【課題】吸着パッドなどの機能部品に対する真空源の構成や配管の取り回しを簡素化することのできる真空源ユニットを提供する。
【解決手段】空気を噴出させる噴気部８が先端部に形成されるとともに後端部に供給ポート１１が形成されたノズル体４と、噴気部８の外周側に所定の隙間を空けた状態でノズル体４と一体化され、その噴気部８の外周側から先端側に至る箇所にディフューザ部が形成されたスリーブ体５と、負圧が生じる部分からスリーブ体５の外周面に延びてその外周面に開口するようにスリーブ体５に形成された第一連通孔１８と、スリーブ体５を気密状態に挿入する取付孔２１が貫通して形成された本体部３と、その本体部３の外表面部に形成された複数の接続用ポート２２と、それらの接続用ポート２２と取付孔２１に挿入されているスリーブ体５における第一連通孔１８とを繋ぐ第二連通孔２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】負圧発生機構を小型化してワークを確実に吸着する。吸着部の近傍で負圧を発生させることができ、吸着及び吸着解除の応答性が高める。
【解決手段】成形品吸着部材（３）を、先端側に形成された吸引孔（２５ａ）と連通すると共に大気と連通する中空部（２５ｂ）を有した吸着部（２５）と、該吸着部（２５）において中空部（２５ｂ）と連通し、かつ大気側へ向かうように傾斜して形成される圧縮空気流入部（２５ｃ）とから構成する。各成形品吸着部材（３）ごとに、吸着部（２５）の中空部（２５ｂ）に対して圧縮空気流入部（２５ｃ）を介して圧縮空気を流入して吸引孔（２５ａ）内を負圧形成する。 （もっと読む）

【課題】エゼクタ効果を効率的に発揮させることができるとともに、容易に製造可能な吸着ユニットを提供することを課題とする。
【解決手段】気体通過路が形成される貫通路を有する気体供給口台座と、前記気体供給口台座に嵌装されるエゼクタと、前記エゼクタを覆うように前記気体供給口台座に固定され、前記気体供給口台座との間に第１負圧室を形成する本体ケース部と、吸着ユニットの先端側において前記本体ケース部に固定され、前記本体ケース部との間に第２負圧室を形成するキャップ部と、を有するように構成し、前記第１負圧室内に負圧が発生したときに前記第２負圧室にも負圧が発生し、前記第２負圧室に負圧が発生すると前記負圧口に吸着力が発生するようにした。 （もっと読む）

【課題】 バンパなどの湾曲した成形品を確実に吸着することができる吸着装置を提供する。
【解決手段】 シリンダ部材１１と、シリンダ部材１１に嵌挿するピストン部１３と、ピストン部１３から延設され吸引孔１４を形成するピストンロッド１５と、ピストンロッド１５とシリンダ部材１１の先端部との間に嵌合されシリンダ室１０と外部を連通する開口３２を有するロッドカバー１７と、ロッドカバー１７とピストン部１３の間に縮装された弾性部材１８と、ピストンロッド１５の先端に装着されたバキュームカップ１９を備え、ピストン部１３には、エア供給穴２６と、このエア供給穴２６の底部から穿設したエジェクタ孔２７と、このエジェクタ孔２７に連設したエア噴気孔２８と、このエア噴気孔２８の底部と吸引孔１４を連通する連通路２９が設けられ、エジェクタ孔２７の径が連通路２９の径より小さく、連通路２９の径がエア噴気孔２８の径より小さい。 （もっと読む）

【課題】半導体チップを吸着して搬送する搬送系に、気体を給排気する機構の荷重が掛かってしまうことを回避して、高精度、低荷重、低衝撃の搬送を実現すること。
【解決手段】吸着ヘッドは、フリップチップＷを吸着する吸着コレット１２と、該吸着コレットに連通する吸引流路管２５を備えて圧縮空気供給部１８に空気供給口２１ａを近接対峙させて該吸引流路管内を減圧するエジェクタ１１とを備えて、前記圧縮空気供給部に非接触状態のまま移動する。 （もっと読む）

【課題】真空発生器を動作させるのに用いた圧縮空気の有効利用を図る。
【解決手段】真空発生システム１において、コンプレッサ１１から吐出される圧縮空気により動作する真空発生器１３の後段に真空発生器２８を設け、真空発生器１３と真空発生器２８との間にタンク２２を設ける。真空発生器１３から排出された圧縮空気はタンク２２に蓄積される。真空発生器２８は、タンク２２に蓄積された圧縮空気を用いて動作する。また、経路２４により、コンプレッサ１１とタンク２２とを真空発生器１３を介さずに接続する。これにより、コンプレッサ１１からタンク２２へ圧縮空気を直接的に供給することもでき、真空発生器１３が停止している期間でも、真空発生器２８を動作させることができる。 （もっと読む）

【課題】真空手段の作動及び停止を行なうための圧力設定を成形品毎に行なうことなく、簡単な制御で真空手段によるエネルギー消費量を軽減するとともに、成形品の落下を防止する真空吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着部材に真空圧を作用させる真空手段と、真空手段と吸着部材との連通又は連通の遮断を行なう圧力保持弁と、配管を介して吸着部材内の圧力を検出する圧力検出器と、真空手段及び圧力保持弁の作動を制御する制御手段とを備える。制御手段は、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させて、吸着部材によりワークを吸着しているときに、圧力検出器で検出した圧力が所定時間一定となった場合には、圧力保持弁を閉じ、真空手段の作動を停止させ、その後、圧力検出器で検出した圧力が一定幅低下した場合には、圧力保持弁を開き、真空手段を作動させる制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】搬送ハンドからウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を最小化してウエハーの高温化を防止するスピナーシステムの搬送ロボットハンドを提供する。
【解決手段】搬送対象のウエハーを真空で吸着固定する搬送ロボットであって、搬送ハンドに備えられる‘Ｕ’字形の吸着部上の分岐する両側端部と分岐開始部の中央部にそれぞれ一つずつ三角形の配置をなすように接触リング部が形成され、前記接触リング部の中心に、真空吸入圧が印加される真空ホールが形成される。よって、接触リング部によるウエハーの接触面積を減らし、その突出高を増大させることによって搬送ハンドから搬送されるウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を減少させ、また搬送ハンドがウエハーを下ろしてから帰還するかホームポジションで待機する時点で冷却されて、以後に搬送されるウエハーへの伝熱量を減少させることができる。 （もっと読む）

本発明は、熱可塑性樹脂材料のタイプの適切な材料から形成されたコンパクトユニットの形態の本体(１)を備えるツールに関するものである。本体(１)は、できる限り吸引カップ(２)に近接して真空発生器を配置するよう構成されている。本体１は、カートリッジ(３)の形態の真空発生器を収容するための穴であって、真空チャンバを規定し、かつカートリッジ(３)の入口に対応する側において圧縮空気供給部と連通しており、かつ他側において、すなわち、カートリッジ(３)の出口に対応する側において、消音器の形態の膨張チャンバ(３９)と連通している穴と、一つ以上のキャビティおよび／または開口部を備える、真空チャンバ(４４)と吸引カップ(２)との間に非常見に次回内部経路と、を備えている。
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【課題】 空気漏れを防ぐとともに、装置の複雑化を防いで、吸引力を推定可能な真空吸着装置およびその吸引力推定方法を提供する。
【解決手段】 空気噴射手段３０によって真空室４０の空気を加圧した加圧状態で、正圧測定手段３２によって真空室の空気の圧力値Ｓを測定し、測定結果を出力する。この出力結果に基づくことで、ワーク２２を吸引する吸引力Ｆに影響する吸引面積Ａを見積もることが可能となる。したがって逆止弁５０の開閉状態を検出する複数の検出センサを不要として、吸引面積Ａおよび吸引力Ｆを推定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 真空の立ち上がり、立ち下がりが速い、高速応答特性のすぐれた真空発生器を提供する。
【解決手段】 真空発生用供給ポート１０と、真空ポート５０と、真空ポートに破壊エアを供給する真空破壊用供給ポート１４と、排気ポート４０とを備えた真空発生器において、エジェクタ機構として、ディフューザスプール３０と前記真空発生用供給ポート１０から供給された圧縮空気をディフューザスプール３０に向けて噴射するノズル３２とを備え、前記ディフューザスプール３０とノズル３２が、前記真空発生用供給ポート１０に圧縮空気が送入された際には、前記真空破壊用供給ポート１４と前記真空ポート５０との連通を遮断する閉止位置に移動し、前記真空発生用供給ポート１０への圧縮空気の送入が停止すると、前記真空破壊用供給ポート１４と前記真空ポート５０とを連通させる開放位置に移動することにより、前記真空ポート５０と前記真空破壊用供給ポート１４間の連通を制御する遮断弁として形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 迅速に吸着ノズルに負圧および正圧を生じさせることができ、かつ負圧駆動部を設ける必要のない負圧／正圧切替装置を提供する。
【解決手段】 負圧／正圧切替装置はエゼクタノズル９と、エゼクタノズル９の出口側に連結されたエゼクタパイプ８と、エゼクタノズル９の入口側に接続された正圧ガス供給部１４ａとを備えている。エゼクタノズル９の出口側とエゼクタパイプ８の入口側との間に、出力孔１２が接続され、この出力孔１２に吸着ノズル１３が接続されている。エゼクタパイプ８の出口側に、エゼクタパイプ８の出口側を開閉して、吸着ノズル１３に負圧または正圧を生じさせる開閉ヘッド６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 マグネットや真空ポンプを用いずに対象物を保持可能とする。
【解決手段】 吸引孔１５を備えて対象物を吸引保持可能な吸引部５と、吸引部５に連通する吸引通路２３に設けられ吸引方向後流へ指向して圧力気体を噴出可能な気体噴出口７と、気体噴出口７に連通して圧力気体を圧力気体源から圧送する供給路２１とを備え、ダイを有する下型にプレート状のワークＷを保持するため、パンチプレス加工時にマグネットや真空ポンプを用いずに対象物を保持することができる。 （もっと読む）