【課題】 ある教示位置と次の教示位置との間が離れている場合であっても、大きな曲線の移動軌跡を描かずに動作する多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】 出力側端部３２の位置を、直交座標系による座標で算出する位置算出手段９９と、教示動作時に出力側端部３２の教示位置の直交座標系での座標を記憶する第１の記憶手段６９と、各教示位置間の距離を所定間隔毎に分割し、該分割した各分割点の位置を、直交座標系による座標で算出する分割位置算出手段７３と、分割位置算出手段７３によって算出された分割点の座標を記憶しておく第２の記憶手段６９と、出力側端部３２を移動させる際に、教示位置と教示位置との間は、分割位置算出手段７３によって算出された分割点を出力側端部３２が経由して移動させるように制御する移動制御手段７４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】アーム先端重量を軽量化してモータ容量の縮小化を図りかつモータや伝動機構のメンテナンス性を高めさらに部品コストの低減化を図る。
【解決手段】第１軸乃至第４軸駆動用モータからなるモータユニットを備えたベース部11と、第１軸を中心にベース部よりも下位にある水平面上を回動する第１アーム14と、第１アームの先端部で第２軸を中心に第１アームの下位にある水平面上を回動する第２アーム16とからなる水平アーム12と、ベース部と第１アームを連結する関節部に設けられる第１の減速機34と、第１アームと第２アームの関節部に設けられる第２の減速機35と、手首部20を上下方向に昇降させる第３軸たるボールねじ機構と、手首部を揺動させる第４軸たる揺動機構を具備する上下アーム18と、第１減速機と第２減速機の各々に同軸の多重中空軸ユニットとベルト伝動ユニットの組合せからなり、第２軸乃至第４軸の各軸に動力を伝動する伝動ユニットを具備する。 （もっと読む）

【課題】 トランスファープレス等におけるワーク搬送装置において、ワーク把持装置を移動させるサーボモータの故障による運転停止の頻度を低減させるとともに、保守部品の保管・管理の負担を軽減することができる装置を提供する。
【解決手段】 所定のワーク１を把持するワーク把持部１５と、ワーク把持部１５にそれぞれ回転可能に接続された一対のアーム７，８と、各アーム７，８のそれぞれの他端に回転可能に接続されると共に往復直線移動する一対のスライダ４，５と、一対のスライダ４，５をそれぞれ駆動する一対の駆動部１７，１８と、を備えるワーク搬送装置１０１において、一対の駆動部１７，１８が、それぞれ複数のアクチュエータ３１Ａ，３１Ｂ，３２Ａ，３２Ｂにより構成される。
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【課題】 多関節アームを駆動するとき負荷を低減し、モータ容量の縮小化を図り、省エネルギの産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 ロボットの各制御軸を駆動するモータが集中配置されるベース部１１を最上位の位置に配置し、ベース部１１から水平多関節アーム１２を垂設し、上下方向に移動自在な上下アーム１８を水平多関節アーム１２の先端部に設け、上下アーム１８の下端部にエンドエフェクタ２２を有する手首部２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 駆動モータを防爆型のモータを必要とせず、しかも、モータ容量を低減化できるようにする。
【解決手段】 塗装ロボットの各軸を駆動するモータをベース部１１に集中配置し、ベース部が設置される空間と、ロボット本体が設置され塗装工程を行う作業空間との間を仕切壁２４で隔絶する。 （もっと読む）

【課題】マイクロマニピュレータへのＸ軸及びＹ軸方向の駆動指令を誤っても、中断することなく操作を続行可能な微小物体ハンドリングシステムを提供する。
【解決手段】モニタの画面中心Ｏをエンドエフェクタの先端部の初期位置に設定し、顕微鏡の倍率と、画面中心Ｏから水平及び垂直画面端までの距離に相当するＸ方向及びＹ方向の初期位置からの実距離との関係を表す相関テーブルとから実距離（Ｘｍａｘ，Ｙｍａｘ）を演算し、初期位置から実距離（Ｘｍａｘ，Ｙｍａｘ）間を駆動するための駆動許容パルス数（ＰＸｍａｘ，ＰＹｍａｘ）を演算しておき、駆動許容パルス数（ＰＸｍａｘ，ＰＹｍａｘ）を越えるＸ及びＹ方向ステッピングモータへのパルスの出力を制限する。エンドエフェクタの先端部が画面の画像表示範囲を越えて駆動しない。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡視野内において微小物体を正確かつ迅速に取り扱うことができ、消費電力の小さい小型のマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】マイクロマニピュレータ１００は、把持指の先端部を近接させて微小物体を把持するハンドリング部１０４と、パンタグラフ機構２０４を変位させハンドリング部１０４をＸ方向及びＹ方向に駆動するＸＹ駆動部１０１と、パンタグラフ機構２０４を変位させハンドリング部１０４の把持指の先端部を中心として把持指が揺動するようにハンドリング部１０４の姿勢方向を変更するθｚ駆動部１０２と、ハンドリング部１０４をＺ方向に駆動するＺ駆動部１０３と、を備えており、ＸＹ駆動部１０１とθｚ駆動部１０２とは一体に構成されている。Ｚ駆動部１０３はパンタグラフ機構２０４の出力リンク２０４ｊに支持されており、ハンドリング部１０４はＺ駆動部１０３に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 各種用途に臨機応変に適応できるようにして汎用性を高める。
【解決手段】 位置が固定されるベース部６と、このベース部６を支点として旋回アーム７の一端７ｓ側を水平方向に回転させる水平回転機構８と、この旋回アーム７の他端７ｔ側から起立し、かつ支持部９をＺ軸方向へ移動させるＺ軸移動機構１０と、前アーム部３と後アーム部４を回動軸部１１を介して連結したアーム機構５を有し、このアーム機構５の後端５ｒ側を装着位置の変更可能な着脱部１２を介して支持部９に装着するとともに、アーム機構５の後端５ｒ側を回転させることにより、アーム機構５の先端５ｆに支持するチャック部２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構１３を具備する。 （もっと読む）

【解決手段】機械化された可動構造体を形成するためのモジュール（１）は第１プレート状部材（２）及び第２プレート状部材（３）からなり、第１プレート状部材（２）及び第２プレート状部材（３）は互いに対面すると共に、ヒンジ手段（４）と、第１プレート状部材及び第２プレート状部材を相対的に揺動させるための駆動手段（５）とを介し、揺動可能に連結されている。機械化された可動モジュール構造体は、互いに連続的に配列された２つ以上のモジュール（１）からなり、各モジュール（１）の第２プレート状部材（３）は、当該モジュールに隣接するモジュール（１）の第１プレート状部材（２）と連結されている。 （もっと読む）

基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを有している。かかる駆動部は、多数の異なる交換自在なモータモジュールから選択され、配置するのに選択自在な少なくとも１つのモータモジュールを有する。各モータモジュールは、異なる予め決められた特性を有している。関節アームは関節接続部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が予め決められた構造特性を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のために、少なくとも１つのモータモジュールの選択によりなされる。
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液晶表示パネル、ガラス基板等の薄板状基板を処理装置内に搬送する搬送装置に関し、大型の薄板状基板を搬送する回動アーム（１６）を有する比較的大型のロボット（１４）を備えた搬送装置において、２ｍ程度の高さであっても安定して持ち上げることが可能であり、かつ回動アーム（１６）を伸ばしたときの撓み量を補正した搬送が可能な搬送装置及び薄板状基板搬送システムを提供する。２つの直立支持体（１２）に昇降可能に片持ち支持される水平支持台部（１３）を設け、水平支持台部（１３）に回動アーム（１６）を有する搬送ロボット（１４）を載置する。また、アームを伸ばしたときの撓み量は、水平支持台部（１３）の高さを撓み量に応じて上げることにより補正する。撓み量は、水平支持台部（１３）に載置されるロボット（１４）の設置の角度を変化させることにより補正することも可能である。
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【課題】 大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供することにある。
【解決手段】 ワーク３０をカセットにロード／アンロードする多関節型ロボット１において、ワーク３０を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部６の基端側の移動軌跡が、ワーク３０をロード／アンロードする方向とはほぼ直交する方向の直線となるように動作するリンク機構３と、アーム部６（又はアーム部６の先端側）を、リンク機構３の移動に整合させてワーク３０をロード／アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段（アーム部モータ５１や上支持フレームモータ６ｂ）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可及的に小さなハードウェアサイズで、ロボットの手首関節等の動きと剛性の可変制御を可能とするハードウェアを提供する。
【解決手段】非線形弾性機構において、モータ１５と、モータ１５によって動力が伝達される入力部１４と、入力部１４の動きに対応する出力部１２と、入力部１４と出力部１２との間に設けられ弾性特性を有する弾性部材１１と、を備える機構であって、モータ１５によって入力部１４が第一の動きをするとき、弾性部材１１の弾性特性が該入力部１４の動きに応じて変化する第一駆動モードと、モータ１５によって入力部１４が第一の動きとは異なる第二の動きをするとき、該入力部１４の動きに連動して出力部１２が変位する第二駆動モードと、を有する。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡視野内において微小物体を正確かつ迅速に取り扱うことができると共に、消費電力の小さいマイクロマニュピュレータを提供する。
【解決手段】マイクロマニュピュレータは、把持指の先端部を近接させて微小物体を把持するハンドリング部１０４と、ハンドリング部１０４をＸ方向及びＹ方向に駆動するＸＹ駆動部１０１と、ハンドリング部１０４の把持指の先端部を中心として把持指が回動するように把持指の姿勢方向をＸ、Ｙ方向で同時に変更するθｚ駆動部１０２と、ハンドリング部１０４をＺ方向に駆動するＺ駆動部１０３と、を備えている。Ｚ駆動部１０３はθｚ駆動部１０２を介してＸＹ方向に移動可能にＸＹ駆動部１０１に支持されており、ハンドリング部１０４はＺ方向に移動可能にＺ駆動部１０３に支持されている。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡視野内において微小物体を確実かつ迅速に把持することができるマイクロマニュピュレータを提供する。
【解決手段】マイクロマニュピュレータは微小物体を２本の把持指で把持するハンドリング機構１０４を備えている。ハンドリング機構１０４は、微小物体に接触するエンドエフェクタ５０５ａを有し不動の固定指５０５と、微小物体に接触するエンドエフェクタ５０７ａを有し支点軸を中心に回動可能な可動指５０７と、可動指５０７を支点軸を中心に回動させるアクチュエータ５０２と、を有している。可動指５０７がアクチュエータ５０２の駆動により回動することで固定指５０５のエンドエフェクタ５０５ａの先端に可能指５０７のエンドエフェクタ５０７ａの先端が接触可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 伸縮機構の伸縮作動量を、伸縮機構を作動させる送り機構の全長に比して増大させる。
【解決手段】 被駆動作動部材２０は送り機構１２の固定部材１３ａに対し移動される駆動部材１３ｂに連結され、被駆動作動部材に相対移動可能に連結された作動部材２５は、固定部材と被駆動作動部材との間の相対移動に応じて作動する連動機構３０により相対移動される。作動部材に相対移動可能に次の作動部材を連結して同様に連動されるようにしてもよい。連動機構は、ラック・ピニオン機構、ベルト伝動機構、送りねじ機構などを用いて、往復運動と回転運動を相互に変換するものとするのがよい。この伸縮機構は伸縮可能なロボットアームとして使用するのに適している。 （もっと読む）

【課題】被駆動部を互いに直交するＸ軸及びＹ軸の両方向に精度よく駆動することのできる二軸アクチュエータを提供する。
【解決手段】ベース２と、ベース２上にリニアガイド６を介して設けられたスライドテーブル４Ａ，４Ｂと、スライドテーブル４Ａ，４ＢをＸ軸方向に各々独立に送り駆動するボールねじ８Ａ，８Ｂと、ボールねじ８Ａ，８Ｂを各々独立に駆動する駆動モータ１０Ａ，１０Ｂとを備えて二軸アクチュエータにおいて、スライドテーブル４Ａ，４Ｂのうち一方のスライドテーブルはＸ軸方向に延びるラックギヤ１４を有し、他方のスライドテーブルはラックギヤ１４と噛合するピニオンギヤを有すると共に該ピニオンギヤと協働して被駆動部ＨＵをＹ軸方向に送り駆動するベルト式送り機構１８を有している。 （もっと読む）

【課題】 作業軸の上下を使い分けられるようにすることにより、１種類のロボットで様々なワークの搬送形態、種類等に対応できるようにした水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】 関節軸１４、１６により連結された複数の水平アーム１５、１７を有し、そのうちの先端アーム１７の先端部に設けられた作業軸１８が、上下両端部にエンドエフェクタの取付部１８ｂ、１８ｃを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】 対象物などの損傷防止を図れる関節アームを提供する。
【解決手段】 互いに球継手４を介して屈曲自在に連結された第1アーム部材２および第２アーム部材３を備える。第１アーム部材２に設けた複数個の貫通孔５と、第２アーム部材３に設けた複数個の保持孔６とにわたって圧縮コイルばね８を挿入する。貫通孔５内の圧縮コイルばね８の後端部より後方には支持シャフト１０を進退動自在に挿入する。或る支持シャフト１０がアクチュエータ等により前進動して圧縮コイルばね８を押圧すると共に別の支持シャフト１０を後退動させる。これにより、球継手４を介して、第２アーム部材３を所定の位置に移動させることができる。第２アーム部材３の所定位置での停止状態は支持シャフト１０の変位と圧縮コイルばね８の反発力とのバランスでもって保持される。 （もっと読む）

【課題】 装置全体としての大型化・重量化を避けつつハンド部の長い上下ストロークを確保し、尚かつハンド部の移動速度の高速化を図ることもできるようにしたロボットを提供することを目的とする。
【解決手段】 ハンド部２を上下動可能に支持する第１のフレーム３と、該第１のフレーム３を上下動可能に支持する第２のフレーム４とを備え、第１のフレーム３内には、ハンド部２を上下動させる第１のボールねじ５と、第２のフレーム４に対し第１のフレーム３を上下動させる第２のボールねじ６とを上下方向にかつ並列させて配列し、さらに、第１のボールねじ５と一体となって回転する第１の歯車および第２のボールねじ６と一体となって回転する第２の歯車と直接または間接的に連結されているモータ９を収納する。 （もっと読む）