【課題】硬質材料の研磨を効率よく行うことができる研磨方法及び研磨装置を提供する。
【解決手段】多数の砥粒１６を含有した砥石１４と、砥石車１４を回転駆動させる駆動部１７と、を備える研磨装置１０を用いて被研磨部材２３を研磨するに際し、砥石１４の研磨面１５の目つぶしを行う目つぶし部材１８と、目つぶし部材１８を保持固定し、移動可能に備えられた目つぶし部材保持手段２０と、駆動部１７及び目つぶし部材保持手段２０を制御する制御部を備えたものを用い、被研磨部材２３の研磨の際に、制御部によって、目つぶし部材保持手段２０を移動させて目つぶし部材１８を研磨面１５に常時押し当て、砥粒１６の目つぶれの状態が一定になるように制御しながら被研磨部材２３を研磨する。 （もっと読む）

【課題】 複数種類のドレスボードを同時に保持可能なドレステーブルを備えた切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該切削ブレードをドレッシングするドレスボードを着脱自在に保持するドレステーブルとを備えた切削装置であって、該ドレステーブルは、同一方向に階段状に配設された高さの異なる複数の吸着面を有し、隣接する吸着面と吸着面の間には隣接する該吸着面の段差からなる第１ドレスボード突き当て壁が形成され、最上段の吸着面の端部には該吸着面から立ち上がった第２ドレスボード突き当て壁が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】首振りロータリードレッサ装置と首振り単石ダイヤモンドドレッサ装置を一体化した砥石車成形用ドレッシング装置。
【解決手段】砥石車１７の研削面に対して成形砥石２７ａ，２９ａの角度調整をサーボモータ駆動により旋回軸１４を旋回させることにより成形砥石台８を旋回させて行わせる角度調整機構１２を有し、旋回軸１４の軸心の長手方向先端に前記成形砥石台８を設け、この成形砥石台８にロータリー成形砥石２７ａと単石ダイヤモンド砥石２９ａをロータリー成形砥石２７ａの直径面が前記砥石車１７の直径面と平行となるように、かつ、ロータリー成形砥石２７ａの直径を含む垂直面が単石ダイヤモンド砥石２９ａの成形軸心面を含むように支持ア−ム８ｂ，８ｃを利用して並設した首振り型の砥石成形装置１００。 （もっと読む）

【課題】光学ガラスである難硝材からなるガラス成形体に対して、品質を低減させることなく低コストで研削加工を実行する。
【解決手段】光学ガラスである難硝材からなるガラス成形体の粗研削加工前の被研削面に対して精研削加工用の研削面を有する導電性のカップ砥石を当接させて回転駆動させることで精研削を行い（Ｓ６ｂ）、この研削工程時に、カップ砥石の研削面と対向する位置に配設された電極とカップ砥石との間に導電性研削液を供給しながら、電極とカップ砥石間に所定の電圧を印加することで、研削面のドレッシングを実行することで実現する。 （もっと読む）

【課題】難硝材により形成されるガラス成形体に対して球面創成加工を行う場合に、加工面の品質確保と加工コスト抑制とを両立させる。
【解決手段】光学ガラスである硝材である難硝材により形成されるガラス成形体に対し、回転駆動されるカップ砥石を当接させて、当該ガラス成形体の被加工面を球面形状に研削するカーブジェネレーティング工程と、前記カーブジェネレーティング工程の実行中に、前記カップ砥石と当該カップ砥石の対向電極との間に導電性研削液を供給しつつ電圧を印加して、前記カップ砥石に対する電解ドレッシングを行う電解インプロセスドレッシング工程と、を備えた硝材加工方法において、前記カーブジェネレーティング工程は、前記カップ砥石の回転数、または、前記カップ砥石の回転数および前記ガラス成形体と前記カップ砥石の当接圧可変方向における相対位置移動の送り速度とが、前記難硝材以外の硝材により形成されるガラス成形体に対して研削を行う場合よりも高く設定されている。 （もっと読む）

【課題】光学ガラスのプレス品に対して、品質を低減させることなく低コストで研削加工を実行する。
【解決手段】光学ガラスを所定形状にプレス成形したプレス品を準備し（Ｓ５Ａ，Ｓ５Ｂ）、粗研削加工前の被研削面を有するプレス品に対して精研削加工用の研削面を有する導電性のカップ砥石を当接させて回転駆動させることで精研削を行い（Ｓ６ｂ）、この研削工程時に、カップ砥石の研削面と対向する位置に配設された電極とカップ砥石との間に導電性研削液を供給しながら、電極とカップ砥石間に所定の電圧を印加することで、研削面のドレッシングを行う電解インプロセスドレッシングを実行することで実現する。 （もっと読む）

【課題】フローティングノズルの磨耗を簡単な位置検出器で検出できる加工液供給装置１を提供。
【解決手段】研削砥石３の外周面４をツルーイングやドレッシングするドレッサ５と、外周面に向かって加工液を供給するノズル２５を設ける。ノズルは外周面に開口する開口部２６と、開口部の両側に研削砥石両側面側に延出する鍔部２７ａ、２７ｂを設け、ノズルを研削砥石外周面に付勢する付勢部材１４と、ノズルを付勢方向自在に支持するノズル支持部材１１と、ノズル支持部材とノズルとの相対位置を検出する位置検出器３２と、を設け、ノズル支持部材をドレッサを軸支するドレッサ支持台６に固定する。ドレッサはロータリードレッサとする。さらに、単結晶ダイヤモンドドレッサを砥石軸方向に移動可能にし、ノズル支持部材を研削砥石に対して鍔部により位置保持できるように、砥石軸方向に移動可能にドレッサ支持台に取付ける。 （もっと読む）

【課題】切れ刃が導電性を有する切削ブレードに限らず、非導電性の切れ刃を備えた切削ブレードであってもＶ溝切削用の切れ刃に適宜成形することができる機能を備えた切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を切削するための切れ刃を有する切削ブレードを備えた切削手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置であって、保持テーブルは被加工物を保持する主保持部と、主保持部に隣接して設けられ補助保持部とを具備しており、補助保持部には切削ブレードの切れ刃を成形するためのドレスボードを傾斜した状態で保持するドレスボード保持部材が配設されている。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で複数の砥粒に逃げ面を成形できる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】法線１４上から砥粒１９をオフセットした状態で、回転工具１３とツルーイング砥石２１を相互に回転させると、砥粒１９に斜めの平滑面２０（逃げ面２０）が成形される。これを法線１４上に戻すと、被加工物に対し、所定の逃げ角を有する逃げ面２０を備えた砥粒となる。
【効果】位置決め精度や、再現精度が向上し、容易に複数の砥石（砥粒）に高精度な逃げ角を有する逃げ面を短時間で成形することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法で研磨パッドの外周縁の振れ分を除去可能な研磨パッドの修正方法を提供することである。
【解決手段】 回転する研磨ヘッドの下面に装着された研磨パッドをチャックテーブル上に保持されたウエーハの上面に押し付けてウエーハを研磨する研磨装置における研磨パッドの修正方法であって、該研磨パッドの下端から所定の深さ分研削するため、該チャックテーブル上の該研削バイト上端の高さより該研磨パッドを該所定の深さに対応する距離下降させる下降動作と、該研磨パッドを回転させながら該研磨パッドの外周を研削するため、該研磨パッドと該研削バイトを該研磨パッドの面方向と平行方向に相対移動させる平行相対移動動作とを実施して、該研磨ヘッドに装着された該研磨パッドの回転中の外周縁を除去し、該研磨ヘッドの回転中心と円形に形成された該研磨パッドの中心とを合致させる研磨パッド外周研削工程を備えている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長く、安価で、ドレッシングのための特別な段取を必要とせず、かつドレッシング時の抵抗の少ない平面研削盤用のブロックドレッサを提供する。
【解決手段】
平面研削盤２の研削テーブル４上に固定され、ドレッシング平面１０ａに設けられた砥粒層１２を砥石車１６の円周上の研削面１６ａに当接させるとともに、砥石車に対して該砥石車１６の回転軸１４に直角な方向に相対移動させて、砥石車１６の研削面１６ａをドレッシングするブロックドレッサ１０において、砥粒層１２は、ドレッシング平面１０ａ上に砥石車の回転軸１４に対して傾斜して延在する帯状に少なくとも１条ベース部材１０ｃに形成され、前記帯状の砥粒層１２の前記回転軸線方向の幅１２ｗは、砥石車１６の幅１６ｗより小さく形成されること。 （もっと読む）

【課題】 被加工物のハンドリングを容易にするとともに繰り返し使用可能な被加工物の保持ユニットを提供することである。
【解決手段】 被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルに吸引保持された該被加工物に切削溝を形成する切削ブレードを有する切削手段とを備えた切削装置において使用される被加工物の保持ユニットであって、該被加工物が載置される載置領域と、該被加工物の位置ずれを防止する位置ずれ防止手段とを有するサブストレートと、該サブストレートに貼着された粘着シートと、該粘着シートの外周縁に貼着された環状フレームとを具備し、該サブストレートの前記載置領域及び該粘着シートには該サブストレートと該粘着シートとを貫通する複数の貫通孔が形成されており、該被加工物が該サブストレート上に載置され、該保持テーブル上で吸引保持されることで、該被加工物と該被加工物の保持ユニットとが一体化して該保持テーブルにより保持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外周部に傾斜面を有する切削部材の偏芯量及び傾斜面の崩れを修正することができる切削部材の外周形状の修正方法、ドレッサーボード及び切削装置を提供する。
【解決手段】切削部材の外周形状の修正方法は、外周部に傾斜面１１を有する円形のブレード１０Ａをダイシング装置の回転軸に取り付け、被切削物が配置される台上にドレッサーボード２０を配置する工程と、ブレード１０Ａでドレッサーボード２０の同一箇所を切り込み深さを大きくしながら繰り返し切削する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 良好な品質で研削を行う。
【解決手段】 （ａ）回転する砥石の作用面にドレッサーを接触させた状態で、砥石の作用面内でドレッサーを移動させて、砥石をドレスするときのドレス深さ、または、ドレスされた砥石で被研削物を研削するときの研削切り込み量ｓ、及び、ドレスにより砥石に形成される溝の最大深さの値ｔを決定する。（ｂ）ｓ及びｔを用いて、被研削物の研削品質を評価する評価値を求める。 （もっと読む）

【課題】ブレードのドレッシングを自動で精度良く行い、生産性を向上することができるインゴット切断装置、及び切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】切断テーブルにインゴットが水平に載置され、前記切断テーブルはインゴットを切断するためのブレードが前記切断テーブルに接触しないようにするための隙間を有し、前記ブレードを前記切断テーブルの隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴット切断装置であって、少なくとも、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのドレッシング材から成るインゴット支え部材を具備し、前記インゴットの切断時に前記インゴット支え部材の上部を切断して溝を形成し前記ブレードのドレッシングを行うものであることを特徴とするインゴット切断装置。 （もっと読む）

【課題】特殊構造に因らず象限切換えに伴う加工精度低下の問題を解決する。
【解決手段】砥石面の断面形状が円弧状になるようにドレス用工具２４により砥石車４８を加工する方法。（１）砥石車４８の一端側から他端側に向かってドレス用工具２４を軸方向送りすると共に、砥石車４８の径方向中心側から外側に向かって径方向送りすることにより最大径の位置まで砥石車４８を加工する工程と、（２）ドレス用工具２４を砥石車４８から離間させ、その後、径方向送りの送り方向を反転させて砥石車４８に対してドレス用工具２４を再度接触させる工程と、（３）反転後の送り方向にドレス用工具２４を径方向送りすると共に、ドレス用工具２４を軸方向送りすることにより、最大径の位置から所定の加工終端位置まで砥石車４８を加工する工程と、を連続して実施する。 （もっと読む）

【課題】導波路を成形する型の凸部の面の高精度な研磨を容易に行うことができる研磨治具を提供する。
【解決手段】凹部３２の各面が別々の部材に具備されるように研磨治具３０を分割可能にすることにより、凹部の各面を高精度に仕上げることができる。研磨治具３０が第１、第２及び第３の治具部材３４、３６及び３８に分割可能であり、第１治具部材３４が凹部３２の側面３２ａ、第２治具部材３６が凹部３２の底面３２ｂ、第３治具部材３８が凹部３２の側面３２ｃをそれぞれ備える。 （もっと読む）

【課題】ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、かつ、ワークによる制約を受けることなく、ワークを保持したままドレッシング作業等を実行できるようにする。
【解決手段】フレームクランプ２０が、フレーム押部２４の上面にドレス部材２５を備えるので、ダイシングテープ３でワーク２を保持した環状フレーム５を通常通りチャックテーブル１６に装着してクランプさせればよく、フレーム押部２４の上面の空きスペースを利用しているため、ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、必要時にドレス部材２５を用いたドレッシング作業を実行でき、また、ドレス部材２５は、チャックテーブル１６の外周に配設されたフレームクランプ２０のフレーム押部２４の上面に配設されており、ワーク２の大きさによる制約を受けないとともに、ドレス部材２５を装着したままワーク２の交換作業を行うこともできるようにした。 （もっと読む）

【課題】ダイシング装置側に専用スペースや構造変更を要することなく、かつ、ワークによる制約を受けることなく、ワークを保持したままドレッシング作業等を実行できるようにする。
【解決手段】ダイシング用フレームユニット３が、環状フレーム５上にドレス部材７を備えるので、ワーク２を保持したダイシング用フレームユニット３を通常通りチャックテーブル１６に装着すればよく、ダイシング装置側に専用スペースや構造変更を要することなく、必要時にドレス部材７を用いたドレッシング作業を実行させることができ、また、ドレス部材７は、環状フレーム５自体なる開口部６周りの環状領域に配設されており、ワーク２による制約を受けないとともに、ドレス部材７を装着したままワーク２の交換作業を行うこともできるようにした。 （もっと読む）

【課題】薄刃砥石の側面をもドレッシングすることができる薄刃砥石のドレッシング装置、ドレッシング方法、半導体の製造方法、および精密部品の製造方法を提供する。
【解決手段】薄刃砥石１０１を回転させる砥石回転手段２と、所定の間隔に離間し、互いに異なる磁極が対向するように設けられた一対の磁力発生手段４、５と、前記対向する磁極の間の空間に磁力により保持された磁性砥粒７と、前記薄刃砥石の側面を前記空間に挿入可能とした移動手段と、を備えたこと、を特徴とする薄刃砥石のドレッシング装置が提供される。 （もっと読む）