【課題】 作業工具の重量を担荷して作業者の負担を軽減できると共に工具を所望位置に容易に移動でき、また、工具ヘッドの移動による重心移動や慣性力も小さい建築物の外壁面作業装置を提供する。
【解決手段】 図示外壁面作業装置１は、固定基部１０の背面支柱１２の上端部にアーム駆動機構４０によって駆動されるアーム機構３０を備えて構成され、ゴンドラ装置２のゴンドラケージ２Ａに、着脱可能に装着される。アーム機構３０は、その先端の工具ヘッド５０に工具ユニットを支持し、制御装置９０によるアーム駆動機構４０の制御駆動によって揺動操作されて、工具ユニットによって建築物の外壁面に対して穿孔やブラッシング等の作業を行うように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 移動室内に配置された移動部材に対して、駆動部により接触でもって案内しながらその往復移動を駆動することで、移動室の隙間部を介して連結される往復移動の対象物の移動を行う往復移動装置において、当該往復移動により移動室内に生じるパーティクルの室外への漏出を抑制して、清浄化環境での使用に対応可能とする。
【解決手段】 移動部材がその内部に配置されて上記往復移動がその内部にて行われる室であって、上記移動部材と当該室外に配置される往復移動の対象物とが連結される部分を往復移動可能に貫通させる隙間部が形成された移動室内において、上記移動部材の移動により圧縮される圧縮側空間の空気を、非圧縮側空間に移動させることで、上記移動室内の空気を循環させる循環経路とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】インデクサロボット１３には、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７が備えられており、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７は、いわゆる３リンク方式とされている。これにより、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７を延ばした状態では、必要なリーチの長さを確保できる。よって、これらを折りたたんだ状態においては、インデクサロボット１３の占有面積を小さくすることができる。よって、回転昇降台を回転させた場合のインデクサロボット１３の旋回直径Ｌ１および移動範囲Ｐ１を小さくすることができ、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】 干渉領域が小さい真空用搬送ロボットおよびそのアーム構造体を提供することである。
【解決手段】 アーム用回転モータ８０によって、ベース体４３に対して第１アーム部材１１０を変位駆動するとともに、第１アーム部材１１０に対して第２アーム部材１１１を連動して変位駆動する。したがってベース体４３から移動方向Ｘに予め離れた位置へ半導体ウェハ３２を搬送する場合、１つのアーム部材で搬送する場合に比べて、各アーム部材１１０，１１１の長さを短くすることができる。これによって各アーム部材１１０，１１１を縮退させた状態では、１つのアーム部材を用いる場合に比べて、旋回半径を小さくすることができる。さらにアーム用回転モータ８０を非真空領域に配置することによって、搬送ロボット３０を安価に実現することができる。 （もっと読む）

【課題】超音波モータの予圧力を小型かつ単純な機構により適宜調節することが可能な関節ロボットの提供。
【解決手段】圧電体１１，１２，１３，１４と、さらに外周端部を張り出した固定子フランジ４と、をともに積層し、圧電体１１，１２，１３，１４とこの固定子フランジ４とを一体に縦貫して両端面中央に開口する中空孔１ａが形成された固定子１と、この固定子１の振動端面上に載置されて、この固定子１の中空孔１ａの延長上に貫通する貫通孔２ａが形成された回転子２と、中空孔１ａと貫通孔２ａとを一連に挿通し、その両端を固定子１と回転子２とのそれぞれに協調して張力を伝達可能に相対峙する２つの固定部材に固定されて張架されたワイヤ３と、を具備させる特徴的構成手段の採用。
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【課題】 オープンループ制御により、精確な動作が可能な駆動装置及び駆動装置の制御方法を提供する。
【解決手段】 駆動制御部１０から出力される制御信号に基づいて、ドライバ１１から所定の駆動信号が出力されて駆動源１５を動作させる。駆動制御部１０による制御動作が終了すると、振動制御部１２が駆動源を一定期間に正逆方向に交互に駆動させるような駆動制御信号を発生する。これにより駆動源１５は微振動する。駆動源の微振動による駆動力方向の力が、摩擦力等の負荷により抑制され最後まで動作できずに残存している駆動力と合算されて、駆動方向の力が摩擦等の負荷よりも大きくなると、動作部は残存駆動力に応じた距離だけ移動する。これにより、駆動制御部１０の制御信号に基づく動作が精確に実行される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、搬送を行う基板の材質や反りにより基板の吸着力が低下しても、確実に静電吸着により基板を保持して、搬送を行う基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、保持部に電極を形成し、電極に電圧を印加して、電極と被保持材との間に生じる電位差により電極と被保持材との間に静電保持力を発生させ、静電保持力により被保持材を保持して被保持材の搬送を行う搬送装置において、前記被保持材の搬送時に必要な必要保持力になるように、前記搬送装置の被保持材に対する静電保持力を変更することを特徴とする。 （もっと読む）