【課題】把持対象の上方の位置に配置しても、その端部を表裏の側から挟持可能な把持装置を提供する。
【解決手段】このハンド（把持装置）３０は、一対をなす第一の把持面３１ａおよび第二の把持面３２ａでシート部材（把持対象）２を挟持するものである。そして、その第二の把持面３２ａは、シート部材２の外縁部２ｔよりも外側の位置から内側の位置にかけて旋回されるようになっており、さらに、自身の旋回円Ｓ２に対し、前記内側の位置では、その径方向にシート部材２を挟持するように第一の把持面３１ａに対向するとともに、前記外側の位置では、径方向で第一の把持面３１ａに重なりあわない待避位置に位置するようになっている。 （もっと読む）

【課題】搬送物を移動させている最中においてもリンク先端の位置精度を向上させることができるパラレルリンク式搬送装置の制御装置及び制御方法を提供する。
【解決手段】複数のモータドライバ２５，２６に与える各トルク指令値に、パラレルリンク機構の先端の位置目標値［Ｘ，Ｙ］と搬送物の質量ｍに基づいて求めた複数の補正トルク指令値Ｋｆ_ｐ、Ｋｆ_ｑをそれぞれ加算する。慣性力の影響を反映した補正トルク指令値Ｋｆ_ｐ、Ｋｆ_ｑを、モータドライバ２５，２６へ与えるトルク指令値に加算することによって、パラレルリンク機構を構成する各リンクの運動に対する補償制御を行うことができるので、搬送物を移動させている最中においてもリンク先端の位置精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】構造の簡略化を図るとともに汎用性の高い作業補助装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る作業補助装置Ａ１は、支持ベース１と、支持ベース１に対してＺ軸方向に伸縮するＺ軸駆動機構２と、Ｚ軸駆動機構２に対して基端部が接続され、この基端部に対して先端部がＸ軸，Ｙ軸方向に沿って揺動する揺動駆動機構３と、上記先端部に接続され、ＸＹＺ方向に操作可能な操作部材４と、操作部材４のＸＹＺ方向の操作力を個別に検出する操作力検出手段５と、操作力検出手段５からの情報に基づきＺ軸駆動機構２および揺動駆動機構３を操作部材４の操作方向への移動を支援するように制御する制御手段とを備える。また、揺動駆動機構３は、上記基端部に対して上記先端部がＸ軸に沿って揺動可能な第１のパンタグラフ機構と、上記基端部に対して上記先端部がＹ軸に沿って揺動可能な第２のパンタグラフ機構との複合パンタグラフ機構によって構成される。 （もっと読む）

【課題】小型軽量物の細かい把持と重量物の安定な把持を共に実現可能で、駆動手段に無理な負荷を加えることがなく、さらに直接教示や原点復帰動作が容易な、汎用性の高いロボットを提供する。
【解決手段】基部１と、前記基部１上に配置される少なくとも２つのリンク機構４と、前記リンク機構４を屈曲伸展可能な駆動手段３と、前記駆動手段３を制御する制御手段１０とを備えたロボットにおいて、少なくとも１つの駆動手段３は、他の駆動手段３よりも大きい駆動力を有し、他の駆動手段３は、自らの駆動力よりも大きい外力に対して他動的に変位するものである。 （もっと読む）

【課題】特定ワークの専用品とせず、汎用性の高いワークハンド装置を提供する。
【解決手段】ロボット２０のアーム２１の先端に接続され、アーム２１の旋回、伸縮によってワークＷを搬送するワークハンド装置１であって、フレーム２と、フレーム２にワークＷを位置決めする基準ピン３ａ，４ａ，５ａと、この基準ピン３ａ，４ａ，５ａに内蔵され、ワークＷを把持するクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂと、それぞれの基準ピン３ａ，４ａ，５ａとクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂを有するそれぞれの第１、第２、第３ピンクランパーユニット３，４，５とを備え、第１ピンクランパーユニット３をＸ軸方向へ移動する第１駆動手段６と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＹ軸方向へ移動する第２駆動手段７と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＺ軸方向へ移動するそれぞれの第３駆動手段８，８′とを備えたワークハンド装置１である。 （もっと読む）

【課題】特定ワークの専用品とせず、汎用性の高いワークハンド装置を提供する。
【解決手段】ロボット２０のアーム２１の先端に接続され、アーム２１の旋回、伸縮によ
ってワークＷを搬送するワークハンド装置１″であり、フレーム２にワークＷを位置決めする基準ピン３ａ，４ａ，５ａと、この基準ピンに内蔵され、ワークＷを把持するクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂと、それぞれの基準ピンとクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂを有するそれぞれの第１、第２、第３ピンクランパーユニット３，４，５とを備え、第１ピンクランパーユニット３をＸ軸方向の位置を固定する第１固定手段９と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＹ軸方向へ移動する第２駆動手段７と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＺ軸方向の位置を固定する第２、３固定手段１１，１２と、Ｚ軸の先端方向へ付勢する第２、３付勢手段１１ｃ，１２ｃとを備えたワークハンド装置１″である。 （もっと読む）

【課題】 旋回軸等を含む多軸の搬送ロボッハンドを容易に直線的に動作させるため直交ロボットをアームとしたために起きる装置が大型化し、取り回しが困難と成るという欠点を取除き、旋回半径が小さいアームを有する搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】 旋回軸等を含む多軸の搬送ロボットにおいて、搬送物を載せるハンドを駆動するアームは２個のステージ有し、一側はハンドに、他側は１個の軸に固着した直交ロボットであることを特徴とする旋回軸等を含む多軸の搬送ロボットとした。 （もっと読む）

【課題】 高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 真空環境２内に、回転駆動軸Ｒ₄回りに旋回可能な第１アーム１３０と、第１アーム１３０に対して所定角度で回動する第２アームと、第２アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第１アーム、第２アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ２１，２２，２３，２４の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄にそれぞれ伝達する伝達ベルト４０，４１，４２，４３により、第１アーム１３０、第２アーム、及びツインハンドは、第１アーム１３０が旋回中心点として旋回し、第２アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドが半導体チップの上面に接触する高さ位置を、簡単な構成で高精度に求めることができるハンドラのティーチング方法及びハンドラを提供する。
【解決手段】吸着パッドを検査用ソケットに配置されたＩＣチップに向かって下動させるとき、吸着パッドからエアーを噴射させながら下動させる。そして、検査用ソケットにＩＣチップの上面に接触するとき、吸着パッドから噴射しているエアーが、ＩＣチップにて塞がれるようにした。従って、エアーの噴射が塞がれることにより、吸引管内のエアーの圧力の上昇を圧力検出センサが検出することによって、吸着パッドが検査用ソケット内のＩＣチップに接触する高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】スライドテーブルをスライド部分の長さ以上に移動させ、スライドテーブルを広範囲に移動させる。
【解決手段】第２のスライドテーブル１８が所定部位に固定されている状態で駆動機構１１を駆動させると、第１の移動体４がフレーム２内をボールねじシャフト３の軸方向に沿って直線移動し、その第１の移動体４が直線移動することに連動して環状シート１６が回転しながらボールねじシャフト３の軸方向に沿って直線移動する。第１のスライドテーブル１７は、第１の移動体４が直線移動する分の移動量と環状シート１６が回転しながら直線移動する分の移動量との和に相当する分の移動量を移動する。 （もっと読む）

【課題】シートとフレームとの間の密閉性を高め、防塵・防滴構造を適切に実現する。
【解決手段】スライドテーブル１８に設けられているローラ１９，２０は、ステンレスシート１７のうち溝穴部１２に対応する部分を当該溝穴部１２側に押圧するように回転方向の断面がステンレスシート１７側に緩やかに湾曲する湾曲形状に構成されている。駆動機構９を駆動させると、移動体４がフレーム２内を直線移動し、ローラ１９，２０は、ステンレスシート１７を溝穴部１２側に押圧しながらステンレスシート１７上を回転することになり、ステンレスシート１７を全体的にフレーム２側に押圧する。 （もっと読む）

【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 各スライダ２０、３０間の許容最短距離Ｌｍｉｎを、操作者が容易、かつ任意に変更・設定でき、被搬送物２２、３３同士の衝突を容易、かつより確実に防止することができると共に、ティーチング作業等をも安全に行うことを可能にする。
【解決手段】 第一及び第二スライダ２０、３０をそれぞれ独立して移動させるサーボモータ２７、３７に組み込まれたエンコーダ２８、３８の位置検出用信号をスライダ移動制御部１３に取り込んで両スライダ２０、３０の位置を検出して両スライダ２０、３０の移動を制御すると共に、これらの検出位置から両スライダ２０，３０間の距離Ｌを求める。他方、両スライダ２０、３０間の許容最短距離Ｌｍｉｎを任意に設定可能な最短距離設定部１４を設け、上記距離Ｌを許容最短距離Ｌｍｉｎと比較し、距離Ｌが許容最短距離Ｌｍｉｎに達したとき、両スライダ２０、３０の互いに接近する方向への相対的な移動を停止させる。 （もっと読む）

【課題】ベースから移動体への配線のためのスペースを小さく済ませ、構成の簡単化を図る。
【解決手段】フレーム１２内に、移動体１５を左右方向に直線移動可能に支持する金属製の２本のスライドシャフト２０，２１を設け、移動体１５に、それらスライドシャフト２０，２１の外周に摺動可能に嵌挿されるスライドブッシュ２４，２５を設ける。フレーム１２に、駆動用モータ１７、ボールねじシャフト１３、ボールねじナット１６等からなる駆動機構を設ける。スライドシャフト２０，２１の左端部に、電力用一次側巻線２７，信号用一次側巻線２８を巻装する。スライドブッシュ２４，２５に、電力用二次側巻線２９，信号用二次側巻線３０を設ける。一次側巻線２７，２８に交流電流を流し、電磁誘導作用により、二次側巻線２９，３０に電力，信号を伝達する。 （もっと読む）

【課題】把持指開閉の微調整可能で操作性の高いマイクロマニュピュレータを提供する。
【解決手段】細胞ハンドリングシステムは、把持アクチュエータ７１の駆動力により２本の把持指の先端部を近接させて細胞を把持するハンドリング部と、ハンドリング部をＸ、Ｙ及びＺ方向に移動させるＸ、Ｙ、Ｚ方向アクチュエータと、ポテンショメータ９ａを有し、アクチュエータ７１の駆動信号を入力するための第１コントローラと、Ｘ、Ｙ、Ｚアクチュエータの駆動信号を入力するための第２コントローラと、ポテンショメータ９ａから出力される電圧とホール素子７１５ａから出力される電圧との差がゼロとなるようにアクチュエータ７１の駆動を制御する把持アクチュエータ制御部７０と、第２コントローラからの入力に応じたパルス数により、Ｘ、Ｙ、Ｚアクチュエータの駆動を制御するＸ、Ｙ、Ｚアクチュエータ制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】主に上向きの作業を行い、前後左右方向に限られた空間に複数のロボットを稠密設置可能な、干渉域の少ない省スペースな、かつモータ・減速機への負荷を低減することができ、モータ・減速機容量を小さくすることが可能なアーム構造を有する産業ロボットを提供。
【解決手段】固定ベース１上に第１水平軸ａの回りに回転自在に支持された第１垂直アーム２、第１垂直アーム２の先端に第１水平軸ａと直交する第２水平軸ｂの回りに回転自在に支持された第２垂直アーム３、第２垂直アーム３上に支持された軸方向に直線移動可能な第３垂直アーム４及び第３垂直アーム４の上に支持された手首機構５を有する。 （もっと読む）

【課題】従来の関節部の構成とは異なる関節部を有した新たなロボットアームおよびロボットを提供することにある。
【解決手段】本発明のロボットアーム１は、一対の第１リンク部材１０および第２リンク部材９間を連結することによって構成されるロボットアームであって、ボールねじ軸２ａおよびナット２ｂからなり、第１リンク部材１０に設けられたボールねじ２と、一端が第１リンク部材１０に接続され、他端がナット２ｂに接続され、ボールねじ２の軸方向に力を作用させる圧縮コイルばね３と、ボールねじ軸２ａを回転させることによるナット２ｂのボールねじ軸２ａの軸方向への移動に伴い、第２リンク部材９を第１リンク部材１０に対して回動させる第３リンク部材５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】指の関節の駆動部のモータの定格トルクで支持できる以上の物体をロボットハンドで載置できるようにする。
【解決手段】複数の関節をそれぞれ屈伸させる屈伸駆動部１０３を有する複数の指１０６と、複数の指１０６を支持する掌部１０４と、からなるロボットハンド１０１において、複数の指１０６のそれぞれ最も掌部１０４に近い屈伸駆動部１０３と、掌部１０４との間に、指全体を指の骨軸１１０回りに回転させる骨軸回転駆動部１０２を更に備えたことを特徴とするロボットハンドとする。 （もっと読む）

【課題】リンクを多段式とすることにより、最短リンク長が短く、しかもリンクのストロークを長くして可動範囲を大きくすることができる汎用性に優れた直動リンク装置の提供。
【解決手段】（ａ）第１のボールねじ軸２１ａと、第１のボールねじ軸２１ａに回動自在に螺合された第１のボールねじナット２１ｂと、第１のボールねじナット２１ｂの外周に形成又は固設された従動歯車２２と、を有する第１節２１と、（ｂ）駆動モータ２９と、駆動モータ２９により回動する第２のボールねじ軸２５ａと、第２のボールねじ軸２５ａに貫設され第１節２１の従動歯車２２に歯合した主動歯車２６と、を有する第２節２５と、（ｃ）第２節２５の第２のボールねじ軸２５ａに回動自在に螺合された第２のボールねじナット３４ａと、第２のボールねじナット３４ａに連設され第２節２５の第２のボールねじ軸２５ａに外挿された筒状体３４ｂと、を有する第３節３４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】駆動モータの大出力化及び車輪の大径化を伴うことなく、車輪走行速度を上げることができる移動ロボットの脚構造を提供する。
【解決手段】本発明の移動ロボットの脚構造は、ロボット本体１０に連結された脚部９に回動可能に連結された足首部２１と、足首部２１に回転可能に支持された車輪２２と、脚部９に足首部２１の回動軸心と同心状に回転可能に支持された駆動軸４６と、駆動軸４６を回転駆動する駆動モータ２３と、駆動軸２３の回転を増速して車輪２２に伝達する伝動機構５３と、足首部２１に設けられ足首部２１に対する駆動軸４６の回転を拘束可能な拘束手段６０と、を備える。 （もっと読む）