廃止しても発塵を防止することができる機構と、それを備えた基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】発塵防止機構を、ベース部材１３４においてスライド部材１０７の進退方向の前端部分および後端部分に形成された前端開口および後端開口１５５と、ベース部材１３４において前端開口と後端開口との間に形成された中央開口１５６と、前端開口と後端開口との間にあって中央開口１５６を覆うように設置され、前端と後端とが前端開口と後端開口とにそれぞれ到達する内部カバー１７１と、前端開口および後端開口をそれぞれ覆う補助カバー１７２と、によって構成し、スライド部材によるポンプ作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】スライダ３０が特定の範囲で移動と停止を繰り返し、同じ位置に頻繁に停止することがあったとしても、当該停止位置で塵埃がこびりつく等の不具合を防止する。
【解決手段】略直方体形状の外殻を有する中空のケーシング１１の上面に配置されたスライダ３０と、前記ケーシング１１に設けられ、且つ前記ケーシング１１の上面に形成された開口部１７を介して前記スライダ３０を前記ケーシング１１の長手方向に往復移動させる駆動機構と、前記ケーシング１１の開口部１７を遮蔽するように前記スライダ３０を貫通する平板状のシャッタ４０と、前記スライダ３０の移動方向両側に設けられ、前記シャッタ４０の上面と非接触状態で前記シャッタ４０下面を吸引することにより、当該スライダ３０の両側での前記シャッタ４０の浮きを規制する一対の吸引手段３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】上下軸の雰囲気と外環境とをジャバラにより隔離して当該雰囲気の外環境への流
出を抑制する上下軸を、ジャバラによる隔離を維持しつつ、より高速な上下動に対応させ
ることのできるスカラーロボットを提供する。
【解決手段】スカラーロボットには、支持軸１４に回動可能に設けられた第２のアーム１
５に、第２のアーム１５に貫通支持して第２のアーム１５に対して少なくとも軸線方向に
移動させる上下回転軸１６と、上下回転軸１６を外環境と隔離させるジャバラ１９，２０
とが設けられている。上下回転軸１６の下端部１７と第２のアーム１５の下部との間に設
けられる下側ジャバラ２０内の雰囲気を、上下回転軸１６の上昇に伴い下側ジャバラ２０
が収縮するとき下側ジャバラ２０の外環境に流出させずに第２のアーム１５の内部に流入
させるように下側ジャバラ２０内と第２のアーム１５内とを連通させる連通路３０を備え
る。 （もっと読む）

【課題】アームカバーの取り付け、取り外しに複数個の固定用ボルトのため面倒な作業であり、経年変化によりボルトが落下するという欠点を解消し、取り付け、取り外しが容易なアームカバーを提供すること。
【解決手段】スカラロボットのアームカバー１０において、ロボットアームの縁部に全周に亘りガイドを設け、アームカバーの弾性変形によりこのガイドに沿ってアームカバー底部を嵌め込むとともに、カバー上面からアームに固定されたブラケット１３にボルト１４により固定するようにした。 （もっと読む）

【課題】シートの交換作業を容易に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置２と、スライドユニット３と、可撓性のシート５とを備える。直動装置２は、レール１０とスライドベース３１とを有する。スライドユニット３は、その移動方向に沿って、シート５を収容し、スライドベース３１と、該スライドベース３１の移動方向の両端部に着脱可能に設けられたガイドロール支持ブロック３２と、方向転換部４とを有する。方向転換部４は、第１の方向転換部材４１と第２の方向転換部材４２とを有する。第１の方向転換部材４１は、スライドベース３１に複数設けられ、シート５の下面を上方に押し上げて張架する。ガイドロール支持ブロック３２に設けられた第２の方向転換部材４２によって上面を押さえつけられたシート５は、開口部１１を覆うよう案内される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特別な配管・配線スペースを必要とすることなく、正逆回転する中空作動軸に挿通した線状対象物の破損を有効に防止することができる線状対象物の配管・配線構造、ロボットの作業ヘッドおよび多関節ロボットを提供することである。
【解決手段】チューブ１７およびケーブル１６の少なくとも一方であるケーブル類１８を、軸線周りに所定の角度正逆回転する中空作動軸１２の中空部に挿通すると共に、中空作動軸１２の一方の軸端側において回転不能となるように相対的に固定とし、他方の軸端側において中空作動軸１２と同期回転するように相対的に可動としたケーブル類１８の配管・配線構造であって、中空作動軸１２の内壁とケーブル類１８との間に介設され、ケーブル類１８を囲繞するように保持すると共に、軸線周りに捻り変形自在な筒状プロテクター６１を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットの内部で発生する粉塵の拡散を防止する。
【解決手段】ロボットのハンドを有する作業軸３０およびその周辺から発生する塵の拡散を防止する防塵構造６０であって、蛇腹部６５と前記蛇腹部６５の両端にストレート部６６ａ，６６ｂとを有し、前記蛇腹部６５で前記作業軸３０を覆う蛇腹ホース６２と、前記ストレート部６６ａ，６６ｂが嵌合する接続部を有し、前記作業軸３０の軸線に沿って所定の間隔を空けて配置された２つのホース固定部６１，６３とを備え、前記ホース固定部６１，６３では、弾性部材６８，６９を介してクランプ材７０，７１で前記蛇腹ホース６２の前記ストレート部６６ａ，６６ｂを前記接続部に締め付けることによって固定する。前記ストレート部６６ａ，６６ｂは、前記クランプ材７０，７１による締め付けに対して浮きを低減させるため、ストレート部の円周方向に沿って複数形成された薄肉部からなる緩衝部を有している。 （もっと読む）

【課題】ロボットのアームにボルトで固定されるアームカバーにおいて、水捌けが良く、しかも、布でアームカバーの外表面をさっと拭いた場合に、布がボルトの頭部に引っ掛からないようにする。
【解決手段】アームカバーのカバー本体１０の外表面を中央部分から周縁部分に向かって傾斜するように円弧状に形成する。カバー本体の周縁部分に、カバー本体の周縁において外方に開放された座ぐり部１１を形成し、この座ぐり部１１の底面にボルト９の通し孔１７を形成する。座ぐり部１１の深さを、ボルト９の頭部９ａが、座ぐり部１１の両側に存在するカバー本体１０の外表面を結ぶ直線Ｌ１よりも低くなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】アルミにより型成形されたアームカバーの表面に、高い防錆効果を有する防錆被膜を形成する
【解決手段】砂型を用いたアルミの型成形により形成されたアームカバーの表面のうち、アームへの接合面を切削加工した後、陽極酸化処理時を行う。切削加工により接合面の表層に存在するチル層や砂粒子による細かい凹凸が除去された状態で、陽極酸化処理が行われることとなるので、印加電圧と電圧印加時間とを管理することで、防錆効果のある所望の厚さの陽極酸化処理被膜を、接合面全体に厚さ均一の状態に形成でき。また、アームカバーの接合面以外の表面のうち、アームの外表面となる外側表面に、塗装を施して適度な厚さの塗料被膜を形成する （もっと読む）

【課題】上下回動するアームに固定する端部カバーにおいて、水捌けが良く、布で端部カバーの外表面を拭いた場合に、固定用のボルトの頭部に布が引っ掛かることを防止する。
【解決手段】角型容器状のカバー本体９の４稜角部に溝状隠し凹部１２を形成し、カバー本体９の上下の周側面１０ａ，１０ｂを周方向に対して円弧凸面状をなすように形成し、閉塞端面１１をほぼドーム状に形成する。これによりカバー本体９の外表面からの水捌け性が良くなる。溝状隠し凹部１２の２つの壁面１４，１５は傾斜し、ボルトの通し孔１８は、据え付け座面１３の対角線上に存在し、且つ据え付け座面１３の２つの壁面１４，１５に向かう方向の寸法は、ボルトの六角頭と２つの壁面１４，１５との間の距離がワッシャを含む六角頭の高さ以上となる寸法に設定する。 （もっと読む）

【課題】モータの回転をフランジ（エンドエフェクタ取付部材）に減速して伝達する減速装置を対象として当該減速装置の密閉空間内の潤滑剤が外部に漏れ出ることを防止する。
【解決手段】手首回転部３のハウジング５の互いに９０度異なる２面５ａ，５ｂに、フランジ４用の第１減速装置７と手首回転部３用の第２減速装置８を設け、フランジ４駆動用のモータ６を手首回転部３のハウジング５に設けたものにおいて、第１減速装置７の第１密閉空間３２と第２減速装置８の第２密閉空間５７との間を連通する連通路６５を形成したので、第１密閉空間３２の圧力が高くなると、第１密閉空間３２内の空気が連通路６５を通じて第２密閉空間５７へと流れ、第１密閉空間３２の異常な圧力上昇が防止される。 （もっと読む）

【課題】水などの液体や塵埃が飛散する環境下で使用しても動作不良などを起こすことを抑制することのできるスカラロボットを提供する。
【解決手段】第２のアーム５に形成されたスプラインシャフト貫通部１４を貫通して上方に突出するボールねじスプラインシャフト６の上端部に接続された延長シャフト１７の上端部に、ボールねじスプラインシャフト６の軸方向に伸縮自在な蛇腹状カバー部材１８の一端部１８ａをベアリング１９を介して締着する。また、蛇腹状カバー部材１８の他端部１８ｂをスプラインシャフト貫通部１４に延長シャフト１７及びボールねじシャフト６を内包するように締着する。 （もっと読む）

【課題】作業用ロボットへの装着が容易であり、汚れの度合いに合わせて部分的に交換することができ経済的である作業ロボット用保護カバーを提供する。
【解決手段】作業ロボット９０の固定部及び可動部の各部分を覆う形状に形成された編み物の覆い布１２，１４，１６，１８を備え、この覆い布１２，１４，１６，１８は作業ロボット９０の関節部分等の各部位で区切られて複数形成されている。各覆い布１２，１４，１６，１８が、作業ロボット９０の各関節間に位置して、関節部分毎に被覆する。覆い布１２，１４，１６，１８には、撥水撥油性、伸縮性及び防炎性のあるフィルムがラミネートされている。 （もっと読む）