【課題】本発明は、ガラス板の破損発生率を低減できるガラス板研磨装置の監視方法及び監視システムを提供する。
【解決手段】搬出部３６におけるガラス板Ｇの破損を低減させるために、実施の形態では、画像処理部３４で算出された実面積が基準面積となるように、液体塗布部１４でのグリセリンの塗布量を、グリセリン制御部４２によって制御する。すなわち、液体塗布部１４において塗布されたグリセリンによる吸着部分が、剥離部２２によって剥離された際に基準面積と略等しくなるように、グリセリンの塗布量をグリセリン制御部４２によって制御する。例えば、ガラス板Ｇの非研磨面の全てを吸着シート１２に吸着させるのではなく、吸着部分と非吸着部分を備えるとともに、前記吸着部分を所定のエリアに分割するように、グリセリン制御部４２によってグリセリンの塗布量を制御する。 （もっと読む）

【課題】加工装置自体のさらなる小型化の要求に応えるための新規な構造の加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された該被加工物を加工する加工手段と、該保持手段を支持し内部に空洞部を備えたフレーム、又は、該加工手段を支持し内部に空洞部を備えたフレームと、を備えた加工装置において、該フレームの空洞部に、流体又は電流を該加工装置の必要箇所に供給する配管又は配線が配設されている。 （もっと読む）

【課題】円筒状インゴットブロック（ワーク）の外周面を円筒研削加工およびオリフラ研削加工する際の生産時間を短くしたい。
【解決手段】 ＸＲＤ機６００を挟んで同一タイプの円筒粗研削装置５００ａ，５００ｂおよび円筒仕上げ研削装置７００ａ，７００ｂの４台を設け、４台の円筒研削装置500a,500b,700a,700bのワークの面取り加工作業を同時間帯に平行に稼動できるように、ワーク
の搬送ロボット２００を付随させた。 （もっと読む）

【課題】端面部と円筒部の砥石消耗の差に起因する砥石車７の急峻な段差を緩和でき、かつ冷却液の研削作用部への供給が容易なため研削能率の低下が少ない端面研削方法を提供する。
【解決手段】砥石車７のコーナーＲ部を用いて、工作物Ｗと砥石車７を相対的に移動させて工作物の端面部を研削する端面部研削において、相対移動中の砥石車７の回転軸と工作物Ｗの回転軸の交差角度を変えながら研削する。端面部を研削する砥石車７の部位を変えながら研削することで、コーナーＲ部に発生する急峻な段差の発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハに面焼け等の品質低下や破損を生じさせる恐れを低減可能な研削方法を提供する。
【解決手段】回転可能なチャックテーブル５４と、該チャックテーブルで保持された被加工物１１を研削する研削砥石３２を含む研削ホイール３０を回転可能に支持する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、該研削砥石３２に超音波振動を付与する超音波生成手段と、を備えた研削装置で、被加工物１１を保持ステップと、該チャックテーブル５４を回転させつつ該超音波生成手段を作動させて該研削砥石３２に超音波振動を付与するとともに、該研削送り手段により該研削手段を研削送りして回転する該研削砥石３２を被加工物１１に削り込ませるステップと、該削り込みステップを実施した後、該超音波生成手段を停止させるとともに該研削送り手段により該研削手段を研削送りして被加工物１１を研削する研削ステップと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】容易にマウントフランジの端面修正を行うことのできるフランジの端面修正方法を提供する。
【解決手段】フェイシングデュアルダイサーにおけるフランジの端面修正方法であって、第２スピンドル側６２から延出して第１フランジ６４の端面に対面するように研削部材９８を配設するステップと、研削部材９８が第１フランジ５６の端面に接近する方向へ第２切削手段８と第１切削手段６とを相対移動させて第１フランジ５６の端面６６を修正するステップと、第２ハウジング６０側から研削部材９８を取り外すとともに、第１ハウジング５４側から延出して第２フランジ７２の端面７４に対面するように研削部材９８を配設するステップと、第２スピンドル６２を回転させつつ、研削部材９８が第２フランジ７２の端面７４に接近する方向へ切削手段６，８とを相対移動させて第２フランジ７２の端面７４を修正するステップと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 長さが５〜１０ｍのＴ−ダイを真直度１．０μｍ以下の精度に加工したい。
【解決手段】 平面研削装置の機枠６の前後に取り付けた一対のワーク表面クーラント液供給管２０ａ，２０ｂよりクーラント液を常時ワークｗ表面に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させてワーク全域温度を一定に保ち、砥石車３による研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】中心から外周に向けて徐々に厚くなるように保護膜を被覆する保護膜被覆機構を備えるとともに、被加工物を均一な厚みに研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物１０を保持する円錐状の保持面を備えたチャックテーブル５３２と、研削手段と、研削送り手段と、支持面に液状樹脂を滴下し被加工物を回転させて支持面に保護膜２１０を被覆する保護膜形成手段とを具備する研削装置であって、保護膜２１０の厚みを計測する厚み計測手段と、対面態を調整する対面状態調整手段と、保護膜２１０の厚み情報を記憶するメモリを備え、厚み情報に基づいて対面状態調整手段を制御する制御手段とを具備し、制御手段は、保護膜２１０の厚み情報に基づいて保護膜２１０の外周から中心に至る勾配を求め、外周から中心に至る勾配とチャックテーブル５３２の円錐状の保持面における外周から中心に至る勾配に基づいて対面状態調整手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】 円筒状インゴットの四側面剥ぎスライシング装置と四角柱状インゴットの四隅Ｒコーナー部と四側面の研削面取り加工装置をインライン化して複合面取り加工機に設計する際、一方の装置で面取り加工しているときに他方の装置でもインゴット面取り加工できる装置の提供。
【解決手段】 インゴットのクランプ機構を一対７，７’用い、かつ、スライシングステージ９０と研削面取り加工ステージ１１間を結ぶライン上にインゴットの受け渡しステージ８０を新たに設け、インゴットのローディングステージ８Ｒとアンローディングステージ８Ｌをそれぞれ前記クランプ機構待機位置７０と６０の正面前側に設けた複合面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】研削砥石１の外径、調整車２の外径、ワーク５の外径に応じて行う調整車２の設定、調整を簡素化でき、加工精度が安定できるようにする。
【解決手段】ベッド１０上に水平スライド機構Ａを介してテーブル１１を配置し、そのテーブル１１にγ旋回スライド機構Ｂを介して旋回台１３を配置し、その旋回台１３に横スライド機構Ｃを介してアッパスライド１２を配置し、そのアッパスライド１２に調整車２を配置する。水平スライド機構Ａは、ワーク５の研削時にテーブル１１をベッド１０に対して水平方向に相対移動させることでワーク５の外径に合わせて調整車２を移動させる。γ旋回スライド機構Ｂは、旋回台１３をワーク５の軸心ｗ周りに回転移動させる。横スライド機構Ｃは、アッパスライド１２を旋回台１３に対して相対移動させる機能を有する。γ旋回スライド機構Ｂの有する機能により、旋回台１３を回転移動させることで、ワーク５の調整車２に対する心高角γが調整可能でかつ、心高角γが常に一定であるセンターレス研削盤とした。 （もっと読む）

【課題】大型基板の研磨時の大きな研磨抵抗が小さくなるよう改善してより高い荷重で効率よく研磨できるようにする。
【解決手段】研磨布を貼り付けた定盤と、マスクブランク用基板とを、一定荷重をかけた状態で相対的に移動させ、その際研磨液を研磨布とマスクブランク用基板との接触面間に供給してマスクブランク用基板の研磨を行う工程を有するマスクブランク用基板の製造方法であって、 前記研磨布を貼り付けた定盤は、定盤１の研磨布貼り付け面に溝を有し、この溝の断面形状は、少なくとも溝の開口周縁部において曲線状又は曲面状に形成されてなる定盤と、 前記定盤１の研磨布貼り付け平面及び前記所定の開口周縁部形態を有する溝の形態に沿って貼り付けられた研磨布２と、で構成され、この「研磨布を貼り付けた所定の定盤」３を用い、マスクブランク用基板４の研磨を行うことを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】サファイア基板や炭化珪素基板等の硬質基板であっても研削砥石による所謂食いつきを良好にして滑りを防止することにより破損させることなく所定の厚みに形成することができる硬質基板の研削方法および研削装置を提供する。
【解決手段】硬質基板の被加工面を研削して所定の厚みに形成する硬質基板の研削方法であって、硬質基板の被加工面に傷を付けて梨地面に形成する梨地加工工程と、梨地加工工程が実施された硬質基板の被加工面をダイヤモンド砥粒を主成分として構成された研削砥石によって研削し、所定の厚みに研削する研削工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】再研削の効率を向上させこの再研削による製品精度を飛躍的に向上させることができる画期的な圧延ロール研削装置を提供すること。
【解決手段】複数個が突き合い夫々の外周面に設けた型溝１に合致する形状に圧延する圧延ロール２を研削する圧延ロール研削装置であって、前記突き合う一組の圧延ロール２の双方を砥石４で研削する研削機構５を備え、この研削機構５の砥石４を移動制御して前記双方の圧延ロール２を研削した後、この圧延ロール２の研削結果を測定検査するワーク測定検査部６を備えると共に、このワーク測定検査部６の検査結果に応じて前記ワーク保持部３に前記双方の圧延ロール２を保持したまま移動させて前記研削機構５で再研削するワーク保持部移動機構７を備えた圧延ロール研削装置。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、種々の内径形状の加工を可能とする。
【解決手段】
砥石２４〜２６を回転自在に設ける一方、砥石２４〜２６の軸線方向に対して直交する方向に往復動可能に第１のスライド部１０１を設けると共に、第１のスライド部１０１の往復動方向に対して直交する方向に往復動可能に第２のスライド部１０２を第１のスライド部１０１上に設け、第２のスライド部１０２上にワークを取り付け、第２のスライド部１０２に砥石２４〜２６の軸線方向における往復動を与えると同時に、第１のスライド部１０１には、ワークに内径一定の貫通孔の形成の際に必要な前記砥石の軸線方向に対して直交する方向における移動に、先の貫通孔の形状を所望の形状とするに必要な移動を重畳して与えて、ワークに対する内径形状加工を可能としてなるものである。 （もっと読む）

【課題】粗研削工程および仕上げ研削工程と同期してウエーハの種類に対応した面精度の研磨面を得ることができるウエーハの加工装置を提供する。
【解決手段】ウエーハ搬入・搬出領域と粗研削領域と仕上げ研削領域と研磨領域に沿って適宜回転せしめられるターンテーブル３と、４個のチャックテーブル４と、チャックテーブル４にウエーハを搬入搬出するウエーハ搬入・搬出手段１４と、ウエーハに粗研削加工を施す粗研削手段５と、ウエーハに仕上げ研削加工を施す仕上げ研削手段５０と、研磨領域に位置付けられたチャックテーブル４に保持されているウエーハに第１の研磨加工を施す第１の研磨手段６とを具備するウエーハの加工装置であって、ウエーハ搬入・搬出領域に位置付けられたチャックテーブル４に保持され第１の研磨加工が施されたウエーハに第２の研磨加工を施す第２の研磨手段７を備えている。 （もっと読む）

【課題】 機械設置のための平面視広さが比較的小さく押さえられて工場内の省スペース化を図る研削盤を提供する。
【解決手段】 ベッド１００から上方へ突出されたコラム１０１と、コラムの上側軸支持部１０１ｂとこれの直下の下側軸支持部１２との間に配置され上下一対の上下向き支軸１１、１２を介し該支軸回りの旋回可能に形成されたテーブル１０２と、該テーブル上に設けられワークを主軸２３を介し該主軸と同心の回転可能に支持するワーク保持手段１０３と、該ワーク保持手段に保持されたワークを研削するための砥石４３を回転可能に支持した砥石機構部１０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】センタレス研削技術を改良して、研削砥石車による研削操作の待ち時間を短縮して実研削時間効率を向上させる。
【解決手段】第１の調整砥石車９と第２の調整砥石車１０とを同軸に並列する。２個の調整砥石車それぞれに対向離間させてブレード４を配設して、第１の研削エリア１１と第２の研削エリア１２とを設定する。研削砥石車２は、研削砥石車Ｚスライド１３に搭載されて第１の研削エリア１１と第２の研削エリア１２との間を往復し、ワーク交換待ちのアイドルタイムがなく、高い実時間効率で研削操作を遂行する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、車体前方に設ける接地研磨部を容易に昇降させることができ、接地状態と待期又は移動状態とに容易に切換えることのできる操作性の良い自走式床ワックス剥離装置を提供することを課題とする。
【解決手段】モータＭと接地研磨部２との間を無端体４７によって伝動して接地研磨部２を床面３へ接地回転させながら床面３のワックス剥離乃至除去可能に構成するとともに、前記モータベース４３及びモータＭ、支持部材４４、接地研磨部２、モータＭと接地研磨部２間の伝動部Ｃは、揺動軸２９を中心に揺動して、接地研磨部２を上方に持ち上げた待期状態Ａと、接地研磨部２を床面に接地させた接地状態Ｂとに切換可能に構成した自走式床ワックス剥離装置する。 （もっと読む）

【課題】ワークの研削面の平面度の精度を向上することができる平面研削盤を提供する。
【解決手段】ワークＷの平面研削を行う際に、該ワークＷを支持するテーブル１３の移動速度を左方向の移動時と、右方向への移動時とで、順次ランダムに変化させることにより、ワークＷの研削中におけるテーブル１３の固有振動（共振）の位相を変化させる。そして、テーブル１３の共振によるテーブル１３の変形を防止し、テーブル１３に支持されたワークＷの変形を防止し、ワークＷの研削面の平面度の精度を向上する。 （もっと読む）

【課題】マスタリング時におけるワーク測定手段の接触子とマスターワークの測定個所との間の異物の有無を適切に判定して、異物を噛み込んでいない場合の測定値で適切にマスタリングすることができる研削盤を提供する。
【解決手段】略円筒状のワークＷの両端近傍を支持する一対のワーク支持手段１０ａ、２０ａと、ワークＷの円筒面の径またはワーク回転軸ＷＺに直交する面のワーク回転軸方向の位置を測定するための測定個所に当接させる接触子４２ｓを備えたワーク測定手段４０と、制御手段５０とを備え、制御手段は、予め設定されたマスタリングタイミングにて、ワーク測定手段４０にてマスターワークＭＷの径または前記位置を複数回測定し、各測定結果に基づいて接触子４２ｓとマスターワークＭＷとの間に異物が挟まれているか否かを判定し、異物が挟まれていないと判定した測定結果に基づいてワーク測定手段４０の誤差を補正する。 （もっと読む）