【課題】本発明は、ウエハを真空吸着して所定のウエハの搬送を終えた後に、ウエハをウエハ吸着部から容易に離脱させることができるウエハ搬送用アームとウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本願の発明にかかるウエハ搬送用アームは、非弾性体で形成され、開口を有するウエハ吸着部と、該ウエハ吸着部と接続され、該開口に通じる吸気路を有する支持部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークが不意に離脱するのを規制しつつ、長寿命化および作業の迅速化を図ること。
【解決手段】第１チューブ体２および第２チューブ体３と、各チューブ体２、３の両端がそれぞれ全周にわたって固定され、該チューブ体２、３との間に流体が給排される空間Ａが形成された固定部材５と、該固定部材５に連結された弾性変位可能な可動部材６と、を備え、第１チューブ体２は、膨張変形したときに可動部材６を押圧して弾性変位させ、第２チューブ体３は、当該つかみ装置１とワークＷとを軸線Ｏ方向に沿って相対的に接近移動させることでワークＷに内挿または外挿され、可動部材６には、第２チューブ体３がワークＷに内挿または外挿されるときに、弾性変位した可動部材６が復元変位することでワークＷの被係合部Ｗ１に係合し、ワークＷに対する第２チューブ体３の内挿または外挿が解除されるのを規制する係合部１６が設けられているつかみ装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドなどの機能部品に対する真空源の構成や配管の取り回しを簡素化することのできる真空源ユニットを提供する。
【解決手段】空気を噴出させる噴気部８が先端部に形成されるとともに後端部に供給ポート１１が形成されたノズル体４と、噴気部８の外周側に所定の隙間を空けた状態でノズル体４と一体化され、その噴気部８の外周側から先端側に至る箇所にディフューザ部が形成されたスリーブ体５と、負圧が生じる部分からスリーブ体５の外周面に延びてその外周面に開口するようにスリーブ体５に形成された第一連通孔１８と、スリーブ体５を気密状態に挿入する取付孔２１が貫通して形成された本体部３と、その本体部３の外表面部に形成された複数の接続用ポート２２と、それらの接続用ポート２２と取付孔２１に挿入されているスリーブ体５における第一連通孔１８とを繋ぐ第二連通孔２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】凸部が設けられた半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該支持の安定化を図ることができ、凸部に接触する接触面を当該凸部から簡単に切り離すことができるようにすること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０とを含む。接触体２６は、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。接触体２６を無負荷状態で断面視したときに、接触面２６Ａは、吸引口４０に向かって先細となる形状をなす。接触面２６Ａは、半導体ウエハＷを支持したときに、凸部Ｗ１の先端面形状に合わせて変形可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】面状部材を安定且つ位置ずれの少ない状態で非接触吸着して面状部材へのストレスを低減できると共に簡易な構成で安価に実現できる非接触吸着装置を提供する。
【解決手段】基体１から噴出する流体による負圧により面状部材４を非接触吸着する非接触吸着装置であって、基体１の一側は凹部５が設けられ、凹部５には前記流体を噴出する第一流体噴出部６が設けられ、凹部５の周囲には面状部材４を非接触吸着する非接触吸着部２が設けられ、凹部５内にして第一流体噴出部６にはガイド体７が対設され、第一流体噴出部６から噴出した流体が前記ガイド体７により外方向に案内され、非接触吸着部２を通過することで生ずる負圧により面状部材４が非接触吸着部２に非接触吸着されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電子部品を載置するトレイなどの高さを適宜自動的に測定することのできる電子部品把持装置及び電子部品検査装置を提供する。
【解決手段】供給側ロボットハンドユニット２０は、電荷を拡散させる材料からなるトレイに載置されたＩＣチップを把持部３２を当接させて把持する当接装置２０Ａと、当接装置２０Ａをトレイに対して上下方向に駆動制御する制御手段とを備える。把持部３２は当接装置２０Ａにて独立した導電性を有するとともに、電荷の拡散に基づいて電荷を拡散させる部材との当接を検出する当接検出装置４０が接続され、制御手段は、電荷を付与された把持部３２をトレイに下降させ、把持部３２のトレイへの当接を検出したとき、把持部３２の上下方向の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】アンパッカー装置による素ガラス投入において、合紙が外れることを防いで動作異常のないアンパッカー装置を提供する。
【解決手段】素ガラス基板と合紙が交互に積み重ねられたデンスパックから素ガラス基板を取り出すアンパッカー装置であって、素ガラス基板を真空吸着する素ガラス基板吸着手段と、合紙を真空吸着する合紙吸着手段と、ガラス基板吸着手段を駆動する駆動手段Ａと、合紙吸着手段を駆動する駆動手段Ｂと、駆動手段Ａと駆動手段Ｂを制御する制御手段と、を備え、更に、合紙吸着手段には、ミストを噴射するミスト噴射ノズルと、合紙を押し当てる加熱された金属バーと、を備えたことを特徴とするアンパッカー装置。 （もっと読む）

【課題】物品を非接触で保持する物品保持装置において、物品の保持及び解除を迅速に行えるようにする。
【解決手段】物品保持装置２０は、ガラス基板を非接触で保持する装置であり、装置本体２１と、ファン制御部３０と、を備えている。装置本体２１は、ケース２２と、ファン２４と、吸い込み口２６と、吹き出し口２８と、を有している。ケース２２は、ガラス基板に対向可能な物品対向部４２及び内部に設けられた空間４０ａを有している。ファン２４は、ケース２２の空間４０ａに配置され、気体を吸い込んで吹き出す。吸い込み口２６は、ファン２４の吸い込み側と連通する。吹き出し口２８は、吸い込み口２６と異なる位置で物品対向部４２に配置され、ファン２４の吹き出し側と連通する。ファン制御部３０は、ガラス基板を保持可能にファン２４の回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップを吸着して搬送する搬送系に、気体を給排気する機構の荷重が掛かってしまうことを回避して、高精度、低荷重、低衝撃の搬送を実現すること。
【解決手段】吸着ヘッドは、フリップチップＷを吸着する吸着コレット１２と、該吸着コレットに連通する吸引流路管２５を備えて圧縮空気供給部１８に空気供給口２１ａを近接対峙させて該吸引流路管内を減圧するエジェクタ１１とを備えて、前記圧縮空気供給部に非接触状態のまま移動する。 （もっと読む）

【課題】小さい物や紙などの薄い物を容易に掴むことのできるロボットハンドを提供すること。
【解決手段】関節機構によって指の曲げ伸ばしが可能なロボットハンドの骨格部に被着し、指または全体で物を把持するロボットハンド用の被着装置において、指部分に吸引口１１〜１４を有し、ロボットハンドの骨格部に着脱可能な柔軟素材からなる被着部材と、被着部材に埋め込まれ、一端が吸引口に接続されるチューブ１５〜１８と、チューブの他端に接続され、吸引口からの吸引によって物を吸いつける吸引ポンプ２１〜２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】真空発生器を動作させるのに用いた圧縮空気の有効利用を図る。
【解決手段】真空発生システム１において、コンプレッサ１１から吐出される圧縮空気により動作する真空発生器１３の後段に真空発生器２８を設け、真空発生器１３と真空発生器２８との間にタンク２２を設ける。真空発生器１３から排出された圧縮空気はタンク２２に蓄積される。真空発生器２８は、タンク２２に蓄積された圧縮空気を用いて動作する。また、経路２４により、コンプレッサ１１とタンク２２とを真空発生器１３を介さずに接続する。これにより、コンプレッサ１１からタンク２２へ圧縮空気を直接的に供給することもでき、真空発生器１３が停止している期間でも、真空発生器２８を動作させることができる。 （もっと読む）

【課題】真空発生装置からのエアー配管を不要にし、エアー消費量を低減し、消費電力の低減に寄与できる保持装置を提供すること。
【解決手段】電動モータ３１を回転駆動してスクリュー部材２１を所定方向へ回転させて吸着パッド２３内の空気を吸引して他方端部の通気孔１９ｃから排気することにより吸着パッド内を真空形成してワークを吸着して保持する一方、電動モータを上記と逆方向へ回転駆動してスクリュー部材を上記と逆方向へ回転させて他方端部の通気孔から流入する空気を圧縮して一方端部の通気孔を介して吸着パッド内に供給することにより真空破壊してワークの吸着を解除する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の板状部材を支持して搬送する際に、当該板状部材の割れや、落下を回避可能な支持装置を提供すること。
【解決手段】凸部Ｗ１が設けられた半導体ウエハＷの支持装置１２であり、当該装置は、凸部Ｗ１の先端に接触可能な接触体２６と、この接触体２６を保持する保持体２５と、半導体ウエハＷに吸引力を付与する吸引手段３０と、接触体２６からウエハＷを切り離す切離手段３１とを含む。接触体２６は、保持体２５に設けられた凹部３３内に受容されたリング状をなし、接触面２６Ａ側に貫通する吸引口４０を備えた自粘性を有する材料によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】フィルタを交換する際の作業効率を向上させることができる真空ユニットを提供すること。
【解決手段】ユニット本体を複数連結させる。そして、ユニット本体毎に設けられ、フィルタ１４が収容されているフィルタ室の開口部２０ｃが設けられているフィルタケース１５の側面全体を覆うフィルタカバー２７を備える。そして、フィルタカバー２７は、フィルタ室の開口部２０ｃを閉塞する全ての配管ポート部材２６と係合するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 微小なワークを保持することができるとともに、様々な表面形状のワークを確実に保持することができ、一台で表面形状の異なる複数のワークに対応することができるチャックを提供すること、及び、チャックの台数を削減してコストダウンを図るとともに、調整時間を短縮して生産性の向上を図ることができる時計の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ストロー部材４の先端面４ａをワークＸに当接させるとともにストロー部材４の基端側からエア吸引することで、ストロー部材４の先端面４ａにワークＸを吸着させ、ワークＸを保持するチャック１において、ストロー部材４は、その軸線Ｌ方向に沿って平行に配設された軸線Ｌ方向に移動可能な複数のパイプ４０からなる。 （もっと読む）

【課題】 移動状態から停止した時の慣性による振動を抑制することで、振動消失までの時間を短縮して生産設備の生産能率の向上に寄与することができる把持具を提供する。
【解決手段】 生産設備２で生産されたワークまたはインモールドワークをワーク把持位置からワーク解放位置に搬送する搬送手段３に設けられる把持具１であり、この把持具１は、搬送手段３側の基部１０と、この基部１０に延設され、かつ複数の把持ヘッド４を備えた把持部１１とからなり、把持部１１は、複数の枝１２〜１９を分岐延出した枝群２０によって構成し、基部１０から最も離れている各枝１２〜１９それぞれの先端部側の重量を小さく（軽く）する。 （もっと読む）

【課題】少量の圧縮空気にてワークの吸着および解放を行うことができるようにしたエアシリンダ方式によるワーク吸着保持装置を提供する。
【解決手段】吸着パット１が接続される空気室１０Ａと大気に開放の空気室１０Ｂを有する第１エアシリンダ１０と、それぞれ電磁切換弁４０に接続される空気室２０Ａ，２０Ｂを有する第２エアシリンダ２０の各ピストン１１，２１をピストンロッド１２を介して相互に連結し、ワークＷの吸着時には、電磁切換弁４０により空気室２０Ａをコンプレッサ３０に接続し、空気室２０Ｂを大気に開放してピストン１１を矢印Ａ方向に移動させて第１空気室１０Ａ内を負圧とし、ワークＷの解放時には、電磁切換弁４０により空気室２０Ｂをコンプレッサ３０に接続し、空気室２０Ａを大気に開放して、ピストン１１を矢印Ｂ方向に移動させて第１空気室１０Ａ内を大気圧に戻す。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドに吸着したワークから吸着パッドを引き離す際に、ワークがその載置
位置からずれることのない吸着搬送方法及び吸着装置を提供すること。
【解決手段】吸着パッド１０でワーク１００を吸着した後、所定の載置位置Ａ２まで搬送
してこの載置位置Ａ２に載置する工程と、載置したワーク１００をピン６１によって載置
位置Ａ２に押え付けた後、前記ワーク１００の押さえつけを継続しつつ吸着パッド１０に
よる吸着を解除する工程と、ピン６１による押え付けを継続しつつ吸着パッド１０をワー
ク１００から引き離す工程と、ピン６１による押え付けを解除する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】シリンダ室への圧縮気体の給気、排気によりマグネットを装着したピストンをワークに近づけて磁着し、遠ざけてワークを取外すマグネットハンドにおいてワークとの磁着面に油分、水分等が付着していても、素早く、確実にワークを取外すことができるマグネットハンドを提供することを目的とする。
【解決手段】両側にポート１１ｄ、１２ａを有し、そのポートへの圧縮気体の給気、排気の切換によりシリンダ本体１１内を往復作動するピストン１３にマグネット１４が装着されたマグネットハンド１において、ワークＷをマグネットハンド１より取外すときワークＷとマグネットハンド１の磁着面の空隙１１ｂに圧縮気体、またはシリンダ室１ａの排気圧力を導入することによりワークＷを素早く、確実に取外すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御を行うことなく、収穫対象果実を把持可能なハンド機構を提供する。
【解決手段】収穫対象のイチゴの−Ｚ側に位置決めされるガイド１６と、ガイド１６に設けられ、Ｚ軸に沿ってスライド移動するスライダ１８と、スライダ１８に設けられ、スライダ１８の＋Ｚ方向への移動に伴って、ガイド１６と一体的に構成されたストッパ１２ａと接触することにより、Ｘ軸回りに回転する第１回転部２２Ａと、第１回転部２２Ａにその下端部が固定され、第１回転部２２Ａの回転によりその上端部がイチゴに近づく方向に移動する第１フィンガー部２４Ａと、第１フィンガー部２４Ａの上端部とともに、収穫対象のイチゴを把持する第２フィンガー部２４Ｂと、を備えている。 （もっと読む）