【課題】細胞等の微小微小対象物に対しキャピラリによるインジェクション操作を行う際に、かかる操作のための動作を確実に精度よく繰り返して行うことが可能なマニピュレータ及びマニピュレータシステムを提供する。
【解決手段】このマニピュレータは、ナノポジショナの構造を有し、キャピラリの微動動作を行うことで微小対象物に対するインジェクションが可能であって、キャピラリの動作を制御する制御部４３と、制御部に対しキャピラリの動作を指示するために操作者により操作される操作部４７，４９と、を備え、操作部が、その指示の少なくとも一部を押されることで実行するボタン操作部４７ａ，４７ｂを有し、ボタン操作部を押すことで、キャピラリによるインジェクション操作の少なくとも一部の動作が行われる。 （もっと読む）

【課題】狭い作業領域で効率よくワークを搬送できるハンドリング装置を提供する。
【解決手段】水平方向に伸長するガイドレール１１、ガイドレールに沿って移動する可動キャリッジ２０、可動キャリッジに設けられてワークを取り扱うハンドリングロボットＲを備え、ハンドリングロボットＲは、可動キャリッジに対して上下方向に伸縮自在に設けられたテレスコアーム３０、テレスコアームに保持されると共に水平面内で旋回して伸縮又は屈曲動作を行うべく互いに連結された複数の旋回アーム４０，５０、複数の旋回アームの最も先端側に設けられたハンドユニット６０を含む。これによれば、複数の旋回アームが水平面内で二次元的に移動するものであるため、上下方向の剛性が高く、質量の大きいワークでも停止時に振動やブレ等の発生を防止でき、狭い作動範囲において、安定したハンドリング操作を行える。 （もっと読む）

【課題】 力覚呈示機構を持つコントローラは、遠隔医療やバーチャルリアリティーの分野などにおいて臨場感のある操縦を可能にする。しかし、アクティブ型の力覚呈示機構を用いた場合、力覚呈示機構の暴走による操縦者の負傷の危険がある。また、粘性流体などを用いるパッシブ型の力覚呈示機構においても、操縦対象の微小な動作に対して敏感な力覚呈示を行うことは難しい。
【解決手段】 本発明は、かかる実情に鑑み、力覚呈示機構にＥＲ流体やＭＲ流体などの粘性流体を用いることで、操縦者にとって安全なコントローラを実現した。そして、力覚を操縦者に伝達する機構に、操縦者が力を加える方向に垂直に取り付けられた円盤や、羽根状のものなど円盤回転方向からの抵抗を受けやすくしたものを用いることで、力覚を受け取る側の部品の動きを強く制御し、敏感な力覚呈示を可能にした。 （もっと読む）

【課題】軽量で、かつ剛性の向上を図り、潤滑油の外部漏れを防止できるロボットアクチュエータにおけるスライダ構造を提供する。
【解決手段】スライダ５を、駆動機構によって往復動操作されるスライダ本体１７と、該スライダ本体１７に装着され、移動方向の前後および中間部に、上記帯状のシート１０に対する摺動部を有する摺動部材１６と、この摺動部材１６の上面に該摺動部材を覆うように装着されたカバー部材とで構成し、上記摺動部材を、互いに対向する一対のローラーホルダ１９と、このローラーホルダ１９の前後端部に、ローラーホルダ１９相互間に設けられたシャフト２０₁，２０₂に装着された弾性ローラ２３と、上記ローラーホルダ１９の中間部に、上記ローラーホルダ１９相互間に支持された摺動部２１とで構成し、上記帯状のシート１０を上記ローラーホルダ１９の中間部の摺動部２１の上面を通し、前後の弾性ローラ２３の下面を通して配設した。 （もっと読む）

【課題】偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、昇降ベース２と、昇降ベース２を昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５と、旋回ベース４に支持された直線移動機構６と、直線移動機構６の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド７Ａ，７Ｂとを備える。昇降機構３は、固定ベース１に設けられたガイドレール３１１、および、昇降ベース２に設けられたガイド部材３１２からなるスライドガイド機構３１と、固定ベース１に配置されたネジ軸３２１、および、昇降ベース２に設けられたナット部材３２２を備えたネジ送り機構３２と、を備えて構成される。ネジ送り機構３２は、旋回軸Ｏｓを挟んで対向状に２つ設けられている。 （もっと読む）

【課題】ベースから移動体への電気配線及び／又はエア配管と、移動体等との干渉を効果的に防止しながらも、そのための構成を安価に済ませる。
【解決手段】Ｙ軸移動ユニット１２は、Ｙ軸方向に延びるベース１５に沿って移動体を自在に移動させる。ベース１５側から移動体側に対する電力、エア供給のための電気配線及びエア配管を、フレキシブルなフラットケーブル２１として構成する。フラットケーブル２１は、ベース１５の上面部を移動体の移動方向に沿って延び、中間部がＵターンされるように上方に折り返されて移動体側に接続される。ベース１５の上面部に、フラットケーブル２１を収容可能な凹溝状の固定ガイド２４を設ける。移動体に、フラットケーブル２１が横方向にずれた際に、移動体の移動に伴いそのずれた部分を固定ガイド２４内に押し込む（落とし込む）一対の可動ガイド部材２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】小型化および低コスト化を可能とするロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボットハンド１は、ベース２と、フィンガー６〜８と、それぞれ同構成からなる一軸スライダー３〜５とを備える。そして、一軸スライダー３は、位置制御部３１と、従動支持部３２２とを備えている。位置制御部３１は、一方向に延伸するレール３１１と、レール３１１に沿って移動可能にレール３１１に支持される移動部３１２と、レール３１１における移動部３１２の位置を制御する駆動部３１３とを有する位置制御部３１とを有し、従動支持部３２２は、移動部３１２に従動し、フィンガー６が取り付けられ、フィンガー６を支持する。 （もっと読む）

【課題】作動軸の中空部に接続部材が挿通する構造を採りながら、クリーンルームでも使用可能なロボットを提供する。
【解決手段】中空な作動軸５と、この作動軸５を回動と軸線方向への移動とのうち少なくともいずれか一方が可能となるように支持する揺動式アーム４と、アームを支持する基台２とを備える。作動軸５の中空部に、空気配管、電力供給用あるいは通信用のケーブルのうち少なくとも一つからなる配管等１０４を挿通する。この配管等１０４における作動軸５から導出された部位にコイル状の弾性変形可能な余裕部１１１，１１２を形成する。この余裕部の一端部を作動軸５に支持させ、他端部をアーム４に支持させる。アーム４に作動軸５と余裕部１１１，１１２とを覆うカバー９を備えさせる。このカバー９の内部を基台２まで延びる通路に連通させ、この通路に配管等１０４を通して基台２に導いた。 （もっと読む）

【課題】作動軸を貫通する配管等が作動軸の軸線方向への移動により損傷するようなことがなく、設置スペースが相対的に狭いロボットを提供する。
【解決手段】作業部材用取付座が一端部に設けられた作動軸５と、この作動軸５を軸線方向に移動自在に支持する揺動式アーム４とを備える。作動軸５の軸心部に、接続部材（配管等１０４）を通す中空部が形成される。アーム４に、作動軸５に沿うように柱状部材（支柱６２，６３）を立設する。接続部材を、所定本の空気配管、所定本の電力供給用ケーブルあるいは所定本の信号用ケーブルのうち少なくとも一つによって構成する。接続部材における作動軸５から導出された部位を、コイル状に形成し、柱状部材に貫通させて保持させる。このコイル状部分１４５，１４６を所定の曲げ弾性を有するように形成する。このコイル状部分１４５，１４６における柱状部材の一端部をアーム４に支持させ、他端部を作動軸５に接続した。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置で基板を搬送する基板搬送装置において、昇降する可動子が目的の位置に到達したことを確実に確認できる構成を提供し、それにより基板の破損を防止できるようにする。
【解決手段】アームとハンドを搭載した可動子５を上下に昇降させる昇降部において、装置の起動時に、搬送装置の制御装置で、インクリメンタル式のリニアスケール８のフィードバック値ＬnrＦb₀を、絶対値式エンコーダ１６から得られるフィードバック値ＭtrＦb₀のリニアスケール換算値ＭtrＦb₀'と同じになるよう記憶しなおし、所定のときにフィードバック値ＭtrＦbのリニアスケール換算値ＭtrＦb'とフィードバック値ＬnrＦbとを比較する基板搬送装置とした。 （もっと読む）

【課題】把持部を上下動させるための機構を構成する部材のアームからの突出長さを短縮する。
【解決手段】把持部を配設する昇降部材５を、テレスコープ状の直線移動支持機構９の第２の単位可動部材１５の下端部寄りに取り付ける。また、昇降用モータ１９の回転を直線移動支持機構９の第１，第２の単位可動部材１４，１５を直線移動に変換させるための機構をラック・ピニオン機構２０とし、そのピニオン２２とラック２３との接触伝導部分をアーム４の下端寄りに位置させる。 （もっと読む）

【課題】 アウタ部材を寝かせた状態でアウタ部材上にインナ部材をセットしてサブアッセンブリしたワークを、アウタ部材とインナ部材との相互の位置ずれやアウタ部材の外表面の傷付きを生ずることなく、ヘミング装置に投入できるようにしたワーク把持装置を提供する。
【解決手段】 アウタ部材（ＷＲＯ、ＷＬＯ）を寝かせた状態で該アウタ部材上にインナ部材（ＷＲ１、ＷＬ１）をセットしてサブアッセンブリしたワークを、該アウタ部材の周囲の曲げ起こされた曲げ縁部をヘミング加工してアウタ部材とインナ部材とを一体化するヘミング装置に投入するためのワーク把持装置において、サブアッセンブリしたワークのうち、前記アウタ部材の周囲複数の辺（ＷＯａ、ＷＯｃ、ＷＯｄ）の曲げ起こされた曲げ縁部（ＷＯｅ）を、開閉される１対の把持爪（８２ｂ、８２ｃ）で該曲げ縁部（ＷＯｅ）の内外の両側から把持して、サブアッセンブリしたワークを投入するようにした。 （もっと読む）

【目的】手術器具挿入点に沿って回転運動、また直動運動を行なう機構を備えた低侵襲手術ロボットを提供することを目的とする。
【構成】ベースと、このベースに装着された回転駆動アクチュエータと、マニピュレータ等の各種エンドエフェクタを装着するホルダと、前記駆動アクチュエータと複数のリンクを回転対偶により連結した２組のアーム、から構成される機構不動点を備える。 （もっと読む）

【課題】作業ユニットに対する配線作業をより容易化する。
【解決手段】本発明にかかる直交型ロボット１は、特定方向に移動可能なスライダ４３に、所定の作業を行うための作業ユニット１０が取り付けられるように構成されており、上記ロボット１の駆動源である各種モータ１７，３５，４７とそのコントローラ２とは、屈曲自在なケーブル保持部材６３，７１の内部を通るように配索されるケーブル５６，５４等を介して電気的に接続されている。上記ケーブル保持部材６３，７１の内部には、上記ケーブル５６，５４を通すための第１の配索空間８３，８５と、上記作業ユニット１０に接続される作業ユニット用ケーブル７９を通すための第２の配索空間８４，８６とが形成され、これら第１および第２の配索空間（８３，８４等）が、仕切部材７５，７６を介して互いに仕切られている。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス作業性の良い交差型ロボットを提供する。
【解決手段】直交型ロボット１は、Ｘ軸方向に延びるフレーム１０とこれに沿って移動するスライダ１１を具備するＸ軸ロボット３と、前記スライダ１１に固定され、Ｙ軸方向に延びるフレーム３０とこれに沿って移動するスライダ３１とを具備するＹ軸ロボット４とを有する。Ｙ軸ロボット４は、前記スライダ１１の取付部２０に固定されるブラケット２２を介してＸ軸ロボット３に固定される。ブラケット２２は、ボルトＢによりスライダ１１に固定されている。スライダ１１には、フレーム１０の側方に膨出する膨出部分２０ａが設けられ、ブラケット２２は、その一部が膨出部分２０ａ上に重ねられた状態で、この膨出部分２０ａに対してスライダ１１の下方からボルトＢにより固定されている。 （もっと読む）

【課題】ロボットの製造コストをより低減する。
【解決手段】本発明にかかる直交型ロボット１では、Ｘ軸ロボット３，４の駆動源としての中空モータ１７およびサーボモータ３５と、これを制御するためのコントローラ２とが、各種ケーブル（５０等）を介して電気的に接続されている。上記ケーブルは、上記各モータ１７，３５側から延びるモータケーブル５１，５２と、上記コントローラ２側から延びるメインケーブル５０とを有しており、これら各ケーブル５０〜５２は、上記Ｙ軸ロボット４のフレーム２６の内部に形成された所定のスペースからなる結線部６８で接続される。 （もっと読む）

【課題】直交型ロボットの使用に際し、その利便性を向上させる。
【解決手段】直交型ロボット１は、Ｘ軸方向に延びるフレーム１０およびこれに沿って移動するスライダ１１を具備するＸ軸ロボット３と、前記スライダ１１に固定され、Ｙ軸方向に延びるフレーム３０およびこれに沿って移動するスライダ３１とを具備するＹ軸ロボット４とを有する。スライダ１１は、スライダ本体２０と、これに固定されるＹ軸ロボット４取付用のブラケット２２とから構成されている。ブラケット２２は、スライダ１１の移動方向（Ｘ軸方向）に沿ってＹ軸ロボット４よりも先方に突出するように構成され、かつ当該突出部分にＴ字溝２３が形成されており、これによって、各種ツールや備品を組付け可能なパーツ取付部２４がスライダ１１に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ケーブル配線上の都合によるロボットの占有スペースの増大を抑制する。
【解決手段】本発明にかかる直交型ロボット１では、駆動源としての各種モータ１７，３５，４７とコントローラ２とがメインケーブル５０等のケーブルを介して電気的に接続されており、当該ケーブルのうち、コントローラ２側から延びる第１のケーブル５５と、Ｙ軸ロボット４のサーボモータ３５側から延びる第２のケーブル５６とが、Ｘ軸ロボット３のフレーム６の一側部に設置された中継ボックス４９の内部で中継されている。上記第２のケーブル５６は、上記中継ボックス４９が設置される側のフレーム６の側部において当該フレーム６の底面から所定距離だけ上方に離間した高さに設置されたケーブル保持部材６３の内部を通るように配索されており、上記中継ボックス４９の下面または側面には、上記第１のケーブル５５を内部に導入するためのケーブル導入部５９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】自重及びワーク質量による撓みを減少させ、アームの全長が長く設定されていても、ワークの長距離の搬送を精度良く行う。
【解決手段】多関節ロボット１０は、水平に回動する第１アーム５０と、第１アーム５０の回動中心に対して同軸の扇形の支持板１８と、第１アーム５０と平行なサブアーム５８と、第１アーム５０及びサブアーム５８の各先端に接続された連結部材５２とを有する。支持板１８には円弧レール４０が設けられている。第１アーム５０、サブアーム５８及び連結部材５２は平行リンクを構成する。円弧レール４０は、第１アーム５０の上面に設けられた係合部１００と係合する。連結部材５２には第２アーム５４が回動自在に設けられ、該第２アーム５４の先端には第３アーム５６が回動自在に設けられいている。第３アーム５６の先端には、ワークＷを吸着するエンドエフェクタ５９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】真空中で粉体を扱う環境でありながら、高い量産性を実現しうるマニピュレータ及びこれを用いた成膜装置を提供する。
【解決手段】第１部材と第２部材とが接触部を介して可動に接続され、該接触部及びその動作範囲が気密性を保持できるカバーで被包され、カバーは動作方向に伸縮可能であり、内側の気密領域と外部とが貫通孔で連通されているマニピュレータである。
上記マニピュレータを２つ以上組み合わせて成る多軸マニピュレータである。
上記マニピュレータ又は上記多軸マニピュレータ及び原料粉末供給・噴射手段を気密チャンバー内に配設し、マニピュレータ又は上記多軸マニピュレータが第１部材としてガイド、第２部材としてステージを備え、気密チャンバー内を減圧する機能を備えている成膜装置である。 （もっと読む）