【課題】加工抵抗や熱膨張などによる機械変形が生じることが無く、精度の高い加工を安定して行うことができ、さらに、機械剛性が高く、且つ、省スペース化を実現した、従来技術にはない全く新しい加工機を提供する。
【解決手段】この加工機１０は、外郭構造を形成する筺体１１と、筺体１１の一表面及び他表面に対してそれぞれ設けられ、載置されるワークＷを筺体１１の設置面と垂直方向に往復移動可能な一対のワークテーブル２１と、ワークテーブル２１に載置されるワークＷの対向する二面を加工可能なように、一対のワークテーブル２１を挟むように筺体１１に設けられる複数台の加工ヘッド３１と、を備えている。そして、この加工機１０には、一対のワークテーブル２１及び複数台の加工ヘッド３１のそれぞれに対して加わる応力の一部を筺体１１に受け持たせるモノコック構造が採用されている。 （もっと読む）

【課題】テーブル及びウェイトの往復動時の駆動速度を適正に調整することができて、テーブル及びワークの往復動に伴う慣性力を有効に相殺することができるレシプロ研削盤及びその制御方法を提供する。
【解決手段】ワーク２２を載置した状態で第１駆動装置２１により機台１１上で往復動されるテーブル１９と、そのテーブル１９の往復動に伴いテーブル１９上のワーク２２を加工するための工具１７と、第２駆動装置２６により機台１１上でテーブル１９と逆位相にて往復動されるウェイト２５とを備える。機台１１に作用する慣性変動を検出するためのセンサ２７を設ける。そのセンサ２７の検出に基づいて慣性変動が収束するように、第１駆動装置２１と第２駆動装置２６との少なくとも一方の駆動速度を制御する制御装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】研削対象側の回転軸と砥石側の回転軸との軸ズレを抑制し、高精度な球面形状を得ることのできる研削加工装置を提供し、研削対象に球状面の研削を行う研削加工方法を提供すること。
【解決手段】軸ズレ調整部６０が、研削対象１０及び砥石部材２０が支持された状態でズレ度合測定部５０によって測定された軸ズレに応じた各回転軸ＲＡ１，ＲＡ２の位置の調整を可能にしている。これにより、研削加工時における回転軸の軸ズレを抑制することができるので、作業性を損なうことなく高精度な球状面を再現性良く得ることができる。 （もっと読む）

【課題】研磨精度を維持するために定期的に交換が必要な消耗部品点数を削減できる研磨装置を提供する。
【解決手段】ワークの端面を研磨する研磨面２０ａを表面に有する研磨盤２０と、研磨盤２０の裏面２０ｂを所定平面に沿って移動自在に支持する支持機構３０と、研磨盤２０の研磨面にワークの端面が当接するようにワークを保持するワークホルダ５０と、研磨盤２０に円運動をさせつつ往復直線運動をさせる駆動機構７０とを有する。 （もっと読む）

【課題】
マスターワークを使用せずに、カム類を代表例とする断面非円形の異形ワークを研削可能にすることである。
【解決手段】
断面非円形の異形ワークＷ₁ の回転軸心Ｃｗ₁ が主軸Ｓの軸心Ｃ₁ と同心となるように、ドッグ２６で把持された当該異形ワークＷ₁ を連続回転させながら、被研削面である外周面を研削する方法であって、前記異形ワークＷ₁ の基準位置からの回転角度（θｘ）と、研削ユニットＧＵの揺動角度（θｙ）との関係を特定して異形ワークＷ₁ の外周研削形状を定めた外周形状特定式〔θｙ＝ｆ₁ （θｘ）〕を予め計算しておいて、前記外周形状特定式〔θｙ＝ｆ₁ （θｘ）〕に基づいて、揺動軸心Ｃ₀ を中心にして研削ユニットＧＵを揺動させながら、前記異形ワークＷ₁ を連続回転させて、その外周面を当該外周形状特定式〔θｙ＝ｆ₁ （θｘ）〕で特定された形状に研削する。 （もっと読む）

【課題】加工面積が狭い場合でも適用可能であり、且つ、精度良くスカーフ加工できる簡素化された加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】スカーフ加工用治具１は、複合材にスカーフ面を加工するためのスカーフ加工用治具１であって、切削工具を円周にそってガイドする環状の円周方向ガイド２と、円周方向ガイド２の内周側に円周方向ガイド２の内周に沿って旋回可能に配置され、且つ、円周方向ガイド２の径方向に切削工具を滑走可能にする貫通穴６が設けられた径方向ガイド４と、貫通穴６の径方向に沿った両側壁面に設けられ、切削工具を支持し、且つ、切削工具を径方向ガイド４の深さ方向にガイドする深さ方向ガイド５と、を備え、深さ方向ガイド５のガイド面が、所定形状のスカーフ面に対応する角度で傾斜されている。 （もっと読む）

【課題】加工数の増加による研削抵抗の増加を更に抑制できる放電超音波重畳研削加工方法を提供する。
【解決手段】研削工具７０の砥石７あるいは被加工物２に超音波振動を印加し、導電性の被加工物２に放電エネルギーを放電電源２４から与えながら研削する。研削工具７０と被加工物２との間にパルス電圧を印加し、両者間で放電させて、詰まった切屑を放電作用ならびに超音波振動で除去し、かつ研削工具７０と被加工物２との相対的距離を演算された変化速度（送り速度）ｆｇで移動させながら所定の食込みの量ｔｇで研削する。この研削加工中の放電状態のモニタリングを放電電圧、及び放電電流の双方で行なって、このモニタリングの結果を用いて、安定放電を維持するように、少なくとも変化速度ｆｇを制御する。必要な仕上げ面性状を満足し、研削抵抗を低減して、設備の小型化ないし低価格化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】基板のトップエッジ部および／またはボトムエッジ部を正確かつ均一に研磨することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置は、基板Ｗを水平に保持し、該基板Ｗを回転させる回転保持機構３と、基板Ｗの周縁部に近接して配置された少なくとも１つの研磨ヘッド３０とを備える。研磨ヘッド３０は、基板Ｗの周方向に沿って延びる少なくとも１つの突起部５１ａ，５１ｂを有し、研磨ヘッド３０は、突起部５１ａ，５１ｂにより研磨テープ２３の研磨面を基板Ｗの周縁部に対して上方または下方から押圧する。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトな角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置を提供する。
【解決手段】角柱状インゴットの４隅Ｒコーナ部の円筒研削加工を１個の研削車９ｇで、角柱状インゴットの４側平面の面取りを一対の粗研削砥石１０ｇ，１０ｇで同期制御研削加工行ったのち、その面取り面４面を一対の精密仕上げ研削砥石１１ｇ，１１ｇで同期制御研削加工して面取りを完成させるインゴットの面取り加工装置１。 （もっと読む）

本発明は、工作物（２０、２２、４８、６０）を研削するための研削盤、特に、近接して配置された２つの工作物（４８）を同時に研削するための研削盤に関する。研削盤は、少なくとも２つの第１研削スピンドル（２６、２６'）と、少なくとも２つの第２研削スピンドル（２８、２８'）とを備えており、少なくとも２つの第２研削スピンドルのそれぞれが砥石固定部（３７）を持つと共に第１研削スピンドル（２６，２６'）の一方のスピンドル部（３０）上に支柱（４０）によって旋回可能に取り付けられており、その結果、各第１研削スピンドル（２６、２６'）の回転軸（４６）を中心として旋回することができる。
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【課題】オシレーション専用の軸を要することなく、簡易な構成で、シート加工を可能とする。
【解決手段】第１のスライド部１０１は、Ｘ軸方向に、第２のスライド部１０２は、砥石２４〜２６の軸線方向であるＺ軸方向で、それぞれ往復動可能に設けられており、制御部３０１におけるオシレーショ制御処理の実行によって、駆動信号出力回路３０２、第１及び第２のサーボアンプ３０３Ａ，３０３Ｂを介して、第１及び第２のリニアモータ１３，１６が駆動されることにより、第１のスライド部１０１と第２のスライド部１０２が、それぞれ同時に往復動せしめられ、その往復動の合成によりオシレーションが生ずるようになっている。 （もっと読む）

【課題】単一の研削装置によって、ワークを移し替えることなく、荒加工と仕上げ加工とを行う。
【解決手段】回転駆動装置のヘッド部２０を構成する回転軸２２には、先端側に第１の回転砥石２４が、基端側に第２の回転砥石２５が設けられ、第１の回転砥石２４の砥石２４ａは比較的粗い砥粒から構成され、第２の回転砥石２５の砥石２５ａは微細な砥粒から構成されており、第１の回転砥石２４は小径のもので、第２の回転砥石２５は大径となっている。ワーク１は回転テーブル１０に載置されており、この回転テーブル１０とヘッド部２０とを相対移動させることによって、ワーク１の表面１ａを第１の回転砥石２４による荒加工と、第２の回転砥石２５による仕上げ加工とが行われる。 （もっと読む）

【課題】研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して精度良く均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供する。
【解決手段】円環形状の弾性体６ａからなる加工作用部６ｂを備えた研磨工具６を用い、被加工物１の主軸回転軸Ａと、研磨工具６の工具回転軸Ｂとが、被加工物１の研磨加工面１ａの研磨加工点ｋにおける傾斜角α（ｘ）（接線の傾き）から所定の角度β（ｘ）を減算して得られる研磨角度θとなるように制御し、円環形状の加工作用部６ｂが三日月形状の領域で部分的に研磨加工面１ａに接触するようにして、研磨加工面１ａの一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物１でも、研磨加工面１ａの全体を安定して均一に研磨加工することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】公転及び自転を伴う運動、前後及び揺動運動を伴う運動を研磨部材の取り替えだけで設定できるようにした研磨装置。
【解決手段】この研磨装置は、ケーシング（４８）と、モータ（１６）と、モータに駆動連結され、第１の軸線（４０）を中心に回転される回転支持体（２２）と、第１の軸線（４０）と平行な第２の軸線（６０）を中心に回転可能にして、回転支持体（２２）に取り外し可能に取り付けられる少なくとも２つの種類の研磨部材（１４、１４−２、１４−３、１４−４）とを有する。ケーシングは第１摺動係合部（８６）を有し、少なくとも１つの研磨部材（１４−２、１４−３、１４−４）が、該第１摺動係合部に摺動可能に係合する第２摺動係合部（細長溝８２、一対の突起８４）を有する。少なくとも他の１つの研磨部材（１４）は、回転支持体に取り付けられたときに、第１摺動係合部（８６）に係合しないようにされている。 （もっと読む）

【課題】 ナノ精度の高精密双頭円筒研削盤の提供。
【解決手段】 円筒状ワークを両端から双頭の旋削工具を用いて端面研磨、内面テーパー切削加工、研磨加工する複合旋削加工機において、旋削工具軸装置として磁気軸受と静圧水軸受により軸受けされる回転／直動可能なビルトインモータ駆動式の旋削工具軸１３、前記旋削工具軸を回転／直動させる回転／直動複合アクチュエータ１６，１８および、前記旋削工具軸の直線移動距離を測定する位置測定手段８５を備える旋削工具軸装置１０を用いる。 （もっと読む）

【課題】比較的長寸の加工物の平面を高精度に加工でき、熱伝達性も低く、熱変位による平面度の狂いもなく、組立性のよい分離長尺テーブルを有する加工装置を提供する。
【解決手段】平面研削盤１００は、ベース台２上に載置されてフレキシブルな連結具７を介して連結された分離テーブル１Ａ，１Ｂからなる長尺のテーブル１を移動させるリニアモータ４等からなる移動機構部と、砥石５Ｂを移動及び回転支持する装置本体５Ａよりなる加工手段である砥石台５と、ドレッサ６等とからなり、熱伝達や熱変位は連結具７の存在により分離構造となっているため低減される。また、分離構造のため組立性も良い。 （もっと読む）

【課題】ワークの研削面の平面度の精度を向上することができる平面研削盤を提供する。
【解決手段】ワークＷの平面研削を行う際に、該ワークＷを支持するテーブル１３の移動速度を左方向の移動時と、右方向への移動時とで、順次ランダムに変化させることにより、ワークＷの研削中におけるテーブル１３の固有振動（共振）の位相を変化させる。そして、テーブル１３の共振によるテーブル１３の変形を防止し、テーブル１３に支持されたワークＷの変形を防止し、ワークＷの研削面の平面度の精度を向上する。 （もっと読む）

【課題】 ナノ精度の高精密研削装置の提供。
【解決手段】 磁気軸受と静圧水軸受により軸受けされる回転／直動可能な砥石軸１３、前記砥石軸を回転／直動させる回転／直動複合アクチュエータ１６，１８、前記砥石軸の移動距離を測定する位置測定手段８５、および、前記砥石軸１３を固定するコラム７を砥石軸方向に直線移動させる駆動手段９を備える研削ステージＴＳと、前記砥石軸に軸承される砥石１４の研削加工面に対して被研削物表面を直角方向に保持する回転保持具２０、および、静圧水軸受で軸受けされた前記回転保持具の主軸を回転駆動させる回転駆動手段を備えるワークステージＷＳ、とを供える研削装置１。 （もっと読む）

【課題】製造コストが安価で、かつ、ランニングコストも安価な超仕上げ装置を提供することである。
【解決手段】砥石ヘッドを往復揺動させる手段を、砥石ヘッドの支持ユニットを、基台フレーム３の旋回テーブル４に往復揺動方向で間隔を開けて対向する一対の板ばね１０で揺動自在に連結された揺動部材１１に取り付けて、揺動部材１１に往復揺動方向で対向する一対のガイド板１１ａを設けて、一対のガイド板１１ａの対向面に回転駆動される偏心カム１６ａを当接させ、偏心カム１６ａの回転によって揺動部材１１を往復揺動させて、揺動部材１１に取り付けられた砥石ヘッドの支持ユニットを往復揺動させるものとした。 （もっと読む）

【課題】超仕上げ加工を行う被研削物の長さ及び大きさが制約されない研削装置を提供する。
【解決手段】第１ロッドが駆動ロッド、従動ロッド及び砥石ホルダと第１軸４３ａ、第２軸４３ｂ及び第３軸５４ａ廻りに回動可能に連結され、第２ロッドが駆動ロッド、従動ロッド及び砥石ホルダと第４軸４４ａ、第５軸４４ｂ及び第６軸５４ｂ廻りに回動可能に連結され、駆動ロッドは揺動伝達軸２３と共に揺動し、従動ロッドは従動ロッド支持軸３３と共に揺動し、揺動伝達軸の軸心Ｃ１１と第１軸の軸心Ｃ１２との距離、及び揺動伝達軸の軸心と第４軸の軸心Ｃ１３との距離が、従動ロッド支持軸の軸心Ｃ２１と第２軸の軸心Ｃ２２との距離、及び従動ロッド支持軸の軸心と第５軸の軸心Ｃ２３との距離に等しく、揺動伝達軸の軸心と従動ロッド支持軸の軸心との距離が、第１軸と第２軸との距離に等しいレール玉転動溝を超仕上げ加工する研削装置。 （もっと読む）